芯東西（公眾號：aichip001）
作者 劉煜
編輯 陳駿達

芯東西5月19日報道，5月17日，央視頻放出了對“中國刻蝕機之父”、中微半導體設備公司董事長兼總經理尹志堯的采訪，“中國半導體教父”、中芯國際創始人、興華芯創始人張汝京也參與了這次對話。尹志堯在訪談中透露，中微公司的刻蝕設備已實現100pm（皮米級）加工精度，目前該公司的800多個反應臺已進入中國臺灣國際先進生產線，覆蓋從45nm到3nm的制程節點。

此外，中微公司已成為臺積電先進制程的刻蝕機裝備的設備供應商。

▲尹志堯（圖左）張汝京（圖右）（圖源：央視頻）

訪談中，尹志堯稱，對于現在的半導體，他們能做到5nm到3nm區間的50-60層堆疊。對于半導體行業的發展，他說道：“集成電路是成千上萬人的事業，不是靠幾個精英就可以搞起來的。”而關于中微公司領導層的接班人，他稱自己也有了一批人選。

在泛半導體領域，該公司從0開始，兩年內完成150噸重的大平板設備開發，而按尹志堯做設備的經驗，此前預估做成至少需要3-5年甚至7年的時間。

尹志堯不認為中國的半導體設備離世界水平很遠，中國現在至少有300多個半導體設備公司。他分享道：“中國的半導體設備工業，有很多已經達到了國際先進水平，有部分產品甚至超過了國際先進水平。”

談及國內廠商選用國產設備一事，張汝京直言：“試新的設備一定會有風險，但最大的問題，是使用者有沒有試用的決心。”

他補充道：“如果帶頭的領導覺得使用國產設備太麻煩，這種心態一出來的話，他自己犯錯很少，但是國家整體的進步就大大的減慢。”

他還談及國內企業常遭遇海外專利訴訟的困境，他稱，企業發展越出色，越容易引來無端打壓。不過，如今依托龐大的國內市場，國外對于中國企業的干擾空間大幅縮減。張汝京說道：“他來告我們專利的時候，最壞的情形，交叉授權也就解決了。”

采訪中，尹志堯希望國內的客戶能給國內設備制造公司更多的機會。他解釋道：“國外的設備最初進入生產線時，最初兩年都是一塌糊涂。”這與國內設備最初進入生產線時面臨問題的情況一樣。國外設備后續經由臺積電、三星等企業實測打磨、優化完善后，才會正式推向中國的市場。

談到為何回國發展，他稱，他給美國產業界做了不少貢獻，但畢竟是中國出生，祖上三代都從國外回來報效，所以他也要回國。

2003年他與張汝京在美國見面，張汝京高度支持他回國，直言：“只要你做出來，我一定試。”這種信任某種程度上基于他與尹志堯在泛林以及應用材料的成功合作。

本次訪談的核心要點如下：

1、中微公司的絕招：首創甚高頻去耦合的反應離子刻蝕、雙臺機等，2007年雙臺機的分別刻蝕速度就只差了0.1個nm。

2、尹志堯的愿景：尹志堯期望近期爭取把該公司產值做到700億人民幣，這一數字的概念就是全球設備五強。

3、數碼產業的倒三角形金字塔：它分為上層建筑、電子系統、芯片的制造和設計以及半導體設備制造，是一個倒三角形，金字塔越往下走，做設備的難度就越高。

4、與美國設備公司的官司：美國設備公司不信中微公司能自己做出先進的設備，一定是偷了原來公司的商業機密。4場官司中微公司打贏兩場，兩場打平。

5、大眾的誤區：許多人認為美國政府限制美國的設備不能運給中國，但是這些設備都是中國人做的，現在已經有許多中國人回國發展，所以尹志堯對中國設備制造公司趕超國外抱有信心。

6、撰寫了20000余字的領導能力心得：該心得的核心包括，價值觀與自驅力、三維戰略決策能力以及傳承與接班。中微已花數年時間寫了600頁的書，作為該公司運營的基本邏輯，確保接班人能夠做得更好。

7、公司發展的決定因素：10家公司中往往只有3、4家能成長起來，決定因素是營運能力，營運能力強的公司一般就做大了。

8、中微公司的持股模式：中微公司內部員工全部持股，只要是該公司的正式雇員，包括門口的接待人員、司機都有股票，而尹志堯僅持股0.7%。

以下是此次采訪的實錄：

一、設備精度達100pm，數碼產業呈倒三角層級結構

主持人：我看到這個天花板（中微公司臨港基地的天花板）都是線路板的一個形狀。這是您設計的嗎？

尹志堯：這是設計師設計的。

主持人：可能很多觀眾有疑問，“刻蝕”跟我們平時熟悉的“光刻”，這兩個名詞之間到底有什么區別？

尹志堯：這個我可以解釋一下，我用木刻來做比方。木刻也有個“刻”字，它先得有一個硬木板，然后師傅在上面畫上畫，再用刻刀把不要的東西刻掉。這個三步驟就是我們做集成電路的三個步驟。

