文/王新喜

早在2025年9月，德國蔡司SMT部門一句公開表態，放在今天的國際半導體格局下，尤為扎眼——

德國蔡司SMT部門指出 ：“蔡司是全球先進光刻機業務的獨家鏡頭供應商，對于光刻機產業來說，DUV技術的重要性要遠大于EUV技術。即便是采用EUV光刻機制造先進芯片，其芯片當中的大多數IC關鍵層也是基于DUV技術制造出來的。”

德國蔡司這句話，非常隱晦的說出了，美國的制裁錯誤之處，即逼著中國放棄了頂層最先進的EUV，轉而用DUV全力搶占芯片產業的核心基礎力量，結果，中國成了“成熟芯片”這個更大市場的贏家。

簡言之，中國雖然放棄了追逐塔尖的尖端科技，但是卻筑牢了半導體的地基，當地基筑牢，就有足夠的時間與力量慢慢向塔尖攀爬。

根據蔡司官方數據，目前全世界80%的微電子芯片，都是用它和阿斯麥合作的光刻機造的。這其中有95%的芯片是由DUV光刻機進行制造，DUV是支撐整個產業運轉的基礎設施。

中國擁有DUV，等于滿足了自己90%的需求，甚至最先進的3nm、2nm芯片，其中大多數IC關鍵層依然要回到DUV工藝上完成。

蔡司這番話的言外之意是，美國的半導體制裁，正在反噬整個西方半導體產業鏈，蔡司作為鏈條上最隱蔽但也最關鍵的一環，已經感受到了切膚之痛。

美國為何一開始制裁EUV不制裁DUV？

回顧時間線，2018年中芯國際花1.5億美元訂購ASML的EUV光刻機，這筆錢相當于中芯當年全年凈利潤。

隨后美國施壓荷蘭政府撤銷出口許可，這臺設備至今沒能交付。美國的邏輯很清楚：掐斷EUV，就等于鎖死中國進入先進制程的大門。

放在美國人的做事邏輯這好理解，美國向來是把最核心、最尖端的技術、利潤最高的那一層蛋糕握在手里，不讓別人侵蝕它這一層的利益，至于中低端的市場，美國并沒有那么在意。

而美國對EUV更加在意，還有另一層因素——EUV才是美國親兒子。EUV這技術，1997年起源于美國政府牽頭的EUVLLC聯盟。這聯盟里全是美國的自己人：英特爾、IBM、AMD，外加勞倫斯利弗莫爾等三大國家實驗室。

ASML能成為整機生產與組裝的主力，是因為做出了“多項讓步”，包括在美國建立工廠和研發基地。直到今天，阿斯麥的EUV光刻機里，美國零部件必須占比55%以上。

這也就意味著，EUV光刻機，美國可以100%掌控，而DUV的關鍵技術——浸潤式（濕法）光刻，就不是美國人搞出來的技術。

那是2002年，前臺積電工程師林本堅提出來的方案，要知道，浸潤式的上一代技術是干式技術，而干式光刻機的老大還是日本尼康，當時干式光刻機的鏡頭分辨率受芯片上方空氣空間的限制，無法進一步縮短，已經接近于設備的物理極限，臺積電林本堅向尼康提出顛覆性設想：在鏡頭與晶圓之間注入水，借助水的高折射率，一舉可突破當時被視為天塹的光源極限。

而當時尼康拒絕了林本堅的方案，林本堅于是找到ASML，ASML采納了這種方案并制造出全球第一臺以水為介質的浸潤式光刻機，采用193nm波長，但等效于134nm，馬上投入臺積電的生產線，效果非常好，ASML浸沒式光刻機橫掃全球，尼康光刻機的半壁江山被ASML直接拿走。

而彼時阿斯麥DUV光刻機的鏡片則是由德國蔡司獨家定制，美國控制力沒那么強。

也因為如此，美國制裁為何一開始針對EUV光刻機，如果全禁了，ASML也不會同意，因為本身DUV光刻機的研發是ASML與臺積電雙方促成的，跟美國關系不大，荷蘭政府迫于美國的壓力，不再向中國出售EUV光刻機，但是DUV設備還可以繼續交付。

盡管美國對ASML步步緊逼，但ASML多次聲稱荷蘭不會一比一照搬美國措施，多次表態努力減少出口限制造成的影響。在NXT:2000i及以上浸潤式設備的出口被限制之前，ASML也緊急向美申請了4個月的限制豁免期，放行DUV光刻設備，對我方加緊出貨。

