汪濤這個(gè)人，搞通信出身，在中興通訊深圳研究所干過副所長(zhǎng)，后來又掛了復(fù)旦大學(xué)中國(guó)研究院特邀研究員的牌子。2025年他上了一檔叫《兩岸圓桌派》的節(jié)目，聊中美科技戰(zhàn)。

節(jié)目請(qǐng)了大陸和臺(tái)灣地區(qū)的幾位專家，主題是全產(chǎn)業(yè)鏈升級(jí)走到哪一步了。汪濤在里頭甩出一句話，挺扎耳朵的——中國(guó)光刻機(jī)研發(fā)正在走向＂清場(chǎng)式領(lǐng)先＂，一旦突破，海外對(duì)手連口湯都別想喝著。

＂清場(chǎng)式領(lǐng)先＂啥意思？就是中國(guó)企業(yè)殺進(jìn)一個(gè)行業(yè)之后，靠規(guī)模和效率，把同行的活路一點(diǎn)點(diǎn)蠶食干凈。這種事我們見過太多了，家電、光伏、新能源車，哪個(gè)不是這么過來的？汪濤的意思也不復(fù)雜：光刻機(jī)這塊，中國(guó)本來沒打算自己干，花錢買就完了。偏偏美國(guó)搞出口管制，路堵死了，那就只能自己上。被逼的，不是主動(dòng)選的。

汪濤在節(jié)目里打了個(gè)比方，拿第四代核反應(yīng)堆舉例。國(guó)際上一共六種技術(shù)方案，美國(guó)挑了三種，歐洲也挑三種，日本只押一種。中國(guó)怎么選？全都要。光刻機(jī)也是這個(gè)打法。LPP、LDP、納米壓印、同步輻射，各種技術(shù)路線全鋪開。有人覺得這么干太燒錢。但問題是，中國(guó)燒得起，因?yàn)槿藟蚨唷?/p>

到底多少人在搞研發(fā)？國(guó)家統(tǒng)計(jì)局公布過一組數(shù)據(jù)：中國(guó)研發(fā)人員全時(shí)當(dāng)量2013年就超過美國(guó)了，到2023年達(dá)到724萬人年，連續(xù)11年全球第一。2024年全國(guó)研究與試驗(yàn)發(fā)展經(jīng)費(fèi)投入36326.8億元，同比增長(zhǎng)8.9%。錢和人都在猛漲，這就是汪濤反復(fù)說的＂窮舉法＂能跑通的根本原因。你鋪十條路，哪怕只跑通兩三條，也夠用了。

光刻機(jī)這東西，市場(chǎng)其實(shí)很小。全世界能造EUV光刻機(jī)的，就荷蘭ASML一家。一臺(tái)機(jī)器賣好幾億歐元，一年也就出貨幾十臺(tái)。但它卡住了整個(gè)先進(jìn)芯片制造的咽喉——7納米以下工藝，沒有EUV寸步難行。ASML用了三十年才走到今天，背后站著蔡司的光學(xué)鏡頭、美國(guó)Cymer的激光光源，還有臺(tái)積電幫它做工藝驗(yàn)證。一整條全球協(xié)作鏈，缺一環(huán)都轉(zhuǎn)不動(dòng)。

中國(guó)怎么破局？先說光源。中科院上海光機(jī)所林楠團(tuán)隊(duì)走了一條不一樣的路，沒用美國(guó)Cymer那套二氧化碳激光器，改用固體激光器搞LPP-EUV光源，實(shí)驗(yàn)里轉(zhuǎn)換效率做到了3.42%。跟ASML成熟產(chǎn)品比還差一截，但這條路繞開了被壟斷的核心部件，算是走通了第一步。光源是EUV光刻機(jī)的心臟，心臟能自己跳了，后面的事情才有得談。

另一條路更值得關(guān)注。國(guó)內(nèi)有團(tuán)隊(duì)在搞LDP技術(shù)，全稱叫＂激光誘導(dǎo)放電等離子體＂，原理跟ASML的LPP完全不同。簡(jiǎn)單說就是在電極之間蒸發(fā)錫，用高壓放電把它變成等離子體，產(chǎn)生13.5納米波長(zhǎng)的極紫外光。這套方案設(shè)計(jì)更簡(jiǎn)潔，體積更小，能耗和成本都比LPP低。哈工大趙永蓬教授搞的放電等離子體EUV光源項(xiàng)目還拿了省級(jí)創(chuàng)新大賽一等獎(jiǎng)，屬于另一條腿在走路。