集成電路就像蓋樓房，薄膜就是用各種各樣辦法，包括物理化學的辦法、電鍍的辦法鋪一層膜，有一百多種不同的膜，這就像做木刻需要有的木板。

接著在光刻機上面甩上光刻膠，用投影的辦法曝光以后，就像木刻的師傅在木板上畫出各種花紋一樣。等離子刻蝕機用離子刻刀，按照花紋刻下去，刻出各種各樣的形狀，這就是我們做的一層。

主持人：您這個就是刻蝕機嗎？

尹志堯：對，刻蝕機里面有兩類。一類叫ICP，是低能等離子刻蝕機，另外一類叫CCP，是高能等離子刻蝕機。刻蝕機的特點是，兩大類設備可以覆蓋300到400種不同的刻蝕應用。這個是個縮小的模型。

▲縮小的等離子刻蝕機圖片（圖源：央視頻）

主持人：我聽說我們的設備已經能夠精確到100pm了。

尹志堯：對，可以加工精度到100pm。

主持人：加工精度到100pm，和我們所說的芯片的制程，包括5nm、7nm之間有什么樣的關系。

尹志堯：那已經沒有阻礙了，我可以一直加工下去。我再解釋一下，其實5nm、3nm、2nm是一個虛擬概念，它并不是真正gate的長度，即門電路的長度。門電路的長度如果做到14個nm以下，它的計算方法就不一樣了。

原來的門是平放（平行于地面）的，擠在一塊發現不行了，我們就把它們立起來放，一直摞起來做。

主持人：您這寫一根頭發的直徑是70μm，一顆芯片元器件是5nm。這上面是有一個頭發的一個（標本）。

尹志堯：這是一個虛擬的顯示。你可以從放大鏡看到，它目前是一個真正的芯片。我接著旋轉這個旋鈕，它就慢慢放大了，可以放到到100倍，芯片變這樣了，再放到了1萬倍，芯片又變成這樣了。最后我們放大到1億倍以上，就看到5nm。

主持人：1億倍。

尹志堯：對，所以我們現在就是在一根頭發絲的1/10000到1/100000這樣的小的結構上，要蓋一個五六十層的樓房。其中，這上面的十七八層就像高速立交，是一個跨過一個的結構。

主持人：現在最高能蓋到多少層？

尹志堯：現在就是5nm到3nm區間，大概五六十層結構。在memory（存儲芯片）上走的更遠，比如說現在的flash memory（閃存芯片），它們已經大規模生產很多年，都是200多層，目前已經進入300多層，將來要做到500層到1000層的結構。

中微電子等離子刻蝕機現在有將近21個不同的類型。我們隨著芯片技術的發展，升級我們的技術和產品。芯片技術發展的時候會不斷地加入更多的新材料，而且會做雕鉆等各種不同的復雜情況。所以我們的工作永遠沒有盡頭，要一直往前走。

主持人：我記得在今年年初的時候，福布斯給您評了兩個獎，一個是終身成就獎，一個是最佳CEO。有人說您是“中國刻蝕機之父”，“等離子刻蝕機的最強大腦”。讓您給自己做一個定位的話，您更愿意怎么來描述？

尹志堯：我覺得最好就說我是一個工程師，我最喜歡的物理化學已經搞了62年了，我喜歡搞反應器。集成電路是成千上萬人的事業，不是靠幾個精英就可以搞起來的。這個產業鏈很長，包括零部件到設備，到芯片設計制造，最后到電子系統，到最終的終端應用。

所以不應該這里面來強調個人的作用，最好的名字就是工程師。

主持人：那么我們站在一個工程師的角度，想請教您，中國的大模型數量占到全球的大約40%，排在全球第一位。但是我們不愿意看到的是，我們的半導體制造的設備，比如說光刻機，或者其他的一些細分領域，我們并沒有在全球領先，您覺得這個主要原因究竟是什么？

尹志堯：我倒不承認中國的半導體設備離世界水平很遠，其實中國現在已經至少有300多個半導體設備公司，覆蓋了100%的各種各樣的設備，細分設備。我們（的設備）在國際上最強大的國家也覆蓋了50%。

所以應該說，中國的半導體設備工業，特別是最近20年發展的非常的快，有很多已經達到了國際先進水平。

有部分產品甚至超過了國際先進水平，當然我們在光刻機和一些最難做的設備上還有一定差距，但我相信很快的就會改變這個狀態然后趕上去。

再從另外一個角度回答你問題。傳統工業是以機器代替人手，是一個以宏觀加工為核心的傳統工業。而數碼產業是以微觀加工為核心的一個微器件工業，它的特點就是越做越小，而前一個工業（傳統工業）是越做越大。

