5月26日，全省首個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心——遼寧聚芯智能裝備創(chuàng)新中心在渾南區(qū)正式揭牌成立。省工信廳一級(jí)巡視員王丹群，市委常委、渾南區(qū)委書(shū)記、沈陽(yáng)高新區(qū)黨工委書(shū)記閆占峰出席成立儀式并分別致辭。區(qū)委副書(shū)記、區(qū)政府區(qū)長(zhǎng)、沈陽(yáng)高新區(qū)管委會(huì)主任任立輝出席，拓荊科技股份有限公司董事長(zhǎng)呂光泉致辭。

遼寧聚芯智能裝備創(chuàng)新中心以“落實(shí)國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)自主可控戰(zhàn)略，突破薄膜沉積設(shè)備及核心零部件‘卡脖子’難題，加速?lài)?guó)產(chǎn)化替代，提升產(chǎn)業(yè)鏈韌性與安全水平”為使命，將打造集技術(shù)供給、人才匯聚、關(guān)鍵零部件孵化與驗(yàn)證于一體的產(chǎn)業(yè)核心引擎，為全省集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。

王丹群在致辭中表示，希望遼寧聚芯智能裝備創(chuàng)新中心錨定長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展目標(biāo)，聚焦高能級(jí)平臺(tái)建設(shè)，對(duì)標(biāo)國(guó)家級(jí)平臺(tái)拓寬發(fā)展格局，堅(jiān)持技術(shù)引領(lǐng)搶占產(chǎn)業(yè)發(fā)展高地，堅(jiān)持補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈延鏈集聚產(chǎn)業(yè)生態(tài)。省工信廳將持續(xù)強(qiáng)化創(chuàng)新要素保障，優(yōu)化產(chǎn)業(yè)服務(wù)生態(tài)，全力推動(dòng)創(chuàng)新中心規(guī)范化建設(shè)、實(shí)體化運(yùn)行、高端化發(fā)展，為遼寧工業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)能。

閆占峰表示，遼寧聚芯智能裝備創(chuàng)新中心正式成立，既是遼寧集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一件大事，更是沈陽(yáng)打造“北方芯谷”、攻堅(jiān)核心技術(shù)、筑牢產(chǎn)業(yè)安全的一件盛事。渾南區(qū)將始終秉承重商、親商、安商理念，全力為創(chuàng)新中心建設(shè)運(yùn)營(yíng)做好服務(wù)保障，與合作伙伴一道，共同推動(dòng)創(chuàng)新中心早出成果，為全國(guó)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)自主可控貢獻(xiàn)遼寧力量、沈陽(yáng)力量。

呂光泉表示，拓荊科技從“十四五”初期就開(kāi)始規(guī)劃這個(gè)項(xiàng)目，不但要自身實(shí)現(xiàn)高端半導(dǎo)體裝備的突破，更要發(fā)揮整機(jī)帶動(dòng)作用，聯(lián)合產(chǎn)業(yè)鏈各方力量，打造開(kāi)放、專(zhuān)業(yè)、協(xié)同創(chuàng)新的平臺(tái)，共同以技術(shù)創(chuàng)新引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。拓荊科技將與創(chuàng)新中心同呼吸、共命運(yùn)，攜手產(chǎn)業(yè)鏈伙伴，為半導(dǎo)體裝備與零部件高質(zhì)量發(fā)展貢獻(xiàn)堅(jiān)實(shí)力量。

成立儀式上，與會(huì)領(lǐng)導(dǎo)與16家股東共同為遼寧聚芯智能裝備創(chuàng)新中心揭牌。中心定位于實(shí)體化運(yùn)作的產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同平臺(tái)，緊扣薄膜設(shè)備核心賽道，重點(diǎn)圍繞應(yīng)用于先進(jìn)制程領(lǐng)域的高端集成電路裝備新產(chǎn)品、新技術(shù)的需求，開(kāi)展關(guān)鍵零部件的核心技術(shù)開(kāi)發(fā)、驗(yàn)證與應(yīng)用，同步搭建設(shè)備及零部件研發(fā)、測(cè)試平臺(tái)，依托各股東方的產(chǎn)業(yè)鏈資源，構(gòu)建“研發(fā)—中試—產(chǎn)業(yè)化”的完整閉環(huán)。下一步，中心將持續(xù)整合優(yōu)質(zhì)資源、夯實(shí)創(chuàng)新實(shí)力，全力推動(dòng)申報(bào)國(guó)家級(jí)工作。