2026年5月24日,荷蘭駐韓國(guó)大使范德弗利特(Peter van der Vliet)在接受《日經(jīng)亞洲》采訪時(shí),對(duì)全球光刻技術(shù)格局做出了一次引人關(guān)注的表態(tài)。
他明確表示,全球多個(gè)地區(qū)都在布局下一代光刻技術(shù)研發(fā),這是科技競(jìng)爭(zhēng)中的常態(tài),荷蘭并沒有單獨(dú)針對(duì)中國(guó)。
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荷蘭方面“已知曉中國(guó)在自研光刻機(jī)”的進(jìn)程,但認(rèn)為這屬于全球科技競(jìng)爭(zhēng)的正常態(tài)勢(shì),不會(huì)對(duì)ASML的行業(yè)地位造成根本性影響。
此番表態(tài)的背景頗為微妙。就在不久前的5月20日,ASML首席執(zhí)行官富凱剛在比利時(shí)安特衛(wèi)普公開呼吁,應(yīng)為芯片制造設(shè)備對(duì)華出口制定更為一致的規(guī)則。
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今年4月,美國(guó)國(guó)會(huì)跨黨派議員提出一項(xiàng)法案,要求在現(xiàn)有EUV全面禁售的基礎(chǔ)上,將浸沒式DUV等設(shè)備也納入對(duì)華全面限制范圍。而荷蘭政府對(duì)此已明確表示反對(duì)。
美國(guó)國(guó)會(huì)提出進(jìn)一步收緊DUV出口限制,荷蘭政府明確表示反對(duì)。大使在首爾的這番講話,既是對(duì)外界關(guān)于“荷蘭聯(lián)手美國(guó)圍堵中國(guó)半導(dǎo)體”質(zhì)疑的回應(yīng),也透露出荷蘭在出口管制壓力下主動(dòng)調(diào)整全球戰(zhàn)略布局的方向。
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范德弗利特所謂“不針對(duì)中國(guó)”的表態(tài),背后有一組關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。受出口管制政策直接影響,ASML在中國(guó)市場(chǎng)的銷售占比出現(xiàn)斷崖式下滑。2025年第四季度,中國(guó)市場(chǎng)仍占ASML凈系統(tǒng)銷售額的36%,但到了2026年第一季度,這一數(shù)字已降至19%。
ASML今年1月曾預(yù)測(cè),2026年全年中國(guó)市場(chǎng)銷售額占比約為20%,較2025年的33%顯著回落。據(jù)中國(guó)海關(guān)總署統(tǒng)計(jì),今年第一季度中國(guó)從荷蘭進(jìn)口的光刻設(shè)備金額同比大幅下降。ASML在中國(guó)DUV光刻機(jī)市場(chǎng)的占有率,已從2022年的約85%驟降至2025年的約52%。
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富凱在5月20日的發(fā)言中直言不諱地指出,收緊出口管制只會(huì)加速中國(guó)自主研發(fā)替代設(shè)備的步伐。他用了一個(gè)形象的比喻:“如果我將你放到沙漠里,告訴你今后再也沒有食物來源了——你需要多久才開墾出自己的菜園?這是存亡的問題。”
韓國(guó)在今年第一季度以約45%的占比反超中國(guó),正式成為ASML全球最大的單一市場(chǎng)。正是在這一背景下,荷蘭選擇將戰(zhàn)略重心向韓國(guó)加速轉(zhuǎn)移。
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就在范德弗利特做出上述表態(tài)的同時(shí),中國(guó)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)正在進(jìn)入關(guān)鍵突破期。
2026年5月,上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司自主研發(fā)的SSA800系列28nm浸沒式深紫外(DUV)光刻機(jī)已進(jìn)入量產(chǎn)工藝驗(yàn)證階段,該設(shè)備已交付中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)頭部晶圓代工廠進(jìn)行產(chǎn)線集成測(cè)試,芯片良率穩(wěn)定在90%以上。
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根據(jù)公開技術(shù)參數(shù),SSA800系列采用193nm ArF浸沒式光刻技術(shù),單次曝光原生支持28nm制程節(jié)點(diǎn),通過多重曝光工藝可穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)14nm及更先進(jìn)邏輯芯片的制造。
