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1、芯上微裝：首臺(tái)350nm步進(jìn)光刻機(jī)正式發(fā)運(yùn)

2、納芯微：連續(xù)5年獲獎(jiǎng)！榮膺“中國芯”兩大獎(jiǎng)項(xiàng)！

3、中科飛測(cè)：首臺(tái)晶圓平坦度測(cè)量設(shè)備出貨HBM客戶端

4、宏泰科技：與ADI正式簽署合作備忘錄

01、芯上微裝：首臺(tái)350nm步進(jìn)光刻機(jī)正式發(fā)運(yùn)！

近日，上海芯上微裝科技股份有限公司（AMIES）宣布，其自主研發(fā)的首臺(tái)350nm步進(jìn)光刻機(jī)（AST6200）已完成全部出廠調(diào)試與驗(yàn)收流程。

據(jù)了解，AST6200光刻機(jī)是芯上微裝基于多年光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、精密運(yùn)動(dòng)控制與半導(dǎo)體工藝?yán)斫夥e淀，傾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步進(jìn)式光刻設(shè)備，專為功率、射頻、光電子及Micro LED等先進(jìn)制造場景量身定制。

AST6200光刻機(jī)目前具備五大核心優(yōu)勢(shì)：

①高分辨率成像滿足先進(jìn)工藝需求，搭載大數(shù)值孔徑投影物鏡，結(jié)合多種照明模式與可變光瞳技術(shù)，實(shí)現(xiàn)350nm高分辨率，滿足當(dāng)前主流化合物半導(dǎo)體芯片的光刻工藝要求。

（圖片來源：芯上微裝公眾號(hào)）

②高精度套刻配置高精度對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)正面套刻80nm，背面套刻500nm，確保多層圖形精準(zhǔn)套刻，提升器件良率。

③高產(chǎn)率設(shè)計(jì)，顯著降低擁有成本（COO）：1.高照度I-line光源（365nm）；2.高速直線電機(jī)基底傳輸系統(tǒng)，支持2/3/4/6/8英寸多種規(guī)格基片快速切換；3.高速高精度運(yùn)動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)，最大加速度1.5g，大幅提升單位時(shí)間產(chǎn)能。

④強(qiáng)工藝適應(yīng)性，兼容多材質(zhì)、多形態(tài)基底：1.支持Si、SiC、InP、GaAs、藍(lán)寶石等多種材質(zhì)基片；2.兼容平邊、雙平邊、Notch等多種基片類型；3.創(chuàng)新調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)，采用多光斑、大角度入射設(shè)計(jì)，可精準(zhǔn)測(cè)量透明、半透明、不透明及大臺(tái)階基底；4.支持背面對(duì)準(zhǔn)模塊，滿足鍵合片等復(fù)雜制程的背面對(duì)準(zhǔn)需求。

⑤100%軟件自主可控：AST6200搭載芯上微裝自主研發(fā)的全棧式軟件控制系統(tǒng)，從底層驅(qū)動(dòng)到上層工藝管理，實(shí)現(xiàn)完全自主主權(quán)。系統(tǒng)具備強(qiáng)大的工藝擴(kuò)展性與遠(yuǎn)程運(yùn)維能力，持續(xù)賦能設(shè)備生命周期，助力客戶實(shí)現(xiàn)智能化產(chǎn)線升級(jí)。

關(guān)于芯上微裝

上海芯上微裝科技股份有限公司（英文名稱：AMIES Technology Co., Ltd.）成立于2025年2月，是一家專注于高端半導(dǎo)體裝備研發(fā)、生產(chǎn)和服務(wù)的創(chuàng)新型科技企業(yè)。公司致力于為“超越摩爾”賽道的芯片制造、芯片先進(jìn)封裝、三代半導(dǎo)體和新型顯示等核心領(lǐng)域提供高精度、高性能、高可靠性的設(shè)備解決方案。公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)約600人，平均年齡33歲，65%為碩士博士學(xué)歷；擁有上海市勞動(dòng)模范、上海市優(yōu)秀技術(shù)帶頭人、上海市青年科技啟明星計(jì)劃、上海市產(chǎn)業(yè)菁英領(lǐng)軍人才，以及浦東明珠計(jì)劃人才/工程師等高層次人才十?dāng)?shù)人。

