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人工智能半導(dǎo)體供應(yīng)鏈高度集中于少數(shù)幾個(gè)生產(chǎn)基地,其脆弱性在氦氣斷供背景下被進(jìn)一步放大。
作為聚焦氦氣斷供影響半導(dǎo)體行業(yè)的系列文章第二篇,本文承接首篇《氦氣告急,直擊 AI 熱潮》的核心議題,深入探討這場(chǎng)供應(yīng)鏈危機(jī)的深層傳導(dǎo)邏輯。
隨著氦氣采購(gòu)陷入停滯,人工智能熱潮是否也將隨之降溫?
氦氣(He)供應(yīng)中斷會(huì)導(dǎo)致晶圓溫度控制失效,進(jìn)而對(duì)高深寬比(HAR)刻蝕的線寬(CD)可控性、全環(huán)繞柵極(GAA)納米片形成過(guò)程中選擇性比的面內(nèi)均勻性,以及存儲(chǔ)單元的電學(xué)性能產(chǎn)生致命影響。更關(guān)鍵的是,這不僅會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降,還可能使成品無(wú)法達(dá)到既定規(guī)格要求。
換句話說(shuō),即便半導(dǎo)體芯片能夠制造完成,其性能也無(wú)法得到保障。這種情況相當(dāng)于供應(yīng)鏈中的“硬性供應(yīng)中斷”,而人工智能基礎(chǔ)設(shè)施將成為受影響最嚴(yán)重、波及范圍最廣的領(lǐng)域。
人工智能半導(dǎo)體供應(yīng)鏈中的結(jié)構(gòu)性脆弱性
當(dāng)前,人工智能半導(dǎo)體供應(yīng)鏈高度集中于少數(shù)幾個(gè)生產(chǎn)基地,其脆弱性在氦氣斷供背景下被進(jìn)一步放大。
(1)GPU/AI ASIC:高度依賴臺(tái)積電工藝
英偉達(dá)(NVIDIA)的Hopper系列(H100、H200)、Blackwell系列(B200、GB200)、下一代Rubin架構(gòu),以及博通(Broadcom)的TPU定制ASIC、超威半導(dǎo)體(AMD)的MI300系列,均采用臺(tái)積電的先進(jìn)制程(N5/N4/N3)制造。
這些制程均涉及鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FinFET)結(jié)構(gòu),且在每一步干法刻蝕工序(包括鰭片形成、柵極圖形化及精細(xì)布線制作)中,都需要通過(guò)氦氣背面冷卻實(shí)現(xiàn)高精度溫度控制。此外,從N2制程開(kāi)始引入的GAA結(jié)構(gòu)中,納米片的形成需依賴高選擇性等離子體刻蝕,這進(jìn)一步提升了對(duì)氦氣的依賴程度。
氦氣短缺會(huì)破壞±0.5°C的溫度均勻性要求,線寬(CD)偏差擴(kuò)大將直接導(dǎo)致漏電流增加、頻率分檔性能惡化,甚至造成GPU芯片出現(xiàn)缺陷——這類GPU芯片通常集成1000億至2000億甚至更多晶體管。若臺(tái)積電N3制程良率下降10至20個(gè)百分點(diǎn),每片晶圓上的合格芯片數(shù)量將大幅減少,GPU供應(yīng)量將不再與晶圓投入量成正比。
HBM:依賴SK海力士/三星/美光三大廠商
影響人工智能GPU和ASIC性能的另一關(guān)鍵因素是高帶寬內(nèi)存(HBM)。SK海力士在全球HBM3E市場(chǎng)占據(jù)主導(dǎo)地位,其產(chǎn)品被應(yīng)用于英偉達(dá)B200芯片組,三星和美光則緊隨其后,共同占據(jù)全球HBM市場(chǎng)的絕大部分份額。
韓國(guó)內(nèi)存制造商65%的氦氣供應(yīng)依賴卡塔爾,而截至2026年4月,卡塔爾的氦氣庫(kù)存已出現(xiàn)明顯下滑。HBM的制造工藝比普通DDR DRAM更為復(fù)雜,需大量采用高深寬比蝕刻技術(shù),其中就包括硅通孔(TSV)的制作。因此,氦氣短缺對(duì)HBM產(chǎn)能的影響,將遠(yuǎn)大于對(duì)普通DDR DRAM的影響。
若SK海力士的HBM供應(yīng)中斷,即便臺(tái)積電能夠正常生產(chǎn)GPU和AI ASIC芯片,也無(wú)法將其封裝至臺(tái)積電所采用的芯片級(jí)晶圓封裝(CoWoS)中。人工智能半導(dǎo)體的產(chǎn)能,取決于兩大核心組件的供應(yīng)能力:一是GPU和AI ASIC單芯片的產(chǎn)出,二是HBM的供應(yīng)規(guī)模。由于兩者均受氦氣短缺的直接影響,這意味著供應(yīng)鏈瓶頸呈現(xiàn)雙重疊加態(tài)勢(shì)。