三大核心子系統(tǒng)——照明系統(tǒng)、投影物鏡和雙工件臺(tái)——均已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)自研自產(chǎn),整機(jī)國(guó)產(chǎn)化率超過85%。目前全球約70%的芯片依賴28nm及以上成熟制程,涵蓋汽車電子、家電工控、物聯(lián)網(wǎng)等廣泛領(lǐng)域,SSA800的量產(chǎn)將有效支撐國(guó)內(nèi)龐大擴(kuò)產(chǎn)需求。
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國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)在成熟制程領(lǐng)域的進(jìn)口替代效應(yīng)正在加速顯現(xiàn)。據(jù)行業(yè)分析,受美日荷出口管制影響,2026年進(jìn)口DUV光刻機(jī)數(shù)量預(yù)計(jì)同比下降約50%。相比之下,國(guó)產(chǎn)設(shè)備憑借約40%的成本優(yōu)勢(shì)和更短的交付周期,正快速獲得國(guó)內(nèi)晶圓廠青睞。
ASML當(dāng)前面臨的戰(zhàn)略困境頗為復(fù)雜。一方面,ASML在全球EUV光刻機(jī)領(lǐng)域仍然擁有無可替代的壟斷地位。據(jù)最新財(cái)報(bào),ASML手握大量訂單,主要來自韓國(guó)、美國(guó)等市場(chǎng),韓國(guó)在2026年第一季度已成為其最大客戶市場(chǎng)。
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另一方面,ASML首席執(zhí)行官富凱清醒地認(rèn)識(shí)到,過度收緊對(duì)華出口只會(huì)刺激中國(guó)加速自主研發(fā)。他直言,ASML目前向中國(guó)出售的DUV設(shè)備本身就是基于2015年前后的技術(shù),為較早代際的芯片技術(shù)。如果進(jìn)一步收緊限制,只會(huì)加速中國(guó)自主研發(fā)替代設(shè)備的步伐。
從更長(zhǎng)遠(yuǎn)的視角來看,ASML一方面要面對(duì)美國(guó)不斷加碼的出口管制壓力,配合政策限制對(duì)華供貨;另一方面又在承受中國(guó)市場(chǎng)快速萎縮的直接沖擊,以及中國(guó)自研光刻機(jī)技術(shù)加速突破帶來的長(zhǎng)期競(jìng)爭(zhēng)風(fēng)險(xiǎn)。這條鋼絲并不好走。
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范德弗利特大使的這番表態(tài)——聲稱“不針對(duì)中國(guó)”的同時(shí)加速布局韓國(guó)——揭示了當(dāng)前全球半導(dǎo)體博弈中的深層邏輯。
從短期來看,荷蘭的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)向確實(shí)有其商業(yè)合理性。中國(guó)市場(chǎng)受出口管制影響持續(xù)收縮,韓國(guó)憑借三星和SK海力士的強(qiáng)勁需求順勢(shì)成為ASML最大的訂單來源,荷蘭將資源向韓國(guó)傾斜,是商業(yè)利益驅(qū)動(dòng)下的現(xiàn)實(shí)選擇。
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但從中長(zhǎng)期來看,技術(shù)封鎖正在催生出其制定者最不愿看到的結(jié)果——中國(guó)半導(dǎo)體裝備的自主替代正在提速。從28nm DUV光刻機(jī)進(jìn)入量產(chǎn)驗(yàn)證,到整機(jī)國(guó)產(chǎn)化率突破85%,再到成熟制程領(lǐng)域逐步擺脫對(duì)進(jìn)口設(shè)備的依賴,出口管制的“反向效應(yīng)”正日益顯現(xiàn)。
荷蘭方面提前布局光子技術(shù)等下一代技術(shù)路線,韓荷之間從設(shè)備、人才到供應(yīng)鏈預(yù)警的全方位綁定,都表明圍繞先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)的全球博弈已經(jīng)進(jìn)入到更深層次的階段。這場(chǎng)博弈的最終走向,將不僅影響ASML的市場(chǎng)地位,更將重塑全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的整體格局。
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