02、納芯微：榮膺“中國芯”兩大獎(jiǎng)項(xiàng)！

近日，納芯微憑借在汽車電子領(lǐng)域的系統(tǒng)級(jí)應(yīng)用能力與技術(shù)創(chuàng)新實(shí)力，榮膺“中國芯”兩大獎(jiǎng)項(xiàng)—— “整車芯應(yīng)用卓越產(chǎn)品” 與 “優(yōu)秀技術(shù)創(chuàng)新產(chǎn)品”，成為業(yè)內(nèi)極少數(shù)在同一年同時(shí)獲此雙項(xiàng)榮譽(yù)的企業(yè)。

據(jù)了解，這是納芯微自2021年以來，連續(xù)5年榮獲“中國芯”獎(jiǎng)項(xiàng)！

該獎(jiǎng)項(xiàng)強(qiáng)調(diào)產(chǎn)品的關(guān)鍵參數(shù)競爭力、可靠性穩(wěn)定性、技術(shù)路線清晰度及在整車關(guān)鍵域控中的廣泛落地情況。獲獎(jiǎng)產(chǎn)品 NSUC1610 是國內(nèi)首款高集成度車用小電機(jī)驅(qū)動(dòng)芯片，填補(bǔ)國內(nèi)新能源汽車熱管理電機(jī)控制處理器“MCU+”芯片空白，已覆蓋國內(nèi)多家主流 OEM。

“優(yōu)秀技術(shù)創(chuàng)新產(chǎn)品”旨在表彰具備顯著技術(shù)突破與創(chuàng)新價(jià)值的集成電路產(chǎn)品。NSPAS5 系列具備業(yè)界領(lǐng)先的響應(yīng)速度（<1ms），支持模擬比例 / 絕對(duì)輸出，量程覆蓋 10kPa~400kPa 可定制，并具備高耐腐蝕能力，面向汽車動(dòng)力系統(tǒng)、熱管理等核心應(yīng)用場景。

關(guān)于納芯微

蘇州納芯微電子股份有限公司（簡稱納芯微，科創(chuàng)板股票代碼688052）成立于2013年，是國內(nèi)高性能高可靠性模擬及混合信號(hào)芯片領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)。公司以“‘感知’‘驅(qū)動(dòng)’未來，共建綠色、智能、互聯(lián)互通的‘芯’世界”為使命，聚焦傳感器、信號(hào)鏈、電源管理三大核心方向，構(gòu)建了覆蓋“測(cè)量、調(diào)理、轉(zhuǎn)換”全鏈路的產(chǎn)品體系，廣泛應(yīng)用于汽車、工業(yè)、信息通訊及消費(fèi)電子等領(lǐng)域。

對(duì)話芯友企業(yè)

此前，【芯片揭秘】創(chuàng)辦人幻實(shí)對(duì)話納芯微磁傳感領(lǐng)域技術(shù)專家沈道強(qiáng)先生。

芯片揭秘

納芯微

納芯微磁傳感領(lǐng)域技術(shù)專家沈道強(qiáng)曾在采訪中，講出納芯微累計(jì)出貨量達(dá)20億顆的三個(gè)主要因素，他說：“首先是精度，這是我們滿足客戶需求的一個(gè)重要因素，我們的產(chǎn)品要精準(zhǔn)匹配客戶的的應(yīng)用場景。其次，可靠性主要源自于我們對(duì)內(nèi)部產(chǎn)品芯片可靠性的設(shè)計(jì)，以及對(duì)工藝、測(cè)試環(huán)節(jié)的全方位覆蓋。最后是成本控制，通過多方面、多維度的舉措，將成本控制在具備競爭優(yōu)勢(shì)的水平。”

