湖南
芯片制造過程之中，需要幾百種設(shè)備。而光刻、刻蝕這兩道工序是用時(shí)最長，最為復(fù)雜，且設(shè)備成本也是最高的。
光刻機(jī)很重要，刻蝕機(jī)也一樣重要，光刻機(jī)是將芯片圖案刻錄到硅晶圓上，而刻蝕機(jī)則是將刻錄好的芯片上，不需要部分去掉，可以與光刻是對(duì)應(yīng)的。
光刻機(jī)領(lǐng)域，國內(nèi)的技術(shù)確實(shí)落后ASML太多，綜合來看，落后10年以上，應(yīng)該是問題不大的。
但刻蝕機(jī)這一塊，國內(nèi)的技術(shù)卻是全球頂尖的，根本就不遜色于全球的任何廠商，原因是我們有一家頂級(jí)的刻蝕機(jī)廠商-中微公司。
這家企業(yè)，由被譽(yù)為“中國刻蝕機(jī)之父”的尹志堯博士創(chuàng)辦。
在2004年的時(shí)候，當(dāng)時(shí)已經(jīng)60歲的尹志堯博士，看到中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，但半導(dǎo)體設(shè)備（刻蝕、沉積等）幾乎全被海外壟斷（應(yīng)用材料、泛林、東京電子），是卡脖子最嚴(yán)重的環(huán)節(jié)。
可以說國家最迫切的需求本土的半導(dǎo)體設(shè)備，避免被卡脖子，于是本來退休的尹志堯博士，從美國帶了15 位硅谷資深愛國華人專家回國創(chuàng)業(yè)，這些人這些人之前很多在應(yīng)用材料等頂級(jí)的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)工作過，有著大量的經(jīng)驗(yàn)，有著深厚的技術(shù)，平均行業(yè)經(jīng)驗(yàn)20 年 +。
雖然回國從0開始，僅僅3年，就打破了國外刻蝕機(jī)領(lǐng)域的長期壟斷，研發(fā)出了中國人自己的刻蝕機(jī)。雖然后來被應(yīng)用材料等打壓，使出了各種招，但不僅沒有壓住，反而讓中微成長更為迅速。
甚至中微還首創(chuàng)了甚高頻去耦合反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)，這個(gè)技術(shù)目前已經(jīng)成為了所有CCP刻蝕機(jī)都在使用的技術(shù)。
目前中微刻蝕機(jī)，已經(jīng)進(jìn)入了臺(tái)積電的供應(yīng)鏈。
按照尹志堯博士的說法，臺(tái)積電最先進(jìn)的生產(chǎn)線上，也使用中微的刻蝕機(jī)，有中微800多個(gè)反應(yīng)臺(tái)，從45納米到3納米都在用中微的機(jī)器，作為全球最頂級(jí)的晶圓廠，臺(tái)積電使用中微的設(shè)備，就足以證明中微有多強(qiáng)了。
當(dāng)然，中國大陸的晶圓廠也在使用中微的設(shè)備，尹志堯博士稱，中芯也使用了中微至少800多臺(tái)設(shè)備。
并且大家不知道的是，目前中微實(shí)現(xiàn)了全供應(yīng)鏈的100%自主化，不用擔(dān)心任何人卡脖子，不會(huì)擔(dān)心國外不提供元件什么的，不怕國外卡住了生產(chǎn)設(shè)備，因?yàn)楦揪筒恍枰?，全部國產(chǎn)化了。
所以說，并不是中國自己研發(fā)不出好的半導(dǎo)體設(shè)備出來，只要肯努力，都是沒問題的，像中微這樣的企業(yè)，還有像北方華創(chuàng)這樣的企業(yè)，多幾家，那么中國在芯片設(shè)備上，就可以減少對(duì)外依賴，那么所謂的禁令，也就毫無意義了。
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