最近的數據表明，在國際整個企業總產值里面，數碼產業超過40%，另外的50%多就是傳統工業的產物。我相信數碼產業的發展速度遠遠超過傳統工業，所以再過10年左右，數碼產業會超過50%。

數碼產業領域，明顯的分成四個層次，它是一個倒置的三角形。

它的最上面一層叫上層建筑，也就是各種各樣的應用，包括軟件、網絡、電商、傳媒、大數據、AI、VR、元宇宙、ChatGPT、DeepSeek都算在內。

下面一層就是電子設備，小到一個電子玩具，大到全球聯網的計算機、手機和電腦，都屬于電子系統。

電子系統屬于芯片的制造和設計領域，而芯片制造設計又基于半導體設備的能力，所以每年1000億美金的設備銷售，支撐了1萬億（美金）的芯片的設計制造，支撐了4萬億左右的電子系統，支撐了20萬億以上美金的各種各樣的應用。

金字塔越往下走，我們做設備的難度就越高。比如說，國內大概有幾千個設計公司都可以設計芯片，但是能做出14nm、28nm的設備公司，也就是幾十個，能做到3nm、5nm的這種設備公司更是鳳毛麟角。

因為這個設備產業需要50個學科兵種的綜合作戰才能做起來，所以需要的研發時間很長，需要幾百億、上千億的投入才能做起來。這就是為什么我們國家還需要一定時間，讓這個設備的產業能走到世界前沿去。

二、前瞻布局三維存儲，打入臺積電先進產線

主持人：2004年，您在60歲的時候回到中國創業。那個時候國家級集成電路重大項目也啟動了，主攻我們集成電路整個產業鏈當中的很多的領域。有一個人一直陪伴著您成長，我們來聽一聽您給他留下了什么樣的印象。（接下來播放VCR，講話的人為中國科學院微電子研究所研究員、中國半導體行業協會集成電路分會理事長葉甜春。）

葉甜春：我記得他（尹志堯）04年創立（公司）的那段時間，他給我們講完他的研究，我眼睛一亮。當時我就說，那后續我能不能讓其他企業來向你們學習？他說沒有問題。他沒有把這些企業當做競爭對手，而是很開放的告訴他們中微的好的一些理念。

其實他本身一直具有一種前瞻性。國家還沒有開始考慮做三維存儲的時候，他就說他的刻蝕機將來做深孔刻蝕、深槽刻蝕時，在未來的三維存儲領域里面一定是有用處的。我對他說：“那你能不能自己先開始做一些研發。”

我們自己的三維存儲剛剛開始做相應的研發時，就用上了自己的裝備。尹總這種行業預見性，還是很令人欽佩的。（VCR結束）

尹志堯：說老實話，有前瞻性的不是我們搞設備的人，是搞芯片器件的人，我們是跟著他們跑的。但是我們必須要及時開發出設備，在他們（做芯片器件的人）比如說進入這個5nm之前，我就得有5nm刻蝕機，一般都要提前好幾年。

朱民：我也講一個細節，我經歷了中微發展的階段的三屆董事會。尹總在所有董事會上吹過的牛都實現了，這是我擔任三屆董事以來，最強的體會。尹總的確是很有前瞻性的視野。

尹志堯：對不起啊，我從來不吹牛哈哈，我講的話都是留有余地的。所以我們才能完成（這些目標）。

朱民：因為當時我們看的維度，覺得好像跟企業發展（不一致）。我們會上可能投了贊成票，但底下還是是會揣測為什么尹總會做出這樣的決策。的確有超前很多的布局。

主持人：最近尹總有什么樣的愿景？

朱民：最近尹總給我的一個非常大的信心是，要在近期內爭取把產值做到700億人民幣。這個700億人民幣的概念就是全球設備五強。

這個我們在2004年組建，包括到2018年上市，我們根本沒想過，可能也沒敢想。但是尹總給了我們董事會、給了我們股東最大的信心。

尹志堯：這是希望達到，光靠我們一個中微不可能解決中國所有的問題。必須有眾多的半導體設備公司，這叫“八仙過海，各顯其能”。我們應該是樂觀其成，并希望有競爭。

在前20年，可以不客氣地說，我們是走在前列技術上和產品上。但是現在這個20年，再不要以為自己是領先的，有很多后起之秀的設備公司做的比我們速度快，甚至有的設備比我們做的還好。所以我們必須要振作起來，繼續的努力，這個路是永遠要往前走的。

