很多人一提起EUV光刻機，都認為這是人類科技史上工業皇冠，全球獨一家，別無分店。

而且在EUV光刻機中，10萬多個零件，全球供貨，沒有任何一個國家能單獨制造，ASML真正的核心技術不到10%，是依靠全球化分工，把各部件讓全世界頂級的廠商來生產、組裝出來的。

比如德國的蔡司做鏡頭，美國的賽默飛做傳感器，日本的 NSK 做軸承，瑞典的阿法拉伐做閥門。

光刻機10萬零件誰造的？

光刻機有最難的三塊技術，就是光源、光學系統、精密雙工件臺系統。其中光源和光學系統技術門檻最高，價值量也最大。

光源占整機15%-20%，光學系統占24%-30%，雙工件臺占12%左右。ASML把這兩塊最硬的骨頭分別交給美國和德國的企業，自己負責把所有零件拼成一臺能24小時不停跑的機器。

從技術層面來看，ASML高端EUV光刻機非常難以顛覆與超越。首先EUV制造所需的體積小，功率高且穩定極紫外線光源，這點美國Cymer公司一直掌握著成熟技術，其他國家都是向其采購的。

第二光學系統更是清一色德國血統，EUV光在真空里走，每面鏡子都會吸收6%-8%的能量，一臺機要11面鏡子，加起來光能剩不到1%。所以每面鏡子反射率必須做到70%左右。

反射鏡面，只有用高精度和高光滑度的鏡片才能聚焦和校準光線，從而光線才能精確無誤的照射在硅片上來畫出微小圖案。目前能夠達到光刻機要求的鏡片標準的廠商也在德國。

蔡司從1990年代就開始跟ASML一起搞EUV光學，2012年才交付第一套量產鏡組。

ASML為了綁死蔡司，購買了蔡司半導體光學子公司24.9%的股份。現在High-NA EUV鏡子直徑翻倍，重量上噸，還是只有蔡司能做。

此外是雙工件臺？簡單說，就是光刻機里托著硅片來回跑的那個平臺。一個載底片，一個載膠片。它的定位精度要求達到納米級。

“相當于兩架大飛機從起飛到降落，始終齊頭并進。一架飛機上伸出一把刀，在另一架飛機的米粒上刻字，不能刻壞了。”

另外像是芯片上用的復合材料，光刻膠，高純度化學品也多數都是日本專利。

ASML不是傳統意義上的制造企業，更像芯片行業的“鏈主”，把美國、德國最頂尖的技術攥在手里，再用荷蘭人的整合能力，變成一臺臺印鈔機。

原本光刻機零部件供應商也是認錢不認人的，只要你付得起錢，德國供應商不會因為你是中國客戶，就不賣給你高精度鏡片。日本廠商也愿意把軸承賣給任何客戶。

但是，2022年之后，美國搞了實體清單與出口管制后，很多零部件供應商開始自我審查，不敢把關鍵零部件賣給中國客戶。

一個個零部件，中國自己突圍封鎖鏈

因此，這就逼著中國不斷完善光刻機產業鏈上的關鍵零部件，在光源、鏡頭以及雙工臺等核心部件上，國產光刻機不斷取得進展。

比如長春光機所2023年已經落地國產極紫外光源樣機，國望光學的28nm浸潤式鏡頭已經量產，正在攻關EUV級別的光學系統。

很長一段時間，雙工件臺技術只屬于ASML，但全世界第二家掌握雙工件臺核心技術的公司，是華卓精科。

2026年，它們的磁浮雙工件臺定位精度達到了1.2納米。曾經無數人說過"雙工件臺不可能國產化"，但華卓精科偏偏做到了。

但光刻機10萬個零件，大部分不是核心大件，而是真空系統、陶瓷件、泵閥、射頻電源這些“小玩意”，以前全靠進口，現在逼著國產廠商一個個突破。

以前射頻電源是美國萬機、日本大阪真空的地盤。過去國內不是做不出來，是做出來的電源功率不穩定，等離子體忽大忽小，刻出來的溝槽深淺不一。

英杰電氣和北方華創的零部件部門，啃了好幾年。2025年，國產射頻電源在12英寸刻蝕機上跑通了驗證，功率穩定性做到了和萬機同一個量級。

雖然最頂級的型號還有差距，但成熟制程已經可以完全替代了。

另外是刻機里的陶瓷導軌，這雖然是個小部件，但直接決定了光刻機的精度和穩定性。這個小東西被稱為精密設備的"骨骼"，過去長期被美日企業壟斷。

2014年，山東淄博，有公司組建了光刻機用氧化鋁陶瓷導軌項目組。

第十個年頭，研制出了可替代國外同類產品的高純度氧化鋁陶瓷導軌，填補了國內空白。

此外，波長光電、奧普光電，一個做大孔徑鏡頭，一個背靠長春光機所做高端光柵編碼器，分辨率2.5nm，90nm、28nm機型都能用。

以前高純氧化鋁、氮化硅、碳化硅陶瓷部件，都是從日本、美國進口的。現在國內有廠商已經做出了12英寸產線上用的碳化硅手臂，開始批量供貨。

此外，光刻機還有個小部件叫超高真空閥門，九成都靠瑞士VAT公司供應，別人根本做不出來，因為EUV腔體要抽到大氣壓的百億分之一那么低，閥門必須做到一點不漏氣、開關速度要快到微秒級別，差一點點整片晶圓就報廢了。

沈陽那邊悄悄出現一批隱形冠軍企業，也已經開始批量交付閘閥和直角閥等產品。

這些企業憑借老工業基地積累與老機床廠傳承下來的精密加工技術，軍工系統培養的潔凈車間管理方法和能力成長起來的，加上中科院多年積累的工程師團隊，這三方面力量結合在一起實現了突圍。

而中國為何能一個個零部件不斷突破短板，原因在哪里呢？

就是隨著制造業產業鏈的完善，做到一通百通，跨界搞定關鍵零部件。

以前項立剛就說到了一點，光刻機有一個最重要的零件，就是那個透鏡，必須得蔡司做中國企業做不出來。蔡司為什么厲害？那是傳統的做透鏡的公司，必須要由它來做。

后來中國的公司把它做出來了，不是研發出來，而是批量供貨。這公司以前從來沒做過透鏡，因為根本不需要做透鏡的經驗。光刻機需要什么樣的透鏡，當然是需要無雜質、高透明的透鏡。

這個透鏡主要的問題不是磨，是要在硅生產的過程中，去除雜質。這方面中國已經有公司，早就做到了世界第一，他們來做這個透鏡，手到擒來。

零部件的邏輯，和大設備不太一樣。它不僅需要“單點突破”，更需要“精衛填海”般的持久耐心。

這個月搞定一種閥門，下個月搞定一個密封圈，依靠中國全產業鏈的突圍，甚至跨界領域的廠商沉淀的技術介入實現一個個突破，而只有中國才能有這樣的產業條件與制造業集群的環境。

等到幾千個關鍵零部件70%~80%都有了國產備胎的那一天，設備整機的突破可能會加速，量變促成質變，成就全人類史上都不敢想象的中國奇跡。