芯片制造的“毫米之間”，藏著精密制造的極致密碼；跨國(guó)合作的“攜手之中”，孕育著產(chǎn)業(yè)升級(jí)的無(wú)限可能。在塘雅鎮(zhèn)龍芯智慧產(chǎn)業(yè)園內(nèi)，一座恒溫恒濕的現(xiàn)代化廠房里，浙江華川半導(dǎo)體材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“華川半導(dǎo)體”）正以中韓協(xié)同之力，將這份密碼層層解鎖，在金東科創(chuàng)沃土上，書(shū)寫(xiě)著一段跨國(guó)科創(chuàng)雙向奔赴的產(chǎn)業(yè)佳話(huà)。

作為一家中韓合資企業(yè)，“華川半導(dǎo)體”誕生于去年7月，宛如一顆精準(zhǔn)嵌入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的“技術(shù)紐扣”，將中韓兩國(guó)的產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)緊密相連。該項(xiàng)目總投資達(dá)2億元，建成標(biāo)準(zhǔn)化廠房8000平方米，一場(chǎng)跨越國(guó)界的“芯”動(dòng)之約，一段攜手共贏的產(chǎn)業(yè)新征程，正從這里緩緩啟幕，成為金東外資科創(chuàng)項(xiàng)目中一道耀眼的風(fēng)景線(xiàn)。

這份跨國(guó)攜手的底氣，源于雙方的優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)、資源互通與雙向賦能。韓方股東Seong Hyun Technology Co., LTD，是全球半導(dǎo)體硅耗材領(lǐng)域當(dāng)之無(wú)愧的“隱形冠軍”。該企業(yè)2015年成立于韓國(guó)仁川，深耕半導(dǎo)體蝕刻工藝硅零部件領(lǐng)域多年，其拳頭產(chǎn)品CSR高端硅環(huán)，作為3D-NAND閃存刻蝕設(shè)備的核心技術(shù)部件，常年為三星、SK海力士等行業(yè)巨頭提供核心配套，牢牢掌握著全球頂尖的技術(shù)與市場(chǎng)渠道。

中方則立足本土，深耕科研與產(chǎn)業(yè)資源，為企業(yè)筑牢材料研發(fā)與市場(chǎng)落地的堅(jiān)實(shí)根基。一邊是韓方的頂尖技術(shù)加持，一邊是中方的本土資源支撐，這種“強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合”讓“華川半導(dǎo)體”自誕生之日起便含著“金湯勺”，得以快速打通產(chǎn)業(yè)高端鏈路，搶占半導(dǎo)體核心耗材領(lǐng)域的發(fā)展先機(jī)。

如果說(shuō)半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備是芯片制造的“雕刻刀”，那么“華川半導(dǎo)體”的產(chǎn)品，就是這把刀上最精密的“針筒與針頭”，直接決定著芯片的最終精度與生產(chǎn)良率。作為晶圓刻蝕環(huán)節(jié)的核心耗材，企業(yè)主營(yíng)的硅環(huán)、硅電極、高端柵極環(huán)，是刻蝕氣體精準(zhǔn)流通、等離子體均勻分布的關(guān)鍵載體，看似小巧的部件，卻承載著芯片制造的“關(guān)鍵命脈”。

“原材料采用超高純度硅材，每一枚硅環(huán)上，都要精準(zhǔn)鉆出一千多個(gè)均勻分布的微孔。”企業(yè)生產(chǎn)負(fù)責(zé)人程云鵬介紹，這些微孔是刻蝕工藝的“生命通道”，既要保證氣體流通順暢，又要確保分布絕對(duì)均勻；而作為消耗品，每枚硅環(huán)的使用壽命僅10天至1個(gè)月，待孔徑變大、表面失去平整光澤，便完成使命退出生產(chǎn)線(xiàn)。

為守住這份“納米級(jí)”的品質(zhì)底線(xiàn)，企業(yè)在技術(shù)與設(shè)備上毫不吝嗇投入——單臺(tái)精密檢測(cè)設(shè)備造價(jià)就高達(dá)200萬(wàn)元。從數(shù)控設(shè)備的精準(zhǔn)調(diào)試，到多道工序的嚴(yán)苛檢測(cè)，再到技術(shù)人員的現(xiàn)場(chǎng)工藝研討，每一個(gè)環(huán)節(jié)都精益求精、一絲不茍，只為讓每一件產(chǎn)品都能完美適配高端芯片的生產(chǎn)需求，彰顯“中國(guó)智造”與“韓國(guó)技術(shù)”深度融合的匠心實(shí)力。

“金東的營(yíng)商環(huán)境太暖心了，從廠房對(duì)接到政策服務(wù)，一路暢通無(wú)阻。”企業(yè)相關(guān)負(fù)責(zé)人坦言，選擇扎根金東，和這里濃郁的科創(chuàng)氛圍密不可分——毗鄰金漪湖科創(chuàng)生態(tài)圈，周邊新能源汽車(chē)、機(jī)器人等高科技企業(yè)集聚，產(chǎn)業(yè)生態(tài)完善、干事創(chuàng)業(yè)的濃厚氛圍，正是科創(chuàng)企業(yè)成長(zhǎng)的沃土，讓“華川半導(dǎo)體”感受到了“落地即安心、發(fā)展有底氣”。

如今，“華川半導(dǎo)體”已順利完成研發(fā)中心與產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)，一期產(chǎn)線(xiàn)正式投產(chǎn)，企業(yè)正開(kāi)足馬力趕制高端半導(dǎo)體硅靶材訂單。隨著產(chǎn)能逐步釋放，企業(yè)將加快開(kāi)拓國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，著力填補(bǔ)國(guó)內(nèi)高端硅部件領(lǐng)域的技術(shù)與供給空白，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈“國(guó)產(chǎn)替代”注入強(qiáng)勁動(dòng)力。

從納米級(jí)精度的匠心雕琢，到服務(wù)全球巨頭的產(chǎn)業(yè)擔(dān)當(dāng)；從中韓雙方的雙向奔赴，到扎根金東的深耕細(xì)作，“華川半導(dǎo)體”正以“小部件”撬動(dòng)“大產(chǎn)業(yè)”，成為金東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)版圖中一顆耀眼的新星，為區(qū)域高端制造業(yè)提質(zhì)升級(jí)、為國(guó)家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全，持續(xù)貢獻(xiàn)著跨越國(guó)界的“芯”力量。（作者丨李玲添 來(lái)源丨金東區(qū)融媒體中心）