陸雄文（復旦大學管理學院黨委書記、教授）：所以在這種情況下，一個企業說我要做百年老店，永遠在科技領先，這其實是非常難的。但是我要跟尹總講，也不一定要做百年。你把這未來二三十年做好，不管是技術的財富還是物質財富也留在這社會上了，你已經做了很偉大的貢獻了。

我覺得尹總還有一種情懷，我覺得是非常好的。因為這不僅對這家公司（中微公司）的企業場景有幫助，對本人的長壽也有幫助。企業家需要激情，才能變得更有競爭力，變得更有戰斗力。

尹志堯：院長說的非常對。請不要誤解，我很少說要把中微做成百年老店。我真正講的是十年以后做多大，現在有非常明確的目標。至于20年以后，現在很難計劃，我現在只能看到十年。

主持人：（中微）繼續往前走（發展）的過程中，中微已成為臺積電先進制程的刻蝕機裝備的設備供應商。我們知道刻蝕機換供應商其實挺難的，之前一直是泛林和應用材料（等公司）所壟斷的。為什么您能從強者當中撕開一個口子闖進去？

尹志堯：也是因為我們真的是想出一些絕招，就是國際上沒用過的東西。

比如說我們用的甚高頻去耦合的反應離子刻蝕，這個技術是我們首先提出來的。后來，三年之后，國際上三大設備公司都是按照我們的方向做。現在100%的CCP都是用這個方法做的，所以我們是首創，而且雙臺機也是我們的首創。

雙臺機可以單臺操作，左邊刻一片，右邊刻一片，或者同時刻蝕都可以。讓我永遠忘不了的是，第一次第一片硅片放在兩個臺里，這邊放一臺，那邊放一臺，分別刻蝕的速度就差了0.1個nm。這是2007年就達到了。

首先是中芯國際，張汝京博士帶頭吃螃蟹，結果我們就試成了。

后來我們就有信心進入了中國臺灣市場。因為我們有雙臺機的這個設計，本質上在材料方面，就能節省30%甚至更多。所以我們的售價要比國際供應商要低，而且低的很多，同時（我們的設備）性能又好又穩定。這就是為什么國際一流的工業廠商愿意用我們的設備。

在中國臺灣的國際最先進的生產線上，目前已經有我們的800多個反應臺，從45nm到3nm，都使用我們的機器。

三、張汝京鼎力支持尹志堯回國，未來10-20年超過國際最先進水平完全可能

主持人：聽說在2003年的時候，您二位（張汝京與尹志堯）在美國見了一面。當時尹總問您說我回國您支持嗎？

張汝京：全力支持。當時尹總是需要客戶，我們就可以做一個客戶，他也需要客戶的回饋，我們很愿意來認證這個設備，這是我們可以做得到的。

尹志堯：張董應該是中國集成電路的第一號領軍人物。張博士當時就決定說，只要你做出來，我一定試。

當時我們還沒有說這個設備要做到1、2、3、4、5什么程度、討價還價怎么試，就說我只要做了設備，他就試。這給我很大的信心。

主持人：張博士，為什么那個時候設備都沒有，甚至可能連圖紙都沒有，您就覺得說他能做出來“我愿意試”。

張汝京：早期尹總在泛林工作的時候，我們德州儀器就用了泛林的刻蝕機。后來尹總調到Applied（應用材料公司）去了，我們向Applied買的設備也非常的多。這兩次的（合作）經驗我們很有信心，你（尹志堯）第三次會做的更好。

主持人：在用全新的技術產品的時候，可能是承擔一定風險的。

張汝京：試新的設備一定會有風險。但是我們試的時候，不會一下子貿然的試很多。（我們）是小批量的（試）。譬如先試5片，5片不錯了再試25片，再做50片、100片這樣子，而且時間要蠻長的，這個雙方都要負責。

譬如說我們用中微設備的話，設備給我們的時候，我們并沒有付錢，這中微要（負責的），前面的投資都是它的。但是后面測試的時候，那個芯片就是我們自己要負責，而且這個時間的成本也是我們要負責的。大家配合很好以后成功了，這個投資絕對劃得來。

如果我們國內大家也抱著這種心態，我們愛用國貨，如果沒有人使用，怎么會進步呢？不使用就不知道毛病在哪里，不知道毛病怎么改的。也不要覺得說試過一次不好不用了，（要）給它機會。我們曾經給了一家供應商4次機會，（花了）前后差不多一年的時間，它改好了，現在大量可以用。

成本，其實在試用的時候沒有什么太多的成本。最大的問題，是使用者有沒有這樣子的決心，（是）心態問題。如果帶頭的領導，他覺得他如果用國產的設備太麻煩，有風險，如果出了錯他要負責任，那不要（用國產），他就買國外的已經驗證過的設備。