2025年底，外媒曝出一個(gè)大消息：深圳一處高度保密的設(shè)施里，一臺(tái)EUV光刻機(jī)原型組裝完成了。據(jù)報(bào)道，這臺(tái)機(jī)器用的也是LPP技術(shù)路線，已經(jīng)能生成13.5納米極紫外光。但體積比ASML的同類產(chǎn)品大得多，目前還沒能造出可用芯片，主要瓶頸卡在高精度光學(xué)系統(tǒng)上。研發(fā)團(tuán)隊(duì)里有前ASML工程師，也有國(guó)內(nèi)剛畢業(yè)的年輕人，目標(biāo)是2028年產(chǎn)出首批芯片原型。

ASML對(duì)這事什么態(tài)度？他們的CFO戴厚杰公開講過，知道中國(guó)在搞光刻機(jī)替代，但認(rèn)為造出先進(jìn)EUV還需要很多年。這話說得挺穩(wěn)，但資本市場(chǎng)不這么看。中國(guó)EUV試產(chǎn)的消息一傳出來，ASML股價(jià)當(dāng)天就跌了不少。錢是最誠(chéng)實(shí)的，投資人用腳投票，比誰的嘴都靠譜。

再看ASML的財(cái)報(bào)。2025年全年凈銷售額327億歐元，凈利潤(rùn)96億歐元，業(yè)績(jī)還在漲。但ASML自己預(yù)計(jì)，2026年來自中國(guó)市場(chǎng)的營(yíng)收占比會(huì)降到20%左右。要知道2024年中國(guó)占了36.1%。這個(gè)數(shù)字下滑，背后的信號(hào)很明確：中國(guó)客戶要么在消化庫(kù)存，要么就是國(guó)產(chǎn)設(shè)備開始頂上來了。不管哪種，對(duì)ASML來說都不是好消息。

國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)在成熟制程上已經(jīng)有了動(dòng)靜。上海微電子的600系列光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)了90納米工藝量產(chǎn)，28納米浸沒式光刻機(jī)也在研發(fā)中。干法DUV進(jìn)入量產(chǎn)測(cè)試階段，EUV進(jìn)入了原理機(jī)搭建階段。這些設(shè)備瞄準(zhǔn)的是功率半導(dǎo)體、汽車芯片、物聯(lián)網(wǎng)芯片這類成熟工藝市場(chǎng)，雖然離先進(jìn)制程還有距離，但能填上一大塊國(guó)內(nèi)需求缺口。

SEMI的數(shù)據(jù)也能說明問題。2024年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額達(dá)到495.4億美元，同比增長(zhǎng)35.37%，占全球比重從2015年的13.42%升到了42.29%。全球?qū)⒔话氲陌雽?dǎo)體設(shè)備賣到了中國(guó)。華泰證券的預(yù)測(cè)是，2026年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率將達(dá)到29%。刻蝕機(jī)和沉積設(shè)備跑得最快，光刻機(jī)是國(guó)產(chǎn)化率最低的一環(huán)，但越低說明空間越大。

汪濤在節(jié)目里還提了一點(diǎn)，他說中國(guó)企業(yè)在正常市場(chǎng)環(huán)境下，不會(huì)把所有領(lǐng)域都包圓，會(huì)給同行留空間。但出口管制這一刀砍下來，性質(zhì)就變了。你不讓我買，那我就自己造。自己造出來之后，憑成本優(yōu)勢(shì)和市場(chǎng)體量，對(duì)手的日子只會(huì)越來越難過。這不是中國(guó)想不想的問題，是被推到這個(gè)位置上了。

美國(guó)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)自己的報(bào)告也提到，中國(guó)在EUV領(lǐng)域的技術(shù)代差，從五年前的四代縮短到了12個(gè)月。追趕速度確實(shí)超出了大多數(shù)人的預(yù)期。比爾·蓋茨在CNN采訪里也講過類似的話，大意是美國(guó)單方面切斷合作，只會(huì)倒逼中國(guó)企業(yè)自主開發(fā)。

從實(shí)驗(yàn)室原型到穩(wěn)定量產(chǎn)，中間隔著的鴻溝非常大。ASML從2006年第一臺(tái)EUV樣機(jī)到2017年推出真正能量產(chǎn)的NXE:3400B，走了整整十一年。光刻機(jī)不是造出一臺(tái)就贏了，它考驗(yàn)的是良率、穩(wěn)定性、可靠性，是在極端環(huán)境下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)幾千小時(shí)不出故障的硬功夫。這條路急不來。

但方向已經(jīng)定了，不可能再回頭。汪濤說的＂清場(chǎng)式領(lǐng)先＂，不是吹牛，是一種產(chǎn)業(yè)規(guī)律的總結(jié)。光伏走過這條路，電動(dòng)車走過這條路，光刻機(jī)大概率也會(huì)走上這條路。區(qū)別只是時(shí)間長(zhǎng)短。我們不需要盲目樂觀，也沒必要妄自菲薄。齒輪已經(jīng)轉(zhuǎn)起來了，剩下的交給時(shí)間。