點(diǎn)擊下方圖片閱讀專訪文章，《第479期|磁傳感器出貨20億顆，納芯微正走向新高度》

芯片揭秘 創(chuàng)辦人曹幻實(shí)（右）對(duì)話

納芯微磁傳感器專家 沈道強(qiáng)（左）

03、中科飛測(cè)：首臺(tái)晶圓平坦度測(cè)量設(shè)備出貨

近日，中科飛測(cè)首臺(tái)晶圓平坦度測(cè)量設(shè)備——GINKGOIFM-P300出貨HBM客戶端。

據(jù)了解，該設(shè)備以中科飛測(cè)成熟的量測(cè)平臺(tái)為基礎(chǔ)，融合創(chuàng)新硬件技術(shù)與智能算法，為 IC 制造商提供從研發(fā)到量產(chǎn)全流程的晶圓質(zhì)量監(jiān)控解決方案，廣泛適配≥96 層 3D NAND、≤1Xnm 邏輯芯片、 DRAM以及HBM 等先進(jìn)制程。

此次突破的核心成果為自主研制的300mm晶圓雙斐索干涉儀。該設(shè)備具備大口徑、高精度、低像差等技術(shù)特點(diǎn)，配合團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的低噪聲照明系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了高穩(wěn)定性、高清晰度干涉條紋圖的成像拍攝，為晶圓制造工藝提供了更精準(zhǔn)的測(cè)量保障。

該測(cè)量設(shè)備實(shí)現(xiàn)了對(duì)晶圓多維度指標(biāo)的全面覆蓋，可同步檢測(cè)翹曲、弓形、納米形貌、平面內(nèi)位移、局部曲率等關(guān)鍵參數(shù)，并精準(zhǔn)捕捉晶圓厚度變化與邊緣滾降特征。

首臺(tái)晶圓平坦度測(cè)量設(shè)備有三個(gè)亮點(diǎn)：1.GINKGOIFM-P300采用先進(jìn)的干涉儀光學(xué)系統(tǒng)，使設(shè)備具有較大的翹曲測(cè)量范圍；2.憑借自主研發(fā)的高魯棒性、高抗噪性、高適應(yīng)性的拼接算法，使產(chǎn)率達(dá)到國際領(lǐng)先水平；3.采用獨(dú)特晶圓夾持設(shè)計(jì)，可同時(shí)檢測(cè)晶圓正反面，最大程度消除重力失真對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。

關(guān)于中科飛測(cè)

中科飛測(cè)是一家專注于半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的國家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)。自2014年成立以來，一直致力于光學(xué)檢測(cè)技術(shù)的半導(dǎo)體質(zhì)控設(shè)備的自主研發(fā)，承擔(dān)了國家科技重大專項(xiàng)、國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃等眾多科研項(xiàng)目，客戶包含中芯國際、長江存儲(chǔ)、世蘭集科、長電科技、華天科技、通福微電等國內(nèi)主要集成電路前道制程及先進(jìn)封裝企業(yè)。公司產(chǎn)品主要包括無圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備系列、圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備系列、三維形貌量測(cè)設(shè)備系列、薄膜膜厚量測(cè)設(shè)備系列等產(chǎn)品，已應(yīng)用于國內(nèi)28nm及以上制程的集成電路制造產(chǎn)線。

對(duì)話芯友企業(yè)

此前，【芯片揭秘】主播幻實(shí)對(duì)話中科飛測(cè)首席技術(shù)執(zhí)行官張嵩教授。

芯片揭秘

中科飛測(cè)

“在做設(shè)備的時(shí)候，里面的算法其實(shí)是跟物理光學(xué)這些東西緊密結(jié)合在一起的，這樣的算法，我個(gè)人認(rèn)為是更有意思的一種算法，它把物理的東西轉(zhuǎn)變成信息，而不只是我們說的‘datamining’，從這個(gè)‘0’和‘1’又去到另外一個(gè)‘0’和‘1’。”張嵩教授曾在專訪中這樣說。