3D NAND:影響AI學(xué)習(xí)數(shù)據(jù)基礎(chǔ)設(shè)施
生成式人工智能不僅在推理階段需要大容量存儲(chǔ)支持,在模型訓(xùn)練階段同樣對(duì)存儲(chǔ)容量有極高需求。目前,3D NAND閃存已實(shí)現(xiàn)超過(guò)200個(gè)垂直存儲(chǔ)單元的堆疊結(jié)構(gòu),部分產(chǎn)品已接近300層。其存儲(chǔ)孔的制作堪稱高深寬比(HAR)蝕刻技術(shù)的巔峰之作,縱橫比超過(guò)100:1。
此外,三星、SK海力士集團(tuán)(Solidigm)、鎧俠和美光科技等主流3D NAND制造商,均采用了類似的氦氣依賴型制造結(jié)構(gòu)。3D NAND供應(yīng)受限將推高數(shù)據(jù)中心存儲(chǔ)擴(kuò)展的成本,導(dǎo)致固態(tài)硬盤(SSD)價(jià)格飆升,進(jìn)而制約訓(xùn)練數(shù)據(jù)規(guī)模的擴(kuò)大,間接影響人工智能模型的迭代速度。
超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心的投資體系正在崩潰
2025年至2027年間,全球主要超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心運(yùn)營(yíng)商計(jì)劃大規(guī)模投資人工智能基礎(chǔ)設(shè)施,其中美國(guó)前四大超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心運(yùn)營(yíng)商的資本投資規(guī)模尤為龐大。
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美國(guó)前4大超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心運(yùn)營(yíng)商對(duì)數(shù)據(jù)中心的資本投資預(yù)測(cè)
這些資本投資均基于一個(gè)核心假設(shè):半導(dǎo)體產(chǎn)品能夠按計(jì)劃交付。若GPU、AI ASIC、CPU、HBM、DDR DRAM或SSD中的任何一種產(chǎn)品供應(yīng)受到嚴(yán)重限制,數(shù)據(jù)中心建設(shè)進(jìn)度將被迫延誤,其投資回收計(jì)劃也將受到根本性沖擊。
更值得警惕的是,此次半導(dǎo)體短缺并非源于“暫時(shí)性供需缺口”,而是由“制造工藝的物理限制”所致。這一問(wèn)題無(wú)法通過(guò)調(diào)整需求側(cè)(如改變訂單數(shù)量、替換替代產(chǎn)品)解決,唯有在氦氣供應(yīng)恢復(fù)正常,或不依賴氦氣的溫度控制技術(shù)實(shí)現(xiàn)實(shí)用化后,才能從根本上破解。
重新定義瓶頸——“制造業(yè)”先于“電力”停止
迄今為止,行業(yè)分析師和媒體反復(fù)探討三大因素,將其視為人工智能基礎(chǔ)設(shè)施擴(kuò)展的核心制約因素:
- CoWoS封裝產(chǎn)能:臺(tái)積電先進(jìn)封裝技術(shù)(CoWoS-S/CoWoS-L)的產(chǎn)能,已成為GPU和AI ASIC供應(yīng)的主要瓶頸;
- HBM供應(yīng):SK海力士的HBM產(chǎn)能,是限制英偉達(dá)GPU和AI ASIC出貨量的關(guān)鍵因素;
- 電力供應(yīng):自2024年下半年以來(lái),人工智能數(shù)據(jù)中心的電力消耗激增,而電力基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)進(jìn)度滯后的論調(diào)廣泛傳播。
上述觀點(diǎn)均成立,這些制約因素依然客觀存在。然而,本文通過(guò)分析論證發(fā)現(xiàn),在供應(yīng)鏈更上游的環(huán)節(jié),存在一個(gè)比上述瓶頸更為根本的限制因素——氦氣供應(yīng)。
