河南
之前不少人都說，咱們中國芯片被卡脖子，沒了EUV根本造不出先進芯片。這話放在今天，真得徹底改改了。咱們國產DUV光刻機都已經量產交付了，不用等EUV就能搞定7納米級別芯片，這波突破比很多人預想的來得更快更猛。
外部技術管制越收越緊，反而逼得咱們國內半導體設備加速突破。上海微電子的SSA800浸潤式DUV光刻機，早就完成交付了。現在已經送到中芯國際、華宏集團這些國內晶圓廠做工藝驗證，能適配28納米成熟制程芯片生產。別小看28納米，現在它可是全球芯片出貨的絕對主力，市場占比超過九成。
新能源汽車里的功率芯片，智能家電的控制芯片，工業生產用的工控芯片，絕大多數都用的是這個制程。Gartner預測過，2026年全球半導體行業總收入會突破1.32萬億美元，成熟制程就是撐著整個行業出貨量的核心。能完全自主掌握28納米相關技術，不管是產業價值還是戰略價值，都高得超乎想象。
有了國產DUV設備，再配合多重曝光工藝，中芯國際已經順利實現了制程延伸，能完成7納米級別芯片的制造，工藝良率還比之前穩步提升。這套技術對套刻精度要求特別嚴苛，得靠刻蝕、薄膜沉積等多類國產設備協同配合才能做下來。從成本來看，咱們國內造7納米芯片，已經有了明顯的價格優勢。
看中芯國際2025年的公開數據，全年銷售額達到93.27億美元，同比增長了16.2%，本土客戶的營收占比已經到了85.6%。國內龐大的內需市場，現在已經成了中芯國際穩定發展的最堅實靠山。不用看海外客戶臉色，咱們就能悶頭搞研發磨技術。
這么多年的技術攻關不是白熬的，現在國內半導體四大核心設備環節，全都實現了規模化應用。完整的國產設備生態已經初步成型，這點真的太重要了。現在國內新建的晶圓產線里，國產設備的采購金額占比已經達到了55%，過半份額都拿到了，這就是最硬的底氣。
各個細分賽道現在也不斷出亮點，中微公司的5納米刻蝕機已經打進了先進制程產線，圣美半導體的清洗設備在28納米產線一直保持著很高的利用率。薄膜沉積類設備，也在主流存儲工廠持續擴容，一步一步搶占原來海外廠商的市場。
現在咱們國內的芯片產線，已經有了完全自主可控的設備備選方案。之前海外供應鏈一波動，咱們就得跟著慌，現在這種影響已經被大幅降低了。本土產業鏈整體崛起，直接給海外老牌設備廠商帶來了不小的沖擊，原來壟斷市場賺大錢的日子，一去不復返了。
尼康2025財年就出現了大額虧損，光刻機業務的出貨量銳減，連核心生產工廠都關停了，市場競爭力大幅衰退。ASML在咱們中國的市場份額也明顯下滑，浸潤式DUV設備的出貨量一直在降，來自中國市場的營收受到了直接沖擊。國內客戶都在加速替換國產設備，海外廠商原來的傳統盈利空間，被擠得越來越小。
大家最關心的EUV光刻機前沿領域，咱們國內研發也拿到了階段性成果。深圳的聯合研發團隊，已經成功組裝并點亮了EUV光刻機原型機，走的是LDP技術路線，能夠穩定產生13.5納米的極紫外光。目前原型機的光源輸出功率還沒達到商用標準，距離正式落地商用還有一段技術攻關的路要走。業內預估，國產EUV設備有望在2028年前后逐步推向市場。
外界對咱們的技術限制越強，咱們國產替代的速度反而越快。本土設備廠商靠著國內龐大的內需市場打磨技術，不斷迭代更新產品。原來那種咱們只能單一依賴海外設備的全球半導體供應體系，已經開始發生改變。
整個行業現在逐步走向了多元并存的新格局，國產半導體設備從成熟制程到前沿技術，一直在穩步邁進。咱們在全球半導體行業的產業話語權，也在持續提升。這波穩扎穩打的突破，比什么虛頭巴腦的概念都來得更扎實。
參考資料：人民日報 中國半導體產業自主創新發展紀實
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