光刻膠這東西，瓶子比一瓶礦泉水還小，價格卻按＂升＂計價。一升頂級的EUV光刻膠在市場上喊到好幾萬元人民幣，聽起來挺荒唐，可它撐起的是動輒幾千億美元的芯片制造大盤。它不像CPU那樣高調(diào)，卻卡在芯片誕生的最關(guān)鍵一步：沒有它，再先進(jìn)的光刻機也只是一臺精密的廢鐵。而這一塊戰(zhàn)略高地的歸屬，幾十年來始終牢牢攥在日本手里。

一瓶之微鎖芯片，日企稱霸非無因

根據(jù)QYResearch調(diào)研，全球EUV光刻膠的核心廠商包括TOK、JSR和信越化學(xué)，前三家企業(yè)占有約90%的市場份額，亞太地區(qū)是全球最大的EUV光刻膠市場，份額約為82%。再看整個高端半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域，日本企業(yè)的份額長期在七成到九成之間盤旋。

2024年9月《日刊工業(yè)新聞》披露的調(diào)查數(shù)據(jù)顯示，光刻膠領(lǐng)域東京應(yīng)化以22.8%的份額排名全球首位，除了美國杜邦以13.2%躋身第四之外，排名靠前的日本企業(yè)合計份額達(dá)到75.9%。

更讓人頭大的是壟斷之下的定價權(quán)。高端光刻膠的價格是按升賣的，一般的g線、i線光刻膠一升幾百塊錢，到了KrF級別一升漲到幾千，ArF級別一升上萬，最頂級的EUV光刻膠市場上報價每升好幾萬人民幣。價格說漲就漲，外人只能跟著接受。

這套護(hù)城河不是一兩家企業(yè)堆出來的，是幾十年時間淬煉的結(jié)果。日本合成橡膠（JSR）成立于1957年，1979年才進(jìn)入光刻膠領(lǐng)域，信越化學(xué)成立于1926年，1998年實現(xiàn)光刻膠產(chǎn)品的商用化。起步并不算早，但日本廠商走了一條很笨卻特別扎實的路：先把單體、樹脂、光致產(chǎn)酸劑的純度做到極致水準(zhǔn)，金屬離子雜質(zhì)含量須控制在ppb（十億分之一）級別，換言之，即便給你配方，你也未必能用，再嵌入晶圓廠的工藝驗證體系，一旦客戶的產(chǎn)線用順了，就幾乎再也換不下來。

最值得玩味的，是政策層面的動作。2024年，日本的政府背景基金JIC把JSR私有化了，從東京證券交易所退市，變成國有控股，官方說的理由是讓JSR擺脫短期業(yè)績壓力專注長期研發(fā)，但明眼人都看得出來，日本政府不想讓自己在半導(dǎo)體領(lǐng)域最關(guān)鍵的一張牌失去控制。一張牌捏在國家手里，意味著隨時可以被拿來當(dāng)籌碼。

斷供陰影未消散，國產(chǎn)替代加速行

韓國吃過的那一次大虧，至今還被三星反復(fù)復(fù)盤。2019年7月，日本單方面對韓國斷供光刻膠，直接導(dǎo)致三星7納米EUV生產(chǎn)線停擺。韓國政府牽頭鼓勵本土半導(dǎo)體材料企業(yè)加快研發(fā)，全力突破日本企業(yè)的壟斷并最終成功突圍，2023年3月日本政府決定解除限制向韓出口三種關(guān)鍵半導(dǎo)體材料的措施，將韓日出口貿(mào)易恢復(fù)至2019年7月之前的狀態(tài)，至此長達(dá)四年的＂日韓半導(dǎo)體貿(mào)易戰(zhàn)＂才正式結(jié)束。一場材料級別的封鎖，足足拉鋸了四年。

中國面對的處境比韓國更復(fù)雜。韓國好歹有三星和海力士這種全球頂級的芯片制造商，日本人不敢真斷供，斷了韓國等于斷了自己的客戶，但中國的芯片制造商跟日本的關(guān)系沒那么深，再加上這兩年的出口管制越收越緊，供應(yīng)鏈安全變成了一個必須面對的問題。