在討論臺(tái)積電CoWoS封裝產(chǎn)能之前,必須首先確保封裝所需的GPU、AI ASIC芯片和HBM芯片均已按規(guī)格制造完成;同樣,在討論數(shù)據(jù)中心電力消耗之前,必須確保為AI服務(wù)器提供核心支撐的半導(dǎo)體器件供應(yīng)充足。
氦氣供應(yīng)中斷將直接破壞半導(dǎo)體制造的“工藝建立條件”,對(duì)供應(yīng)鏈頂端形成剛性制約,導(dǎo)致所有下游投資計(jì)劃、技術(shù)路線圖和商業(yè)模式的前提條件全部失效。截至2026年4月,人工智能熱潮面臨的最大風(fēng)險(xiǎn),既不是電力短缺,也不是人工智能需求下滑,而是因氦氣供應(yīng)中斷導(dǎo)致半導(dǎo)體無(wú)法正常生產(chǎn)。
影響擴(kuò)散到四個(gè)階段
第一階段:工業(yè)氣體供應(yīng)商
正如AirGas公司所宣布的那樣,氦氣供應(yīng)商將優(yōu)先供應(yīng)醫(yī)療和國(guó)防領(lǐng)域,大幅減少對(duì)包括半導(dǎo)體制造在內(nèi)的工業(yè)領(lǐng)域的供應(yīng)。霍爾木茲海峽的封鎖將導(dǎo)致約200個(gè)低溫ISO集裝箱(相當(dāng)于全球每月液氦供應(yīng)量的相當(dāng)一部分)滯留,這將導(dǎo)致美國(guó)國(guó)內(nèi)的氦氣產(chǎn)量(占全球市場(chǎng)份額的43%)無(wú)法滿足需求。
第二階段:半導(dǎo)體制造商
受氦氣供應(yīng)限制影響,存儲(chǔ)器制造商(SK海力士、三星、美光、鎧俠)和晶圓代工廠(臺(tái)積電、三星晶圓代工、英特爾晶圓代工)將因產(chǎn)品良率大幅下降或生產(chǎn)線停產(chǎn),無(wú)法履行與客戶簽訂的晶圓及芯片供應(yīng)合同。尤其值得注意的是,韓國(guó)內(nèi)存制造商65%的氦氣采購(gòu)依賴卡塔爾,其HBM生產(chǎn)中的高深寬比TSV蝕刻,以及3D NAND生產(chǎn)中的存儲(chǔ)孔蝕刻,將首當(dāng)其沖受到氦氣短缺的沖擊。
高度依賴卡塔爾氦氣供應(yīng)的韓國(guó)內(nèi)存制造商(SK海力士、三星),可能在2026年5月至6月宣布停止相關(guān)產(chǎn)品供應(yīng);臺(tái)積電和美光可能在同年6月至7月跟進(jìn)宣布停供;英特爾則可能在7月至8月宣布停供。屆時(shí),各企業(yè)將正式宣布停止供應(yīng),并依據(jù)不可抗力條款尋求豁免供貨義務(wù)。
第三階段:人工智能芯片供應(yīng)商
GPU/AI ASIC芯片和HBM采購(gòu)中斷,將導(dǎo)致英偉達(dá)(Hopper、Blackwell、Rubin架構(gòu)產(chǎn)品)、AMD(MI300系列)、博通(谷歌TPU定制ASIC)、高通、蘋果和聯(lián)發(fā)科等企業(yè),無(wú)法履行與服務(wù)器供應(yīng)商(戴爾、HPE、超微等)及移動(dòng)設(shè)備制造商簽訂的供貨合同。臺(tái)積電的CoWoS封裝工藝,需同時(shí)具備先進(jìn)邏輯芯片和HBM才能完成——這意味著其中任何一種產(chǎn)品良率失敗,都將導(dǎo)致整個(gè)封裝流程停滯。
第四階段:超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心
無(wú)法采購(gòu)到人工智能服務(wù)器,將嚴(yán)重延誤微軟(2025財(cái)年約800億美元)、谷歌(約750億美元)、亞馬遜(約1000億美元)和Meta(約600億至650億美元)的人工智能服務(wù)器采購(gòu)資金撥付——這四家企業(yè)每年的采購(gòu)總額超過(guò)3000億美元(約合45萬(wàn)億日元)。此舉可能導(dǎo)致這些企業(yè)無(wú)法履行與客戶(Azure、GCP、AWS和Meta AI的用戶)簽訂的服務(wù)級(jí)別協(xié)議(SLA),進(jìn)而影響其市場(chǎng)信譽(yù)和業(yè)務(wù)發(fā)展。