2024年9月加緊了出口許可規定，對NXT1980Di之后的DUV設備實行逐案審批，不過老款和中低端機型還是能照賣不誤。

所以中國企業在2022年和2025年，向ASML采購了大量的光刻機和制造耗材，提前囤積設備，盡可能保證國內芯片的產能效應。

那兩年ASML的財報清楚地顯示，中國大陸客戶的訂單占比一路飆升，巔峰時接近總營收的一半。中國企業的邏輯非常務實——你不讓我做7nm以下的先進芯片，那我就用DUV把成熟芯片的產能做到全球第一。

DUV構建了半導體的塔身和塔基。比如在汽車行業，一輛車里，真正需要“先進芯片”的只有“車機芯片和智駕芯片”，車上的控制器、MCU、傳感器、功率芯片等產品，均是成熟制程的芯片。

此外，工廠里的PLC和變頻器芯片，空調、冰箱、洗衣機里的主控IC等全部用成熟制程芯片，包括28nm、40nm、65nm、甚至180nm。

而擁有DUV，中國就能保證了絕大多數領域的芯片應用場景不被波及。根據美國半導體行業協會（SIA）的數據，中國大陸地區在28nm及以上成熟芯片的全球產能占比已經達到33%。

中芯國際、華虹集團、合肥晶合、長鑫存儲等企業這幾年幾乎同步在擴產，據不完全統計，2022年至2025年間中國大陸有超過30座晶圓廠在建設或產能爬坡中，絕大部分瞄準的就是成熟制程。

DUV比EUV重要，德國蔡司的表態背后，封鎖DUV已經遲了

在德國蔡司看來，美國制裁政策的失誤，在于封鎖EUV本身，卻低估了DUV才是支撐起半導體需求的塔基，全球芯片市場不是只有手機SoC和AI加速器，那只是金字塔最頂端的一小撮。

而綜上來看，德國蔡司沒有說到的是，美國一開始封鎖EUV而不封鎖DUV，原本也是因為DUV技術主導權也不在美國這邊，如果一開始就把DUV全部封鎖，必然引發荷蘭與中方的應激反應，這等于一上來就要砸荷蘭的飯碗。

而如果是這樣，也將可能更早逼中國使出稀土反制的殺招，因為光刻機的生產制造本身離不開稀土，既然桌子都掀了，要砸掉中國的半導體飯碗，那么芯片就誰也別想造了。

也就是說，美國原本也是精確計算過這層利益，沒有一開始把路堵死，因為即便是美國自己，也有大量的美國產品都在使用中國的成熟制程芯片！而且美國也低估了中國芯片產業的發展速度。

在今天，中國企業在國際層面已占據成熟芯片的大量市場份額，已經在“深度融入全球的半導體產業鏈”，海外企業對中國產品的依賴性也越來越高。

在今天，美國終于使出殺招了，以前美國主要禁最頂尖的EUV光刻機，現在直接擴大到所有DUV浸沒式光刻機，要求荷蘭等盟友在150天內實施同等禁令。

但在今天，封鎖DUV已沒太大意義，這不僅是因為中國本土半導體產業鏈力量的突破，也在于中國手里擁有的DUV光刻機存量，足夠支撐中國5~10年的需求，即便一臺不買，也已經夠用，而且中國本土國產光刻機研發在加速，5~10年的時間已足夠中國研發出本土的浸潤式光刻機，美國今天把DUV納入到出口管制范圍，其實已經遲了。

蔡司那句＂DUV比EUV重要＂這個表態，背后的意思是現在封鎖DUV也已經遲了，歐洲企業對美制裁政策的不滿已從私下游說走向了公開表態。對于蔡司而言，DUV設備的全球存量遠大于EUV，它是全球唯一能制造符合光刻機要求的高精度鏡頭組件的企業，DUV和EUV的鏡頭它都做。維護、升級、鏡頭更換的持續性收入才是蔡司SMT部門的利潤基本盤。

它已經失去了中國的EUV光刻機鏡頭組件訂單，中國市場是全球DUV設備增量最大的市場——蔡司當然不希望DUV也被卷入制裁。

在今天，蔡司的那句“DUV比EUV重要”，已把這場半導體博弈的格局走向說得很清楚了：封鎖EUV拖慢了中國在先進制程上的進度，但卻在成熟芯片領域催生出了一個超級產能競爭者，并把中國這個全球最大的半導體市場推向了堅定自主化的方向，形勢的演變走勢，早已不是美國設想的那個劇本了。