相信很多人都聽過(guò)“光刻機(jī)是工業(yè)皇冠上的明珠”這句話,這些年被西方媒體吹得神乎其神,仿佛誰(shuí)攥住它,誰(shuí)就拿捏了全球半導(dǎo)體的命門。
但2025年,項(xiàng)立剛一句“這顆明珠很快要變成玻璃珠了”,直接在圈內(nèi)炸了鍋,圈外人也跟著湊起了熱鬧,心里都打了個(gè)問(wèn)號(hào):這話是真的嗎?中國(guó)真的在光刻機(jī)上追上了?真的行了?
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其實(shí)答案很簡(jiǎn)單,不是一步登天,卻是實(shí)打?qū)嵉耐黄啤Hツ晷聞P來(lái)一口氣拿出31款半導(dǎo)體設(shè)備,從刻蝕到光學(xué)檢測(cè),幾乎覆蓋了芯片制造的所有核心環(huán)節(jié)。更有意思的是,這些設(shè)備都用武夷山、峨眉山這些中國(guó)名山命名,那份底氣,明眼人一看就懂。
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而且項(xiàng)立剛說(shuō)過(guò)一句特別實(shí)在的話,產(chǎn)業(yè)發(fā)展從來(lái)不是靠捷徑,靠的是無(wú)數(shù)普通人踏踏實(shí)實(shí)干,一點(diǎn)一點(diǎn)熬出來(lái)的。這話放在中國(guó)光刻機(jī)身上,再貼切不過(guò)。咱們能走到今天,全靠一個(gè)“熬”字,而這個(gè)“熬”,離不開美國(guó)這些年的層層封堵。
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說(shuō)起來(lái)都是淚,早在2018年,美國(guó)就給荷蘭施壓,不讓ASML給中國(guó)賣最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)。結(jié)果就是,中芯國(guó)際都付了錢,最后一臺(tái)機(jī)器也沒(méi)拿到,竹籃打水一場(chǎng)空。這還不算完,從2019年開始,美國(guó)的限制一輪比一輪嚴(yán),從EUV延伸到DUV,從高端型號(hào)卡到中高端,到2025年,荷蘭更是直接把DUV的出口限制從7納米提到14納米,擺明了想把我們卡死。
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可他們忘了,中國(guó)人最不怕的就是被逼到絕境。其實(shí)咱們搞光刻機(jī)的歷史,比很多人想的久多了。上世紀(jì)70年代,在西方封鎖的大背景下,咱們的團(tuán)隊(duì)從零起步,硬是造出了一臺(tái)光刻機(jī)。可惜后來(lái)產(chǎn)業(yè)化沒(méi)跟上,差距越拉越大,到21世紀(jì)初,幾乎又要從頭再來(lái)。直到2021年,事情才有了轉(zhuǎn)折,短短三年時(shí)間,我們就從零攢起了基本能力,慢慢開始面向市場(chǎng)。
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2025年,好消息更是扎堆來(lái)。上海微電子交付了首臺(tái)28納米浸沒(méi)式光刻機(jī),從之前的90納米躍升到28納米,這一步走得特別扎實(shí)。EUV方向上,哈工大研發(fā)出13.5納米極紫外光技術(shù),中科院上海光機(jī)所用固體激光器搞出了LPP-EUV光源,達(dá)到了國(guó)際領(lǐng)先水平。
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反觀ASML,日子就沒(méi)那么好過(guò)了,2025年中國(guó)市場(chǎng)占了它33%的銷售額,是最大的單一市場(chǎng),但它自己預(yù)測(cè),2026年這個(gè)占比會(huì)降到20%,封鎖的反噬,慢慢顯現(xiàn)出來(lái)了。
當(dāng)然,咱們也得清醒,國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)離世界頂尖還有差距。比如套刻精度,上海微電子能做到8納米,而ASML已經(jīng)到了亞納米級(jí)別,關(guān)鍵部件還有部分依賴進(jìn)口,EUV從樣機(jī)到量產(chǎn),還有很多難關(guān)要過(guò)。
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項(xiàng)立剛的話或許有些樂(lè)觀,但不可否認(rèn)的是,中國(guó)正在用實(shí)力,把光刻機(jī)從神壇拉回賽場(chǎng)。等國(guó)產(chǎn)設(shè)備大規(guī)模進(jìn)場(chǎng),到時(shí)候,價(jià)格、供應(yīng)鏈、話語(yǔ)權(quán),都會(huì)徹底不一樣。
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