鼎龍（潛江）光電半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園

6月9日，總部在武漢的鼎龍股份（300054.SZ）發(fā)布公告，公司旗下湖北鼎匯微電子材料有限公司全資子公司——湖北鼎龍匯盛新材料有限公司擬在湖北省潛江市的江漢鹽化工業(yè)園，啟動第三條軟拋光墊生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目，擬重點(diǎn)布局玻璃基板CMP拋光墊與大尺寸（直徑大于2米）拋光墊兩大高端產(chǎn)品，規(guī)劃年產(chǎn)能30萬片，項(xiàng)目總投資3000萬元，預(yù)計于2026年底建成投產(chǎn)。

此前，鼎龍股份已在江漢鹽化工業(yè)園建成兩條合成革濕法成型生產(chǎn)線，年產(chǎn)能50萬片，自2022年8月投產(chǎn)。經(jīng)過近4年的發(fā)展，相關(guān)產(chǎn)線產(chǎn)品已覆蓋硬拋光墊緩沖層、晶圓CMP精拋、銅阻擋層（Cu barrier）拋光、晶背減薄、大硅片粗拋和精拋、碳化硅襯底粗拋和精拋等應(yīng)用領(lǐng)域。目前，產(chǎn)能利用率已經(jīng)接近80%。

鼎龍股份表示，現(xiàn)有產(chǎn)能預(yù)計將難以匹配下游市場的快速增長，以及新技術(shù)趨勢帶來的新產(chǎn)品需求。

一方面，當(dāng)前大尺寸半導(dǎo)體襯底成為主流，客戶需求旺盛。公司現(xiàn)有的兩條軟拋光墊生產(chǎn)線，設(shè)計初衷主要面向晶圓CMP相關(guān)的應(yīng)用，受產(chǎn)線幅寬限制，僅能生產(chǎn)直徑小于1.5米的拋光墊產(chǎn)品。

伴隨芯片襯底生產(chǎn)工藝的進(jìn)步，12英寸大硅片已成主流；8英寸碳化硅襯底已實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)，12英寸碳化硅襯底亦完成研發(fā)落地。上述大尺寸襯底的粗拋環(huán)節(jié)，均需配套大尺寸拋光墊，最大直徑超2米。

另一方面，CMP軟拋光墊作為晶圓、大硅片、玻璃基板等產(chǎn)品制造環(huán)節(jié)的關(guān)鍵耗材，當(dāng)前國內(nèi)供應(yīng)由海外廠商主導(dǎo)，國產(chǎn)化率低。

軟拋光墊的應(yīng)用場景豐富，不僅可作為硬拋光墊的緩沖層，還廣泛用于晶圓制造各類CMP制程的精拋、銅阻擋層（Cu barrier）拋光、晶背減薄、大硅片的粗拋和精拋、碳化硅襯底以及其他化合物半導(dǎo)體襯底材料的拋光，在機(jī)械硬盤拋光、玻璃拋光等領(lǐng)域亦有廣泛應(yīng)用。預(yù)計2026年國內(nèi)市場規(guī)模超10億元，在先進(jìn)制程、先進(jìn)封裝等工藝發(fā)展驅(qū)動下，行業(yè)有望保持較快增長。

鼎龍股份表示，這將進(jìn)一步豐富公司CMP拋光墊產(chǎn)品矩陣，全面覆蓋襯底制造、晶圓制造和先進(jìn)封裝領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)需求，是公司長期深耕半導(dǎo)體材料、堅持自主創(chuàng)新的重要布局，有助于強(qiáng)化公司在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的核心競爭力與市場地位，提升整體盈利水平，推動公司實(shí)現(xiàn)新業(yè)務(wù)領(lǐng)域突破，同時加速相關(guān)產(chǎn)品國產(chǎn)化進(jìn)程。

鼎龍股份在江漢鹽化工業(yè)園投資的項(xiàng)目，還有總投資約8.04億元的年產(chǎn)300噸KrF/ArF光刻膠產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，已于今年3月投產(chǎn)。據(jù)悉，這是國內(nèi)首條“有機(jī)合成-高分子合成-精制純化-光刻膠混配”全流程高端晶圓光刻膠量產(chǎn)線，ArF和KrF光刻膠產(chǎn)品在國內(nèi)實(shí)現(xiàn)“全制程”與“全尺寸”覆蓋。

今年一季度，鼎龍股份實(shí)現(xiàn)營收10.2億元，歸屬凈利潤2.51億元，扣非凈利潤2.36億元，均創(chuàng)下歷史同期最好水平，同比分別增長23.82%、77.99%、75.24%。

報告期內(nèi)，CMP材料業(yè)務(wù)持續(xù)顯著增長，對鼎龍股份業(yè)績形成積極貢獻(xiàn)。其中，CMP拋光墊實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品銷售收入3.76億元，同比增長71.19%，環(huán)比增長27.03%；CMP拋光液、清洗液實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品銷售收入8511萬元，同比增長54.20%，各型號產(chǎn)品客戶端驗(yàn)證與批量供貨持續(xù)推進(jìn)。

高端晶圓光刻膠、光刻輔材、先進(jìn)封裝材料等新業(yè)務(wù)穩(wěn)步持續(xù)推進(jìn)，多款產(chǎn)品已進(jìn)入小批量穩(wěn)定供貨階段，后續(xù)訂單將持續(xù)落地放量。

記者丨林楠

編輯丨吳玲
編審丨李劍軍

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