這種心態一出來的話，他自己犯錯很少，但是國家整體的進步就大大的減慢。

尹志堯：其實我覺得國內大部分的客戶都愿意用國產設備。但是（他們）有一個思想上的一個障礙，就是實際的數據證明，國外的這個領先設備進來（中國）以后，一進生產線問題很少，很快就核準。可是國內的設備一進生產線開始總有很多問題，所以他們要花很多時間把這問題解決了。

所以還是有一種先入為主的概念：國外的設備比較好，國內設備有很多問題。

但是請大家注意，我在美國做了20年，那時我們每一個新設備進入最先進（的企業），像臺積電、三星，開始兩年都是一塌糊涂，過了兩三年以后，那些領先的公司已經幫助我們把設備弄好了，也提了很多意見，我們都做好了，才把這個設備拿到中國來。

那時候已經經過兩三年的歷練了，所以你（國內客戶）拿來的時候肯定是好的。但是國產設備最開始一下就進入國內生產線，他也同樣會存在問題，并不是說國內設備真的就做的不好，是因為這個環境不一樣。所以我希望國內的客戶給（國內）設備公司更多的機會。

主持人：從最開始，我們從零起步，做了很多半導體的設備。葉甜春所長也講了他眼中的國產替代和原始創新的關系。我們來聽一聽葉所長是怎么說的。（接著播放VCR）

葉甜春：中國集成電路發展到現在為止，以替代為主的自主可控的任務，我覺大部分已經完成了。

我們下一階段做的，更重要的不是追趕，而要考慮開辟第二戰場，開辟第二條主賽道。

原來的說追趕和替代，它是從最基礎的裝備材料開始。我從無到有，我要建立體系，工業體系要有，我把我的制造工藝推得更好，制造工藝起來之后，我把我的產品設計支撐的更好。

現在要倒過來，從應用端開始遷移我整個的產業體系的一個創新。而在這里面，裝備企業是極其關鍵的。

尹志堯：他講的很對，前20年基本上是追趕。我覺得從現在開始，我們最主要的任務是，以后的10年到20年要超過國際最先進水平，這是完全可能的事情。

其實中微現在最近一年就開發20多種設備，大概幾乎絕大部分的設備的設計都是采用最新的概念，而且做出的結果都至少和它（國際）一樣，或者在很多地方比它好。

我想國內其他的設備公司學了20年以后，也就都懷揣絕技了，以后做的東西都會做得好。

再講另外一個情況，我在美國的20多年里面做了11種成功的設備，包括刻蝕、薄膜、還有濕法等等檢測設備。

如果大家知道歷史的話，幾乎絕大部分的設備的領軍人物都是中國留學生，并不是美國人，也不是外國人。

這是這個時代的原因。在80年代，我是最早到美國留學的，后來又去了很多人。而這些人都喜歡工程、物理、數學、化學、工程，都有耐心。所以他們后來都很多進入了半導體設備這個產業，都做了很大的貢獻。其中做了最主要貢獻的二三十人，其實現在都在國內工作。

有很多人有誤解，美國政府限制美國的設備不能給中國運，但是他們不知道這些設備都是中國人做的，這些人都回國，而且現在回國的人更多，所以我有非常充分的信心。

主持人：葉所長剛才提到要開辟第二條賽道。現在的設備有多先進，您能不能帶我們去生產線上看一下，看一下我們到底是一個什么樣的設備。（采訪切換到中微的生產車間）

尹志堯：這就是我們中微的大生產車間。樓上那一層是把亞系統做好，樓下這層是把它全部組裝成一個完整的機器。經過組裝和測試，大概平均2到3個星期，一個BAY（生產區）可以生產一臺機器，一共有19個BAY。

這樣一年的話可以至少生產上600臺，最多可以到1000臺這樣的一個數量。（我們）這個生產廠房是國際上的半導體設備生產廠房中最干凈的一個。因為我們有空心地板，有非常好的微粒控制，我們可以做到1000級以下。

主持人：您所謂的1000級我們應該怎么理解？

尹志堯：1000級就是在一個立方英尺里面，能找到最小的顆粒有幾顆。

主持人：1000個以下叫1000級？

尹志堯：100個以下叫100級，1個以下就是1級。我們現在可以做到幾百級，也就1000級以下。絕大多數的半導體設備公司，都是10000級的生產車間。它底下沒有空心地板，所以它的潔凈程度要比我們低1個數量級。

所以我們和國際上最先進的刻蝕機同代。這個前端柜就是一盒一盒的芯片放在這里面，里面有機械手把它一片一片抽進去，把它裝到每個反應臺上，經過加工。加工完了以后，一片一片送回來。一共4個臺可以放100片。