差距是實打?qū)嵉摹?024年數(shù)據(jù)顯示，我國光刻膠總體國產(chǎn)化率約25%，其中技術(shù)難度最大的半導(dǎo)體光刻膠自給率最低，國產(chǎn)化率僅8%，大量高端產(chǎn)品依賴進(jìn)口。再往細(xì)處拆，g線和i線最低端的國產(chǎn)化率大概20%到25%，KrF做中端芯片用的國產(chǎn)化率大約5%到10%，ArF做先進(jìn)制程芯片用的國產(chǎn)化率不到1%，EUV最頂級的基本為零。越往金字塔尖，國產(chǎn)替代的空白越刺眼。

不過拐點已經(jīng)在路面下萌動。2026年1月20日新浪財經(jīng)的報道傳遞出一個值得記下的信號。據(jù)工信部介紹，一款用于裝載光刻膠的玻璃瓶已攻克重大技術(shù)難關(guān)，該玻璃瓶能確保光刻膠在運輸和保管儲藏過程中不受污染、不受影響，這一突破終結(jié)了我國光刻膠行業(yè)長期以來幾乎100%依賴進(jìn)口的局面。

事實上，不僅是成品光刻膠，就連生產(chǎn)它的原材料，我國也嚴(yán)重依賴進(jìn)口，比如光引發(fā)劑這種核心材料，前幾年國內(nèi)依賴度一度超過95%。一只看起來不起眼的玻璃瓶背后，是整條產(chǎn)業(yè)鏈的拼圖正在被一塊一塊補回來。

資金面也是真金白銀砸下去。國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金三期規(guī)模達(dá)到1600億元，其中約18%的資金投向光刻膠等半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，上海等地還出臺了針對性的補貼政策，對晶圓廠采購國產(chǎn)光刻膠給予10%的補貼。政策端的火力，從過去的＂鼓勵＂切換為今天的＂加碼＂。

企業(yè)端的成績單更值得細(xì)看。2025年12月8日，南大光電在互動平臺表示，公司ArF光刻膠現(xiàn)有產(chǎn)能50噸/年，2024年度ArF光刻膠收入突破千萬元，2025年前期取得訂單的產(chǎn)品保持連續(xù)穩(wěn)定供貨。該產(chǎn)能對應(yīng)約20萬片12英寸晶圓的光刻需求，產(chǎn)品已通過中芯國際、華虹半導(dǎo)體等頭部晶圓廠認(rèn)證，實現(xiàn)從實驗室樣品到商業(yè)化供應(yīng)的跨越。

鼎龍股份這邊動作也不小，公司潛江一期年產(chǎn)30噸KrF/ArF高端晶圓光刻膠產(chǎn)線已具備批量化生產(chǎn)及供貨能力，潛江二期年產(chǎn)300噸KrF/ArF高端晶圓光刻膠量產(chǎn)線建設(shè)也將在2025年第四季度轉(zhuǎn)入試運行階段。2025年12月，尚賽集團千噸級光刻膠樹脂及新型光電材料中試基地在湖北黃岡化工產(chǎn)業(yè)園開工，總投資5億元。一連串?dāng)?shù)字背后，是國產(chǎn)替代從過去的口號真正切換到了排產(chǎn)單上。

生態(tài)共建破壁壘，自主可控待長功

光看進(jìn)度條容易過分樂觀，挑戰(zhàn)的復(fù)雜度也得講清楚。光刻膠從來不是單獨一瓶料的事，它要跟光刻機、顯影液、刻蝕工藝、產(chǎn)線潔凈度乃至工程師的操作習(xí)慣一起磨合到嚴(yán)絲合縫，才算真＂能用＂。這正是日本幾十年構(gòu)筑壁壘的真正秘密：嵌入產(chǎn)線，不可替換。

標(biāo)準(zhǔn)的話語權(quán)同樣關(guān)鍵。2025年10月，由我國主導(dǎo)起草的首個EUV光刻膠國家標(biāo)準(zhǔn)開始公示。我國首個EUV光刻膠標(biāo)準(zhǔn)《極紫外光刻膠測試方法》作為擬立項標(biāo)準(zhǔn)，于10月23日開始公示，截止時間為11月22日。在此之前，國內(nèi)在EUV光刻膠測試領(lǐng)域尚未建立統(tǒng)一的技術(shù)規(guī)范，現(xiàn)有測試方法多沿用國外企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，導(dǎo)致靈敏度、線邊緣粗糙度等核心性能指標(biāo)的檢測流程缺乏標(biāo)準(zhǔn)化，國產(chǎn)材料的驗證周期長達(dá)1到2年。標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)一以后，國產(chǎn)膠導(dǎo)入晶圓廠的速度有望顯著提升。

