半導(dǎo)體光罩上的納米級(jí)缺陷、玻璃基板上幾微米的鉆孔。廣州因特智能展示了AI視覺(jué)如何從實(shí)驗(yàn)室走進(jìn)高端制造產(chǎn)線,用軟硬結(jié)合的方式解決中國(guó)在半導(dǎo)體檢測(cè)裝備領(lǐng)域的卡脖子問(wèn)題。
廣州因特智能孵化于西安電子科技大學(xué)廣州研究院,是校地合作落地的典型科技企業(yè)。我們拒絕“紙上算法”,堅(jiān)持軟硬一體,為半導(dǎo)體、光通信、新能源三大領(lǐng)域提供高端檢測(cè)裝備,已服務(wù)國(guó)內(nèi)頭部客戶及全球企業(yè)。
以下為演講內(nèi)容,經(jīng)36氪整理編輯:
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劉金碩丨廣州因特智能科技CEO
非常感謝36氪和亦莊的邀請(qǐng),很榮幸在這里跟大家進(jìn)行科技界的產(chǎn)品技術(shù)交流。與前幾位嘉賓的分享角度不同,我們是一家扎根實(shí)體制造的科技公司,專注用AI視覺(jué)技術(shù)解決工業(yè)場(chǎng)景的“卡脖子”檢測(cè)難題。
簡(jiǎn)單介紹我們公司,廣州因特智能科技。我們是由西安電子科技大學(xué)廣州研究院產(chǎn)業(yè)成果轉(zhuǎn)化聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室孵化,專注于高端制造AI視覺(jué)檢測(cè)裝備。公司建有光學(xué)測(cè)試實(shí)驗(yàn)室、高速顯微測(cè)試實(shí)驗(yàn)室、AI 算法通用訓(xùn)練平臺(tái)測(cè)試實(shí)驗(yàn)室、AI 邊緣服務(wù)器研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和柔性化機(jī)構(gòu)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室,并配備近 2000 平方米萬(wàn)級(jí)無(wú)塵制造車(chē)間,形成了從算法研發(fā)、光學(xué)測(cè)試、裝備集成到生產(chǎn)交付的完整能力體系。
目前主要聚焦三大細(xì)分領(lǐng)域:半導(dǎo)體大基板檢測(cè),包含F(xiàn)PD光罩、玻璃基板和陶瓷封裝基板;在光通信領(lǐng)域,側(cè)重MPO、CPO光纖端面檢測(cè);在新能源汽車(chē)主要是壓鑄件、IGBT總成。
在這三個(gè)細(xì)分領(lǐng)域里,我們?yōu)樾袠I(yè)內(nèi)的頭部客戶提供了檢測(cè)裝備,有自己的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售。我們成立了智能檢測(cè)裝備聯(lián)合研究中心,集中西電及產(chǎn)業(yè)高精尖資源專門(mén)做裝備的落地。目前擁有核心軟著和發(fā)明專利2項(xiàng),還在申請(qǐng)的專利8項(xiàng),發(fā)明專利8項(xiàng),軟著5項(xiàng)。
我們不只是專注于實(shí)驗(yàn)室,而是專注整個(gè)產(chǎn)業(yè)去做落地。成立至今,我們服務(wù)的主要是產(chǎn)業(yè)內(nèi)的頭部大客戶,目前已出了可復(fù)制的設(shè)備,可批量落地。接下來(lái)跟大家介紹一下核心產(chǎn)品和技術(shù)。
產(chǎn)品一是高速顯微AOI檢測(cè)平臺(tái),主要針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)和光通信行業(yè)。肉眼看不見(jiàn)的東西,都是用這個(gè)平臺(tái)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。這個(gè)平臺(tái)用顯微鏡做檢測(cè)鏡頭,通過(guò)控制再加上AI算法,實(shí)現(xiàn)缺陷檢測(cè)。光罩檢測(cè)、玻璃基板檢測(cè)、晶圓檢測(cè)、OLED基板檢測(cè),大部分偏向高精度、高速度的檢測(cè)。
