你可能聽說了,咱們國內(nèi)現(xiàn)在能造出等效7nm的芯片了。聽著挺厲害對吧?但別急著高興,這里面有個大問題——產(chǎn)能不大,而且用的設(shè)備,還有一些是進(jìn)口的。
從實際來看,這種7nm芯片,是靠浸潤式DUV光刻機(jī),一遍又一遍地“多重曝光”才折騰出來的。而最關(guān)鍵的浸潤式DUV光刻機(jī),是從荷蘭ASML公司買的。
但問題來了:ASML現(xiàn)在連先進(jìn)的浸潤式DUV都不賣給我們了。能賣給我們的,是比西方落后了至少十年以上的老機(jī)型。
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那咱們自己造不行嗎?14億人,難道真搞不出一臺光刻機(jī)?
說實話,真造不出來。別說是頂級EUV光刻機(jī),就是浸潤式DUV,咱們目前也還沒搞定。現(xiàn)在國內(nèi)能做出來的,還停留在干式DUV的水平。這中間的差距,不是一星半點。
那難點到底在哪兒?
光刻機(jī)這東西,說起來核心就三大塊:光源系統(tǒng)、物鏡系統(tǒng)、工作臺。聽起來不多,可每一塊都是天花板級別的難度。
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先說話光源。DUV用的是193nm波長的光源,這塊咱們還行,不管干式還是浸潤式,起碼光源能搞定。
但到了EUV級別,光源技術(shù)就完全不一樣了——波長直接縮到13.5nm。怎么來的?用雙脈沖二氧化碳激光,每秒鐘打5萬顆20微米大小的錫液滴,瞬間產(chǎn)生50萬度的等離子體,錫離子一跳遷,才能發(fā)出13.5nm的光。
然后還要用多層透鏡篩選、收集。這種技術(shù),全球也就ASML、蔡司、Cymer幾家聯(lián)手才能搞出來,堪稱人類工業(yè)的極限。目前國內(nèi),真做不了。
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再說物鏡系統(tǒng)。這個更讓人頭疼。從浸潤式DUV光刻機(jī)開始,全球只有一家廠商能造出這樣的物鏡——德國蔡司。沒錯,就這一家。連光學(xué)技術(shù)那么牛的日本都不行,咱們目前也沒有這樣的企業(yè)。連浸潤式的物鏡都造不出來,更別提EUV的了。
相比之下,工作臺反倒沒那么絕望。工作臺講究的是對準(zhǔn)、精度、控制,屬于機(jī)械、自動化、精密儀器的范疇。這塊咱們底子還可以,已經(jīng)有成型、穩(wěn)定可用的產(chǎn)品了。雖然跟EUV級別比還有差距,但差的也不算太遠(yuǎn)了。
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所以你看,真正的瓶頸就兩個:光源和物鏡。這兩樣不突破,浸潤式DUV和EUV光刻機(jī),咱們就始終造不出來。
這也是為什么美國只要卡住光刻機(jī),就能卡住我們整個芯片產(chǎn)業(yè)。不是咱們不努力,是這玩意真的太硬核了。只有哪天咱們自己的光刻機(jī)真正突破了,脖子才算真正不被卡住。
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