主持人：像這種加工的速度是不是決定了它機器的效率？

尹志堯：對對對。像這樣的一個UD-RIE，它一片硅片大概要刻一個半小時，最長可以要2個小時。

原來就兩三分鐘刻一層，現在刻這么（多）幾十層、一百多層，它刻的時間就會很長。

因為需要時間，所以需要更多的機臺。比如這個機器，在一個中國的先進客戶上，有300個感應器了，每天都在刻蝕。每一個機器每年加工這個孔，剛才我說的10的18次方孔，100萬萬億個孔，那如果有300臺的話，你想想每年刻多少孔。

主持人：這也解釋我以前的一個困惑：為什么這個芯片越速度越快、體積越小越貴，是不是溢價太高了？其實還不是，它本身的成本就是要高很多。

尹志堯：結構越來越復雜。而且這個需要40000瓦、50000瓦的高功率，所有的東西都做的很昂貴。

這個生產廠房的這個盡頭，都是最新做出的薄膜設備。我們現在一共有了十幾種不同的薄膜設備。

刻蝕設備等于在真空里把東西拿掉，薄膜是把東西放上去，這是兩個相反的過程。那這個什么意思呢？就是我當時刻了一個深孔要60（μm）到40（μm）的深孔，然后把鎢的金屬擴散進去，把它填滿，這是非常難的一件事情。

因為你看這么細的一個孔，你填的話上面就收口了，底下就空的了。

主持人：那我從兩邊填呢，可能中間就填不上了？

尹志堯：底下沒有，底下不open（開放），底下是底兒，就只能從上面填。

我們有非常獨特的工藝過程，是專利保護的工藝過程，可以把它填的很好。現在我們的填充效率要超過美國公司最好的設備，所以像國內的話，這個鎢的填充基本上是全是我們的市場。現在都是靠我們的這個機器，薄膜機來做。我們開發這個設備，非常漂亮的設備。

主持人：您用漂亮這個詞（形容）。

尹志堯：對，不是外形的問題，它做出的結果非常漂亮。（回到采訪演播室）

四、歷經多輪海外訴訟，白紙起步從零攻堅

主持人：如果我們倒回到二十多年前，您回國創業的那一天，按照我們常人的邏輯，可能您那個時候在美國做的非常的好。當面臨一個確定性和一個不確定的時候，人的本能可能要選擇這個確定性的，比如在美國繼續工作下去。為什么您選擇回到中國？

尹志堯：我是1980年，北京大學第二個自費出國的留學生，是比較早就去美國了，沒想到一下在美國就工作生活了20年，（40年）中的后20年都在硅谷，大部分時間做設備。

我覺得我給美國的產業界也做了相當多的貢獻了。當時已經有80個美國專利，差不多200個國際專利。應材（應用材料公司）、泛林和當時泛林與東京電子合資公司，都是我幫助開發的半導體設備。

但是缺的一點是，我畢竟是在中國出生的，我的祖上三代都是從國外回來報效的，所以我說我也要回國做事情，于是回來了。

朱民：我也講一個細節。我們有一次董事會在硅谷開會議的間歇，他（尹志堯）說我帶你去看看我當年的房子，就在那個小山上，我們兩個人就開著車就上去。他不是一個小的房子，是個很大很大的房子。

我說尹總，你已經有這么大的產業，你還下定決心拋家撇業的回國，你圖的是什么？他跟我說，就是要做事業，要情懷，我要報國。

主持人：當時您手握幾百項專利，離開美國的時候可能什么都不能拿走。那就意味著您來到中國大陸之后，會走出一條全新的道路。那個時候是不是也挺困難的？

尹志堯：我們回國是非常敏感的一件事情。所以當時讓所有回國的人，開始15個人，后來有200人簽字畫押，不許帶任何的文件，而且計算機是空白，買個新計算機重新開始，這個要求非常嚴格。完全一張白紙來做事情。

能不能做成？說老實話自己心里還是有底氣的。

因為在美國做了20年，我所發明創造的東西不是書本抄來的，是自己想出來的。既然我過去能想出東西，我現在就能想出更好的東西來，所以我們做的東西，一定不會再重復國外原來的那些技術，一定要有創新的地方。

