安徽
記者從安徽北方微電子研究院集團有限公司了解到，近日，該院在MEMS-OCS陣列微鏡芯片的微納工藝集成制造技術上取得重大突破，成功攻克了一系列技術難題，掌握了MEMS-OCS陣列微鏡芯片量產制造工藝，為我國高端光通信核心芯片國產化替代筑牢了產業底座。
MEMS-OCS是基于MEMS工藝制造的光電路交換器件，主要用于實現不同光信號通道之間的靈活、高效切換。其制造工藝，是目前全球微納加工領域頂尖技術之一，國內長期依賴進口。
“在數字經濟、算力網絡與全光通信加速發展的大背景下，高端MEMS芯片設計與微納制造能力，已成為全光交換、智能感知、慣性導航等戰略領域的核心硬核支撐?！卑不毡狈轿㈦娮釉河嘘P負責人說，此次技術突破主要圍繞256端口、1024端口陣列微鏡芯片的研制需求展開，重點攻克了微納結構精密刻蝕、低應力薄膜生長、高深寬比結構成型、高精度對準鍵合、高反射率鏡面制備、晶圓級一體化等核心工藝難題，形成了完備的自主工藝規范與技術成果體系。通過這一工藝產出的芯片，具備響應速度快、偏轉精度高、插入損耗低、通道隔離度優、長期穩定性強等突出優勢，能夠全面適配OCS光電路交換、ROADM可重構光分插、數據中心全光交換、光路保護倒換等各類光通信應用場景。
安徽北方微電子研究院集團有限公司是MEMS智能傳感器產業的領軍企業，也是國內傳感器領域技術研發與產業化的標桿。依托多年在微納工藝和MEMS領域的技術積累，該院在光通信類微鏡芯片、高端慣性器件、高精度慣性測量組件、壓電時鐘諧振器件等方向持續取得關鍵突破，形成了多領域、系列化的高端MEMS技術成果布局。
目前，MEMS-OCS陣列微鏡芯片微納工藝集成制造技術已邁入技術成熟定型、深度迭代量產推進階段。在研發層面，團隊正持續開展工藝參數優化、可靠性環境試驗、性能對標升級，積累了多項發明專利、實用新型專利及自主知識產權成果。在生產層面，企業已配套建成專業潔凈研發生產環境、微納工藝加工平臺與全套精密測試表征系統，具備了晶圓批產、結構加工、封裝老化、質量全流程管控能力。
下一步，安徽北方微電子院將立足蚌埠，持續深耕微納制造與MEMS核心技術賽道，強化技術創新與成果轉化，完善產業鏈協同配套能力，全力打造自主可控、安全可靠的高端MEMS芯片研發生產基地，為全光網絡建設、算力基礎設施、航空航天與高端裝備等國家戰略領域持續賦能，助力蚌埠加快打造中國傳感谷。
記者 顧楷 彭雪媛 編輯 袁玉柱
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