現(xiàn)階段,整個(gè)人工智能行業(yè)的增長(zhǎng)前景已受到根本性動(dòng)搖。僅上述四家企業(yè)的市值總和就超過(guò)8萬(wàn)億美元(約合1200萬(wàn)億日元),若人工智能服務(wù)器供應(yīng)長(zhǎng)期停滯成為現(xiàn)實(shí),市場(chǎng)對(duì)行業(yè)增長(zhǎng)的預(yù)期將大幅下降,進(jìn)而面臨1萬(wàn)億至2萬(wàn)億美元(約合150萬(wàn)億至300萬(wàn)億日元)的市值損失風(fēng)險(xiǎn)。
對(duì)日本的影響
首先是Rapidus公司,該公司目標(biāo)在2027年實(shí)現(xiàn)N2制程量產(chǎn)。其仿照IBM工藝開(kāi)發(fā)的GAA成型過(guò)程中,納米片等離子體刻蝕環(huán)節(jié)的溫度控制精度必須嚴(yán)格控制在±0.5°C以內(nèi)。然而,若氦氣供應(yīng)中斷,晶圓表面溫度的均勻性偏差將擴(kuò)大至±2°C以上,導(dǎo)致產(chǎn)品良率完全無(wú)法保證,量產(chǎn)計(jì)劃將被迫延誤。
JASM熊本1號(hào)工廠(制程覆蓋22/28nm至12/16nm)用于索尼CMOS圖像傳感器的模擬混合信號(hào)工藝,目前已出現(xiàn)溫度均勻性惡化的問(wèn)題,引發(fā)市場(chǎng)對(duì)信噪比(SNR)下降的擔(dān)憂。此外,若臺(tái)積電熊本2號(hào)工廠(3nm制程)在2027年如期投產(chǎn),其先進(jìn)制程對(duì)氦氣的依賴性將進(jìn)一步增加,氦氣短缺帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn)將持續(xù)放大。另外,美光廣島工廠也將直接受到影響,其用于第一代β/1γ DRAM生產(chǎn)的高深寬比(HAR)刻蝕工藝,對(duì)氦氣具有極高依賴性。
此外,對(duì)于汽車應(yīng)用領(lǐng)域的半導(dǎo)體而言,因溫度控制惡化導(dǎo)致的電氣特性變化,可能使其無(wú)法滿足AEC-Q100(集成電路)和AEC-Q101(分立元件)的可靠性標(biāo)準(zhǔn),進(jìn)而無(wú)法獲得出貨認(rèn)證,影響汽車半導(dǎo)體的供應(yīng)穩(wěn)定。
氦氣斷供的沖擊規(guī)模遠(yuǎn)超當(dāng)前認(rèn)知,且仍在持續(xù)發(fā)酵。與最初僅作為部分干法刻蝕設(shè)備制冷劑的氟化物不同,氦氣的破壞性影響不僅覆蓋干法刻蝕設(shè)備,還波及極紫外光刻(EUV)、化學(xué)氣相沉積(CVD)/原子層沉積(ALD)設(shè)備以及氦泄漏測(cè)試等環(huán)節(jié),幾乎動(dòng)搖了半導(dǎo)體制造各個(gè)環(huán)節(jié)溫度控制和質(zhì)量保證體系的根基。
因此,氦氣供應(yīng)鏈中斷將引發(fā)從工業(yè)氣體供應(yīng)商、半導(dǎo)體制造商、人工智能芯片供應(yīng)商,到超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心運(yùn)營(yíng)商的四階段合同違約鏈,進(jìn)而導(dǎo)致美國(guó)前四大超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心運(yùn)營(yíng)商2025年總額超過(guò)3000億美元(約45萬(wàn)億日元)的人工智能基礎(chǔ)設(shè)施投資計(jì)劃,實(shí)際上無(wú)法落地執(zhí)行。
目前,尚無(wú)任何導(dǎo)熱介質(zhì)能夠替代氦氣。現(xiàn)有氦氣回收系統(tǒng)的回收率雖據(jù)稱可達(dá)80%-95%,但該系統(tǒng)僅能減少氦氣消耗,無(wú)法增加氦氣總供應(yīng)量,且無(wú)法應(yīng)用于干法刻蝕設(shè)備。
此外,若氦氣初始供應(yīng)無(wú)法得到保障,整個(gè)回收系統(tǒng)將陷入無(wú)法運(yùn)轉(zhuǎn)的困境。因此,這場(chǎng)危機(jī)純粹由資源短缺引發(fā),不存在任何技術(shù)層面的變通解決方案,與半導(dǎo)體行業(yè)以往經(jīng)歷的任何供應(yīng)鏈危機(jī)都有著本質(zhì)區(qū)別。
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