嵌入半導體創新的關鍵節點：TEL的產品版圖與戰略雄心

當人工智能重塑全球算力格局，半導體產業正在經歷60年來最深刻的一次技術躍遷。從存儲器的三維堆疊到邏輯芯片的埃級制程，這一次工藝演進的背后，也離不開制造設備的同步革新。在這場產業變革中，半導體設備巨頭Tokyo Electron（TEL）的身影愈發關鍵。TEL不僅以92%的涂膠顯影設備市占率領跑光刻工藝配套領域，更以覆蓋成膜、刻蝕、清洗、鍵合等核心工藝的完整產品矩陣，深度嵌入全球主流晶圓廠的生產流程之中。

強大產品力奠定領先地位

TEL的技術版圖圍繞前道制造中最核心的四大工藝展開：成膜、涂膠顯影、刻蝕、清洗。在這四個領域，TEL的全球市場份額均處于第一或第二的位置，且每一條產品線背后都有具體的技術突破作為支撐。同時，TEL還以全球第一的晶圓探針設備市占率和全球第二的晶圓鍵合設備市占率，將產品觸角延伸至晶圓測試與封裝互連領域，形成從前道制造到后道集成的全鏈條能力。

涂膠顯影是TEL產品最具影響力的領域。TEL在這一細分市場排名全球第一， 其中EUV曝光工藝配套的涂膠顯影設備市占率達100%，與ASML的EUV光刻機形成深度技術綁定。旗艦產品CLEAN TRACK? LITHIUS Pro? Z已成為全球主流晶圓廠光刻工藝的標準配置。在此基礎上，TEL還推出了Ultimate Wet Development技術。作為現有涂膠顯影技術的延伸，該技術與現有設備高度兼容，已率先在D1b DRAM節點實現量產導入，并正在向D1c DRAM及更先進節點推進評估。

刻蝕是近年來TEL重點突破、成效顯著的領域。在等離子刻蝕和氣相化學刻蝕兩大方向上，TEL分別確立了全球第二和全球第一的市場地位。刻蝕設備的核心競爭力，在于對氣體供給、副產物排出與能量垂直傳導三大參數的精細調控。TEL通過將方波與脈沖參數相結合，針對客戶具體的器件結構提供高度定制化的解決方案，在導體刻蝕與介電質刻蝕兩個主要細分方向上均已形成扎實的技術競爭力。代表性產品Tactras?和Episode? UL覆蓋了從普通刻蝕到高深寬比刻蝕的廣泛應用場景。

TEL在批處理沉積設備領域排名全球第一，金屬沉積設備位居全球第二。旗下產品線涵蓋TELINDY PLUS?、NT333?、Episode?1等，覆蓋從氧化擴散、化學氣相沉積到原子層沉積的多種工藝路徑。面向下一代制程，TEL正積極布局PECVD和PVD市場，通過切入晶體管形成階段的接觸間隔層工藝、下一代互連的金屬間隙填充，以及可有效降低寄生電容的氣隙技術，在更先進的制程節點上完成提前布局。

清洗設備方面，TEL同樣排名全球第一，代表性產品Certas LEAGA?與CELLESTA?已在業內建立廣泛的客戶基礎。在新產品布局上，TEL推出的ZEXSTA?清洗系統專為3D NAND制造中的氮化硅去除工藝而設計。隨著DRAM從2D向3D結構演進、清洗工藝步數持續增加，ZEXSTA?的應用范圍有望從特定工藝步驟延伸至更廣泛的清洗與精細濕法刻蝕場景，進一步擴大TEL在清洗市場的領先優勢。

截至2025年12月，TEL全球累計出貨設備已達99,000臺，年出貨量維持在4,000至6,000臺的規模，規模效應進一步強化了其在工藝服務與客戶支持方面的持續優勢。

卡位3D集成時代

半導體產業正在經歷一場深刻的結構性變革，從平面擴展走向立體堆疊，晶圓鍵合技術由此成為推動下一代先進封裝和存儲器件發展的關鍵工藝。TEL預計，從2025年到2030年，鍵合設備的潛在市場年復合增長率將高達約24%，到2030年市場規模將達到3000億日元，增速遠超整體晶圓制造設備市場。目前，TEL在鍵合設備市場的份額已超過20%，并在CMOS圖像傳感器和高帶寬存儲器（HBM）領域積累了豐富的量產交付經驗，這是其進一步拓展市場的堅實基礎。

