光刻機國產化迫在眉睫 產業迎來發展加速期

光 刻 作 為 芯 片制 造 中 最 復 雜 、 最 關鍵 的 工 藝 步 驟 ，其 核 心 設 備 光 刻 機 被譽 為 “ 工 業 皇 冠 上的 明 珠 ” 。

廣 東 博 眾 分析 指 出 ， 當前 ， 我 國 光刻 機 長 期 依 賴進 口 ， 在 寡 頭壟 斷 、 技術 封 鎖 與 出 口管 制 的 多重 影 響 下 ，芯 片 制 造 面 臨 “ 卡 脖 子 ” 困 境 ， 也限 制 了 我 國A I 產 業 的 發展 ， 光 刻 機國 產 化 迫 在 眉睫 。 與 此 同 時， 國 內 相 關 產業 不 斷 取 得 突 破， 正 迎 來 黃 金 加 速期 。

光 刻 工藝 地 位 關 鍵 光 刻機 市 場 寡 頭 壟 斷

芯 片 制 造 流 程包 含 晶 圓 加工 、 氧 化、 光 刻 、 刻 蝕 等多 個 重 要 步 驟 ，其 中 光 刻 耗 時 長、 成 本 高 ， 是 半導 體 芯 片 生 產 流 程中 最 復 雜 且 關 鍵的 一 環 。 其 原 理是 將 高能 雷 射 光 穿過 光 罩 （reticle），使 光 罩 上的 電 路 圖 形 透 過 聚 光 鏡（projectionlens） ，將 影 像 縮 小 到 十 六 分 之 一 后 成 像 （ 影 像復 制 ）在 預 涂 光 阻層 的 晶 圓 （wafer）上，而 光 刻機 正 是 這 一 工 藝 的核 心 設 備 。

從 市場 規 模 來 看 ， SEMI 數 據 顯 示 ，全 球 半 導體 設 備 市 場 規 模 有 望 從 2 0 2 2 年 的 1 0 7 4 億 美 元 增 長 到 2 0 2 5 年 的 1 27 5 億美 元 。 光 刻機 在 半導 體 設 備 中占 比 約 2 4% ， 據 此 預估 2 0 2 4 年 全 球 光 刻 機 市場 規 模 約 為 3 1 5 億美 元 。

在 市 場格 局 方 面 ， 光 刻 機 市 場 呈 現 寡 頭 壟 斷 態 勢 。 荷 蘭 阿 斯 麥 （ A SML）、日 本 佳 能（Canon）、日 本 尼 康 （Nikon）占 據 了 絕 大多 數 市 場 份 額 ， 中 商 產 業 研 究 院 數 據 顯 示 ， 2022年， ASML 以 82.1% 的份額一家獨大，佳 能 和 尼康 則 分 別占 10.2% 和 7.7%。

國 產 需 求持 續 攀 升 光 刻 機 產 業 迎 突 破

國 內 晶 圓制 造 產 業 正 加 速 擴 張 ， 對 光 刻 機 的需 求 不 斷 攀 升 。 據全 球 半 導 體 觀察 統 計 ， 2 0 2 3 年 底 中 國 大 陸 共有 3 1 座 12 寸 晶圓 廠 投 產 ， 總計 月 產 能 約 1 1 8 . 9 萬 片 ，規 劃 月 產能 2 17 萬 片 ；預 計 到 2 0 2 6 年 底 ， 大 陸 1 2 英 寸 晶 圓廠 的總 月 產 能 有望 超 過 4 1 4
萬 片 。

根 據 《 半導 體 制 造 光 刻 機 發 展分 析 》 統 計 ， 在芯 片 生 產 產 線建 設 中 ， 光刻 機 購 置成 本 占 設 備總 投 資 的 2 1 % - 2 3 % ，光 刻 工 藝 耗時 占 生 產 環節 的 一 半 ，制 造 成 本占 芯 片 制造 成 本 的 30 % 以 上 ， 足 見其 核 心 地 位 。 加之 A I 產 業的 快 速 發 展 ，國 內 對 光刻 機 的 需 求 持續 增 長 。

然 而 ，我 國 光 刻 機 長 期 依 賴 進 口， 以 A S M L 為 例 ， 其 2 0 2 4 年 對 中 國大 陸 市場 銷 售 收入 達 9 0 億 歐 元 ， 占 其收 入比 重 4 1 % 。 （數 據 來 源 ：A S M L 官網 ， 山 西 證券 研 究 所 ）因 此 ， 在 全 球科技博弈加劇的 背 景 下 ， 加 快 光 刻 機 自 主研 發 已 成 為 我 國 半 導體 產 業 崛 起 的 必 由 之 路。

值 得 欣 喜 的是 ， 國 內 光 刻機 產 業 正 不 斷 取得 突 破 。

廣 東 博眾 分 析 指 出 ，2 0 1 6 年 上 海 微電 子 9 0 n m A r F光 刻 機 S S A 6 0 0系 列 實 現 出 貨 。 20 2 0 年 華 卓精 科 生 產 的 光刻 機 雙 工 件 臺， 打 破 了 A SM L 公 司 在 光 刻機 工 件 臺 上 的技 術 壟 斷 。 20 2 5 年 ，哈 爾 濱 工 業 大 學官 宣 了 成 功 研 制 出 1 3 . 5 n m 波長 的 極 紫 外光 刻 光 源 ， 這是 光 源 技 術 上 備受 矚 目 的 一 項 突破。 中 科院 上 海 光機 所 成 功研 發 了 全固 態 深 紫 外光 源 系 統， 使 得 中 國芯 片 工 藝 推進 至 3 納米 理 論 極 限 。整 體 而 言， 國 內 光 刻 機產 業 正 不 斷進 步 ， 國 產替 代 空 間廣 闊 。

本 文 觀點 由 博 眾 投 研 團 隊 徐 建（ 執 業 編 號 ： A0600625040008）、容 偉 彪（執業編號：A0600621050004）編 輯 整 理， 僅 代 表 個 人 觀 點 ， 任 何 投資 建 議 不 作 為 您 投 資 的 依 據 ， 您須 獨立 作 出 投 資 決 策 ，風 險 自 擔 。 據 《 證 券期 貨 投 資 者 適 當性 管 理 辦 法 》 相關 規 定 ， 特 此 說 明： 博 眾 通 過 各 渠道 推 出 的 相 關 文章 僅 面 向 廣 東博 眾 智 能 科技 投 資 有 限 公司 的 客 戶 群體 ， 文 章 內 容不 表 明對 相 關產 品 或 者 服務 的 風 險和 收 益 做 出實 質 性 判 斷 或者 保 證 。若 您 并 非 廣東 博 眾 客 戶群 體 ， 請 勿接 收 或 者 使 用 博眾 通 過 各渠 道 所 推 送的 任 何 信息 。 股 市 有風 險 ， 投 資需 謹 慎 ！