科研側(cè)的突圍同樣在加速。2025年7月28日，清華大學(xué)化學(xué)系許華平教授團隊在極紫外光刻材料上取得重要進(jìn)展，開發(fā)出一種基于聚碲氧烷的新型光刻膠，為先進(jìn)半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵材料提供了新的設(shè)計策略。10月16日，南開大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)研究所發(fā)布消息，其團隊在氧化鈦團簇光刻材料領(lǐng)域取得重要進(jìn)展，成功實現(xiàn)原本光刻惰性的鈦氧簇表現(xiàn)出納米圖案化應(yīng)用，并最終制備出12.9納米高分辨負(fù)性光刻圖案。

北京大學(xué)團隊利用冷凍電子斷層掃描技術(shù)解析光刻膠分子在顯影液中的微觀三維結(jié)構(gòu)，使缺陷率大幅降低99%，這一技術(shù)已應(yīng)用于中芯國際7nm產(chǎn)線，缺陷密度降至0.03個/cm2，良率提升至99.7%。

最具想象力的進(jìn)展出現(xiàn)在不久前。2026年5月，上海人工智能實驗室聯(lián)合廈門大學(xué)、蘇州國家實驗室等單位，宣布攻克了高端KrF光刻膠樹脂的穩(wěn)定制備難題，他們基于書生科學(xué)大模型搭建了一套AI決策加自動化合成的閉環(huán)，光刻膠研發(fā)從經(jīng)驗主導(dǎo)轉(zhuǎn)向了數(shù)據(jù)驅(qū)動。研發(fā)范式的遷移，往往比某一款產(chǎn)品的突破更具戰(zhàn)略意義。

下游需求也開始倒逼供給端自我加壓。按照行業(yè)測算，每生產(chǎn)1萬片12英寸晶圓就需要消耗約5噸光刻膠，2025年國內(nèi)12英寸晶圓產(chǎn)能預(yù)計達(dá)到每月120萬片，這意味著光刻膠需求量將突破6000噸。再疊加2024年下半年以來國內(nèi)大型晶圓廠態(tài)度的根本轉(zhuǎn)變。

兩年前國內(nèi)fab廠對要不要國產(chǎn)化還是有爭議的，但從2024年下半年開始，大家看清了一個道理：必須做國產(chǎn)，必須加大國產(chǎn)化率，國內(nèi)最大的兩家fab對國產(chǎn)替代的迫切性非常強，反過來對供應(yīng)商提出了更快替代的要求。這一點變化，比任何補貼都更能撬動天平。

最難啃的硬骨頭依然是EUV光刻膠。ArF高端光刻膠、EUV光刻膠仍處小批量驗證階段，國產(chǎn)化率不足10%，規(guī)?；慨a(chǎn)仍需時間。EUV膠的難度還疊加了一個外部約束：EUV光刻機受出口管制無法進(jìn)入國內(nèi)，膠與機器沒法在本土完成聯(lián)調(diào)，攻關(guān)周期會被進(jìn)一步拉長。

路雖難，但方向已經(jīng)清楚得不能再清楚。從單體、樹脂、光致產(chǎn)酸劑到成品膠的全鏈條國產(chǎn)化，從材料到設(shè)備、工藝、標(biāo)準(zhǔn)的生態(tài)共建，再到AI驅(qū)動的研發(fā)范式革新，每一步都在把＂被卡脖子＂的可能性一點點往后推。這條路終究要自己走完，沒有捷徑，也用不著繞彎。

當(dāng)下一只玻璃瓶都能成為新聞頭條的時候，恰恰說明每一道關(guān)口都正在被實打?qū)嵉乜邢聛怼９饪棠z占一片晶圓的成本不到5%，卻足以讓一座價值數(shù)百億的工廠停擺，正是這種反差，讓國產(chǎn)替代這件事不再是一道選擇題，而成了一道必答題。