在技術方向上，TEL正積極推進熔融鍵合（Fusion Bonding）與銅混合鍵合（Cu Hybrid Bonding）兩大路線的開發，并處于行業前列。核心設備Synapse? Si晶圓鍵合機已廣泛應用于晶圓對晶圓（W2W）工藝，將前道工藝中積累的等離子處理能力與高潔凈度清洗技術有機融入鍵合系統。

激光相關產品線亦在持續完善，激光修整系統Ulucus? L與激光剝離系統Ulucus? LX正配合客戶的量產計劃推進評估與認證，目標應用覆蓋先進邏輯/代工、3D NAND及DRAM等主流場景。

業界一致認為，晶片級先進封裝的應用空間將在未來5至10年內顯著擴大，屆時后道先進封裝將與前道工藝共同成為半導體性能提升的重要驅動力。TEL將緊隨這一技術趨勢適時擴展業務邊界。值得關注的是，先進封裝設備的毛利率與前道設備基本相當，這意味著鍵合業務的持續成長，將成為TEL整體盈利能力提升的重要支撐。

持續的關注和投入是創新的底座

2025財年，TEL實現凈銷售額約2.4315萬億日元，營業利潤率達28.7%，營業利潤突破6973億日元，交出了一份頗具分量的成績單。著眼未來，公司中期經營計劃將2027財年的凈銷售額目標鎖定為3萬億日元、營業利潤率35%。一旦實現，營業利潤將突破1萬億日元大關。這一目標的背后，折射出公司對自身技術競爭力的高度自信。

支撐這種信心的是過去十年間持續累積、從未間斷的研發投入。2026財年，TEL研發支出預計將達2900億日元，資本支出高達2400億日元，兩項合計規模在同業中首屈一指。放眼2025至2029財年的五年規劃，研發投資目標合計1.5萬億日元、資本支出7000億日元，并計劃以每年約2000人的節奏新增員工10000人。人才、資金與基礎設施的同步擴張，體現的是TEL為下一個技術周期所做的全面布局，而非單純的產能擴張。

這份底氣，在產品層面已有具體呈現。TEL今日展示的一系列新技術與新產品，正是過去十年持續研發投資的集中成果。更重要的是，TEL提前介入客戶需求、預判技術路徑的能力也已大幅提升，從早期階段便深度參與客戶的工藝開發，而非等待需求明確后再做響應。正是沿著這條以研發為引擎、以工藝突破為錨點的路徑，TEL完成了自身實力的躍升。

穩健經營，扎根中國

中國市場在TEL的全球業務版圖中始終占有重要地位。從各季度的區域銷售數據來看，中國業務占比長期維持在34%至49%之間。2026財年第三季度（截至2025年12月），中國區銷售額約占當季總收入的31.8%，位居各區域之首。

TEL在中國的運營布局十分完善。公司以上海為中國區總部，在昆山設立制造中心，并在北京、西安、南京、武漢、無錫、合肥、深圳、成都等主要城市均設有銷售與現場服務基地，構建起覆蓋廣泛、響應及時的本地化支持體系。

在針對中國市場的產品策略上，TEL依托廣泛的產品組合和成熟的本地化服務能力，持續推進工藝認證與量產導入。面向中國半導體產業成熟制程大規模擴產的現實需求，TEL正重點推廣氣團束工藝設備UltraTrimmer Plus，該設備能夠精準應對晶圓邊緣修整的精細化要求，在提升量產穩定性方面具有切實價值，契合中國客戶當前階段對良率與工藝一致性的核心訴求。

TEL對中國市場的持續投入，是其全球運營、本地服務長期戰略的自然延伸。面對復雜多變的外部環境，TEL選擇以技術實力和服務質量作為立身之本，與中國半導體產業維系深度合作關系，在不確定性中尋求穩定的發展路徑。

結語

夯實技術根基、卡位新興的鍵合市場、深度經營中國這一全球最具增量潛力的市場。這三條主線共同構成了TEL當下清晰的戰略坐標。在人工智能驅動算力基礎設施高速擴張的時代背景下，作為連接芯片設計與物理制造的關鍵一環，TEL正以更扎實的技術積累和更完整的產品布局，與客戶攜手應對半導體創新所帶來的每一個新挑戰。

—— 芯榜 ——

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