光學(xué)成像是在高速顯微里我們最核心的技術(shù)之一。最小檢出缺陷0.18μm,測(cè)量精度達(dá)到亞納米級(jí),另外集成線光譜共聚焦模組、白光干涉模組、深紫外線光源、原子力顯微鏡應(yīng)用滿足行業(yè)2D、2.5D和3D檢測(cè)測(cè)量需求,微觀檢測(cè)成像綜合應(yīng)用和精度行業(yè)第一梯隊(duì)。整個(gè)檢測(cè)模組是比較復(fù)雜的,光路設(shè)計(jì)、移動(dòng)控制都非常精密。第二個(gè)核心技術(shù)是算法。算法用的是行業(yè)比較先進(jìn)的DD+DB+Starlight增強(qiáng)算法,基于我們?cè)谡麄€(gè)行業(yè)中需要做到的程度,這些在國(guó)內(nèi)都比較領(lǐng)先。我們還配備了高精密運(yùn)控平臺(tái)。有高精密大理石平臺(tái)和氣浮檢測(cè)運(yùn)控平臺(tái),核心技術(shù)是我們高精度的傳動(dòng)控制導(dǎo)軌加上基臺(tái)定位精度的反饋算法補(bǔ)償。
產(chǎn)品二是AI通用訓(xùn)練平臺(tái),主要針對(duì)新能源汽車(chē)行業(yè)。汽車(chē)壓鑄件檢測(cè)面臨的挑戰(zhàn)更為棘手,產(chǎn)品尺寸大、復(fù)雜曲面種類繁多,這些外觀特性長(zhǎng)期干擾著高效檢測(cè)的實(shí)現(xiàn)。
AI方面,我們自研AI算法,采用“小樣本、無(wú)監(jiān)督訓(xùn)練模式”,最少僅需5張圖片即可訓(xùn)練一個(gè)檢測(cè)模型;無(wú)需復(fù)雜編程,15分鐘即可完成新零件規(guī)格適配,快速響應(yīng)產(chǎn)線切換。用通俗的比喻來(lái)解釋:傳統(tǒng)AI訓(xùn)練像“手把手教孩子認(rèn)字”,需要海量標(biāo)注數(shù)據(jù);而無(wú)監(jiān)督自學(xué)習(xí)則像“孩子自己觀察世界”,能夠自主學(xué)習(xí)、持續(xù)進(jìn)化。廣州因特智能科技的AI算法就像一位可以自我成長(zhǎng)的質(zhì)檢員,在生產(chǎn)中不斷積累經(jīng)驗(yàn),越用越聰明。
我們一直注重軟硬件結(jié)合,汽車(chē)壓鑄件AI視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備搭載西門(mén)子邊緣服務(wù)器,憑借其強(qiáng)大的局部實(shí)時(shí)算力與毫秒級(jí)數(shù)據(jù)處理能力,打破了海量圖像回傳的帶寬瓶頸,可實(shí)現(xiàn)360度全域無(wú)死角視覺(jué)覆蓋,對(duì)深腔、凹槽、弧面等難檢測(cè)區(qū)域精準(zhǔn)“鎖定”。柔性運(yùn)動(dòng)控制模塊支持高速飛拍,瞬時(shí)捕捉缺陷,單個(gè)點(diǎn)位檢測(cè)耗時(shí)僅需120毫秒,較行業(yè)檢測(cè)耗時(shí)縮短74.4%,充分適配產(chǎn)線高速節(jié)拍,各類缺陷0.1毫米級(jí)識(shí)別,漏檢率低至5%。
針對(duì)上面提及的三大細(xì)分領(lǐng)域,最后給大家介紹我們的實(shí)施的案例。
目前因特智能配備了國(guó)內(nèi)首臺(tái)套、國(guó)產(chǎn)替代的FPD光罩缺陷檢測(cè)設(shè)備,小檢出缺陷能做到0.18μm。玻璃基板TGV檢測(cè)設(shè)備,能快速把玻璃基板上的每個(gè)孔徑大概只有3微米,幾萬(wàn)到幾十萬(wàn)個(gè)孔,在極短的時(shí)間內(nèi)把這些孔的孔徑測(cè)量完,包括檢測(cè)缺陷。
在光通信領(lǐng)域,針對(duì)MPO光纖檢測(cè)低效難題,廣州因特智能科技打造出MPO端面一體化檢測(cè)設(shè)備,包括光模塊、MPO模塊、CPO等,設(shè)備系列比較多。
最后一個(gè)是汽車(chē)壓鑄件外觀檢測(cè)設(shè)備,我們公司更看重的是給客戶交付一整臺(tái)能用的設(shè)備。這臺(tái)設(shè)備是機(jī)械臂或多機(jī)械臂系列,把相機(jī)、鏡頭、光源集裝到機(jī)械臂的前端,通過(guò)運(yùn)控對(duì)整個(gè)壓鑄件進(jìn)行飛拍、巡拍,。上面的圖像根據(jù)客戶要求檢測(cè)每個(gè)點(diǎn)位,用飛拍的方式再用AI算法輸出結(jié)果,哪個(gè)點(diǎn)位合格、哪個(gè)點(diǎn)位不合格,都可以輕松地進(jìn)行追溯。最終形態(tài)的表達(dá),是多個(gè)機(jī)械臂相互協(xié)作,產(chǎn)品兼容度、復(fù)雜度高,上面既有2D、2.5D、3D,還有測(cè)量功能全部放上去,給用戶去用,包括上料、下料功能。
精準(zhǔn)檢測(cè),科技領(lǐng)航,廣州因特智能科技會(huì)持續(xù)深耕工業(yè)缺陷檢測(cè)領(lǐng)域,以專業(yè)技術(shù)體系賦能工業(yè)品質(zhì)管控。
我的演講就結(jié)束了,謝謝大家。
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