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04、宏泰科技：與ADI正式簽署合作備忘錄

近日，南京宏泰半導(dǎo)體科技股份有限公司（以下簡稱“宏泰科技”）與全球領(lǐng)先的高性能半導(dǎo)體公司亞德諾半導(dǎo)體（ADI）正式簽署合作備忘錄，雙方宣布將在半導(dǎo)體測(cè)試與精密信號(hào)測(cè)量領(lǐng)域建立深度戰(zhàn)略合作關(guān)系，共同推進(jìn)高性能測(cè)試系統(tǒng)的技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。

本次合作已取得首個(gè)重要技術(shù)成果：宏泰科技成功將ADI的高性能六位半電壓測(cè)量模塊集成于其SoC測(cè)試平臺(tái)MS8000系列的新一代高精度電源板卡AVI32中。該模塊采用緊湊型設(shè)計(jì)，支持10V/1V/0.1V三檔量程配置，具備1KSPS數(shù)據(jù)采樣率與高精度測(cè)量能力，并通過UART接口與SCPI協(xié)議實(shí)現(xiàn)高效系統(tǒng)控制，顯著提升了測(cè)試系統(tǒng)的穩(wěn)定性與測(cè)量精度，為量產(chǎn)測(cè)試環(huán)境提供了更可靠的解決方案。

根據(jù)合作規(guī)劃，雙方將在現(xiàn)有成果基礎(chǔ)上，進(jìn)一步圍繞高性能信號(hào)鏈優(yōu)化、系統(tǒng)級(jí)驗(yàn)證及新產(chǎn)品聯(lián)合開發(fā)等方向展開深度協(xié)作，持續(xù)增強(qiáng)在精密測(cè)試領(lǐng)域的技術(shù)競爭力。

此次合作標(biāo)志著兩家企業(yè)在半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域協(xié)同創(chuàng)新邁出關(guān)鍵一步。未來，宏泰科技與ADI將繼續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)，共同構(gòu)建開放合作的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，積極探索高速、高帶寬與智能化測(cè)試新路徑，為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展注入新動(dòng)能。

關(guān)于宏泰科技

南京宏泰半導(dǎo)體科技股份有限公司是一家專業(yè)從事半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)，覆蓋半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)、半導(dǎo)體分選系統(tǒng)和配套使用的備品備件等，主營產(chǎn)品包括SoC測(cè)試機(jī)、模擬測(cè)試機(jī)、分立及功率器件測(cè)試機(jī)、三溫分選機(jī)、晶圓分選機(jī)、SiC KGD分選機(jī)、標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)塔式分選機(jī)、移載機(jī)、AOI檢測(cè)設(shè)備以及系統(tǒng)集成等，可以為客戶提供包含主流芯片測(cè)試和全自動(dòng)分選及打標(biāo)的整體測(cè)試解決方案。

對(duì)話芯友企業(yè)

此前，【芯片揭秘】創(chuàng)辦人幻實(shí)對(duì)話南京宏泰半導(dǎo)體科技有限公司創(chuàng)始人兼副總經(jīng)理毛國梁先生。

芯片揭秘

宏泰科技

“我認(rèn)為在半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備行業(yè)里想要比肩世界頭部企業(yè)，第一，產(chǎn)品的技術(shù)積累是至關(guān)重要的一點(diǎn)，這也是我們目前被國外限制的最嚴(yán)重的地方。這需要充足的時(shí)間積累，大量人力、物力的投入，持續(xù)性的人才儲(chǔ)備及產(chǎn)業(yè)鏈各方面的支持。第二，國內(nèi)市場下游客戶的升級(jí)也很重要。”毛國梁先生曾在專訪中這樣說。

點(diǎn)擊下方圖片閱讀專訪文章，《芯片揭秘 | 國產(chǎn)替代重要環(huán)節(jié)，聽MACROTEST談半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域的“生存法則”》

芯片揭秘主播 幻實(shí)（右）對(duì)話

南京宏泰半導(dǎo)體科技有限公司創(chuàng)始人兼副總經(jīng)理 毛國梁（左）

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