所以我們公司在產品開發的十大原則，其中技術的創新、產品的差異化和知識產權保護，這三個是我們的最重要的原則。

主持人：但是即便是從一張白紙開始，（您）也遭到了訴訟。訴訟您的理由是什么？

尹志堯：第一個告訴是商業機密告訴。也就是從美國的大設備公司，跑到中微有30多人，其實后來遠遠不止30多人。

他們（美國設備公司）就認為，我們三年就可以做這么好的設備，一定是偷了原來公司的商業機密，這個是一個沒有任何證據的告訴。

美國的法律是，告人不需要證據，只要告就成立，被告必須證明自己清白。

所以我們花了兩年半時間，結果發現沒有對方任何的圖紙、工藝配方和技術機密。所以（我們）在非常有利的情況下和對方協商，就和解了。

后來的十幾年和美國的三大公司（應用材料、泛林、維易科）打了4場打官司，我們贏了兩場，平了兩場，從來沒輸過。我們在知識產權上，商業機密都沒有出任何問題。

張汝京：剛剛提到，在美國不一定要有證據，他就可以告你。這個告的過程當中（它們）不一定告得到，但騷擾你很辛苦。

以前有一個做GPU的公司，曾經被美國最大公司告，告了五年，最后告不倒，但是在這五年里面已經把它拖垮了。

我們現在看到的就是，當你做的特別好的時候，不喜歡你的人就會找你麻煩，是用各種手段，所以心里面要有一點準備：如果人家來告我們，我們曉得怎么樣對付他。

不過今非昔比，因為我們國內的市場比海外還大，它到這邊來騷擾我們的機會比以前少很多。即使無理取鬧，我們還是大半壁江山、是穩坐釣魚臺，所以就不怕了。何況我們的專利也很多，他來告我們專利的時候，最壞的情形，交叉授權也就解決了。

主持人：如果各種限制因素再繼續疊加，再繼續變本加厲的話，我們有應對的方法和應對的策略嗎？

尹志堯：籠而統之講的話，近期對我們的發展確實會有一些影響，但是反過來促進了國內的這個芯片制造，芯片的設備和零部件材料產業的發展。

最近5年以來，國外的強權已經出臺了30多條限制令，來限制美國的先進設備公司，甚至日本、荷蘭的先進設備公司給我們提供設備。但是適得其反，國內的發展速度大大加快，所以我覺得長遠講，反而對我們是個好處，使我們的發展更快。

主持人：中微的產品現在已經能做到100pm以下的精度，甚至能做到0.02nm原子級（的操作）。您曾經說過這樣一句話，在美國工作了40年，從來沒有想到過能取得這么高的一個精密的程度。怎么取得了這么快的速度？

尹志堯：一般來講，一個設備的新的一代需要3到5年的開發（時間），或者一些從來沒開發過的設備，甚至用7年的時間才能開發出來。

那現在經過努力，我們中國已經有這種能力。一般的話，18個月到2年就可以把設備開發出來。現在一年都開發20多種設備。

第一個原因是，我們的這個工程技術團隊非常努力，而且有相當（豐富）的經驗。我們在設備的一些亞系統、子系統，也都有了一定的基礎。所以搞一個新的設備并不是100%的開發，而是其中的百分之二三十。把反應器做修正以后，又出來了一個新設備。

舉這么個例子，在2023年的11月，我們決定進入大平板設備這個領域。這個領域很重要。

大家知道，不管AI也好，先進的集成電路數碼也好，視覺是很重要的，視覺是顯示屏是最重要的。但大面積顯示屏正是我們國家的短板。大概有17種不同的工藝設備，全部是國外買的。

而這個大生產線，像OLED 70%的生產線、全球生產線都在中國建，但100%的設備都是外國的，所以完全沒有自主可控的可能性。于是我們就決定來開發這個設備。

這個設備多大呢？150噸重，15米長，15米寬，大概有兩層半樓那么高。這種設備根據我40年做設備經驗，至少（得花）3到5年，甚至可能7年（才能做出來）。

但我們的精銳團隊非常的給力，從一張白紙到做好這個設備，只用了11個月，讓它可以運轉。又用了不到4個月的時間，就做到了客戶對下一代的要求，做到5個百分點以下，18個月就（把該設備）運到生產線上，又經過幾個月就核準。

所以基本是兩年，從一張白紙（從零起步）、沒做設備（毫無設備基礎）就可以做（研發）出來。我們現在已經有這個能力來做最先進的設備。

主持人：為什么本身的刻蝕機做的這么好，還要研發其他的設備？

尹志堯：早的時候我就說，你要說宣稱我有個刻蝕機、可以（做到）最好的刻蝕機，可是你拿到客戶生產線上去，碰到100種不同的薄膜，有的能刻有的不能刻，那就出問題了。

所以一般的像應材、泛林和東京電子都是刻蝕機起家的，但是在刻蝕機做好一定要往薄膜（設備）走，因為我們要把薄膜也拿下來以后，自己沉積的薄膜自己就可以刻蝕。

這兩個設備做好了以后，再有能力、再有野心的話，做什么？量檢測設備。如果再有精力做什么？做司法設備。它的風險在什么地方？過去的40年，從1984年到現在有7次的大起大伏。設備的市場一年可以漲100%，一年可以掉百分之三四十，是非常可怕的一種（起伏），它不是很穩定的。

比如設想，我們現在是200億的產值了，突然一年一掉掉到100億了，那公司有幾千人、上萬人怎么辦。所以一定要保持穩定的高速增長，就要把雞蛋再放在另外的領域的籃子里面。

