四川
第52卷 第1期
作者：李召陽(yáng);李國(guó)友;潘胡江;陳智勇;宋偉志;李彬;宋亞虎;
作者單位：1.洛陽(yáng)理工學(xué)院智能車(chē)輛工程學(xué)院 2.安徽海螺水泥股份有限公司 3.安徽海螺川崎裝備制造有限公司
摘要：
該文提出一種結(jié)合有限元分析與納米壓痕實(shí)驗(yàn)的方法，研究ZnO基薄膜的橫觀(guān)各向同性力學(xué)性能。首先，基于Abaqus軟件，通過(guò)有限元模擬納米壓痕過(guò)程，構(gòu)建ZnO基薄膜的橫觀(guān)各向同性力學(xué)模型，并求解最大加載力Fmax、加載曲線(xiàn)指數(shù)x與薄膜彈性參數(shù)之間的無(wú)量綱函數(shù)關(guān)系。然后，通過(guò)納米壓痕實(shí)驗(yàn)獲取薄膜的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，結(jié)合柔度矩陣分析，計(jì)算ZnO和MZO薄膜在納米壓痕過(guò)程中的應(yīng)力-應(yīng)變關(guān)系以及彈性模量和切變模量。結(jié)果表明：Mo摻雜對(duì)薄膜的力學(xué)性能有顯著影響，適量摻Mo可提高M(jìn)ZO薄膜的彈性模量，并減小切變模量的各向異性；然而，過(guò)量摻Mo會(huì)導(dǎo)致彈性模量下降，切變模量上升。該方法可為薄膜材料力學(xué)性能的研究提供一種新的思路，能夠有效評(píng)估不同摻雜濃度下薄膜的穩(wěn)定性和可靠性。
關(guān)鍵詞：
Mo摻雜ZnO; 薄膜; 橫觀(guān)各向同性; 彈性模量; 切變模量
【專(zhuān)題征稿】
聚焦前沿交叉領(lǐng)域，探索智能時(shí)代下建模與決策的革新路徑，涵蓋等創(chuàng)新主題，誠(chéng)邀學(xué)界同仁共創(chuàng)未來(lái)。
【往期期刊】
《中國(guó)測(cè)試》往期卷冊(cè)系統(tǒng)收錄測(cè)試領(lǐng)域重要成果，為學(xué)者提供完整知識(shí)脈絡(luò)與研究積淀，助力深入理解學(xué)科演進(jìn)與創(chuàng)新軌跡。
【文化建設(shè)】
，匯聚學(xué)界祝福，見(jiàn)證與行業(yè)共同成長(zhǎng)的里程碑。期刊持續(xù)打造 “漫話(huà)計(jì)量” 等，生動(dòng)解讀國(guó)際單位制演變，推動(dòng)計(jì)量知識(shí)傳播。
【培訓(xùn)通知】
2026年度，《中國(guó)測(cè)試》將舉辦。1月首推“規(guī)程規(guī)范”培訓(xùn)。詳情及后續(xù)月度安排，請(qǐng)關(guān)注公眾號(hào)通知。
特別聲明：以上內(nèi)容(如有圖片或視頻亦包括在內(nèi))為自媒體平臺(tái)“網(wǎng)易號(hào)”用戶(hù)上傳并發(fā)布，本平臺(tái)僅提供信息存儲(chǔ)服務(wù)。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