什么領域呢？叫泛半導體領域。有6個泛半導體領域都是集成電路設備衍生出來的。

第一個就是大平板設備，第二個是太陽能電池設備，第三個是寬晉帶半導體發光二極管設備，第四個是各種特殊器件，第五個是功率器件，最后（一個）是現在最熱的先進封裝。

所以我們第二維呢，就做這些泛半導體的設備。把我們的核心競爭力，核心技術延伸到國計民生中一些新的應用中，而且是剛性需求、老百姓總要用的東西，這是我們的第三維探索。

五、20000余字總結領導心得，新品設計堅持親自把關

主持人：像中微這樣的科技型創新企業，面對不斷變化的市場，要做出自己的反應和反饋。管理者的身上是不是應該有一些不一樣的特質？

尹志堯：我寫了一個兩萬多字的領導能力的十大要點，我覺得有三個核心。第一個是人的價值觀、人生觀，你為什么而活？為什么而做？如果這個東西是錯的，那你做不成的。在這個基礎上人必須有拼命的drive（驅動）能力，就是自強不息。

不管周圍的環境好壞，他是一個火種，他走到哪兒就把哪起火來。

還有一個就是戰略決策能力，是三維立體決策。第一個，走一步計劃三步看七步，不能走一步看一步，就時間標度要看遠。另外一個方向看廣，最后一個要看深，看到深度做決定。有了這三維的決定，一般就可以做正確決定了。

我這20多年做了無窮多的決定，現在看來大概99%都是對的，就是因為有這個決策的能力。

最后一個就是讓接班人更好。其實每個最偉大的公司，其通病就是一代不如一代。要做好這個，需要（做好）傳承和接班兩件事。傳承，就是我們花了幾年的時間寫了600頁的書。你要做中微就得按照這個基本的邏輯去做。

主持人：在您的心目當中已經有這樣的人了嗎？

尹志堯：有一批人。

主持人：您覺得他未來能把中微做的比現在更好嗎？

尹志堯：一定比我做的好。

主持人：如果到一個更高的水平線上，九十多分了再提高每一分可能都挺難的。我們聽說每提高一分的時候，您自己都親力親為，有的時候還加班到凌晨。

尹志堯：說老實話，公司做大了，不能每件事都自己親力親為。但至少在一個新產品的設計階段，我都會非常仔細地和設計團隊、工程團隊討論：現在國際上第一的設備、第二的設備它的優點缺點是什么，我們有什么招數設計出一個新產品，能夠把它的優點綜合上、缺點避免到。

（我們）每次都用這樣的一個邏輯去分析，所以我們都會提出新的方法來設計。

主持人：我們知道中微公司還有一個特點，就是全員持股。公司的每一個崗位，保安司機都有股票。是這樣嗎？

尹志堯：（對于）保安，（他如果）是我們的合同工，不是（不持股）。只要是公司的正式雇員，包括門口的接待人員都有股票，司機也都有股票。

主持人：但是您個人的持股比例，在這種創業公司來講是比較低的。

尹志堯：0.7%。

主持人：您覺得這樣分散的全員的持股模式，給中國公司帶來了什么？

尹志堯：實際上我覺得每個人做事，都是為了自己的精神滿足和物質滿足，這就是人們的積極性來源。所以我們一定要把員工的近期利益和公司獎金與獎勵綁定。所以他近期努力（能）看到結果，馬上就有結果。

要把員工的長遠利益，也就是他的股票期權和公司的長遠發展綁定。有了這樣的綁定，他就能發揮最大的積極性。

我在四十多年前觀察硅谷那些公司，得到一個很簡單的結論。在起始階段，它們最核心的是得有個獨特的技術，也就是看家本事，必須有個什么東西比別人先進。

但是10個公司啟動，大概只有3、4個公司能漲起來，其他公司就倒掉了。它們的營運能力是最主要的東西。

其實我認為，公司如何去平衡這個利益集團的矛盾和關系，使每個利益集團基本上得到70%它想要的東西，大家都可以有個平衡，這是多個運營公司的核心。

到了營運能力強的公司就做大了，真正讓它們的公司成功、長遠成功（的原因）是其文化作風。

我一直在觀察，怎么把一群人管理到最好，讓他們變成一個強群。

主持人：聽說您還創作了一首歌，是嗎？

尹志堯：不是我創造的，是我和作曲家安棟教授合作了6個月，創作了原來叫《中微之歌》，現在我把這個“偷梁換柱”變成科創之歌。所以大家都可以唱。

主持人：這個科創之歌跟您剛才提到這些愿景有關聯嗎？

尹志堯：完全一樣。那里面的三句關鍵的話是我加進去的，一個就是“攀登勇者，志在巔峰”，第二個是“自強不息，厚德載物”，最后一個是“芯片越做越小，我們越戰越強”。

來源：央視頻