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荷蘭大使回應中國自研光刻機:不影響ASML,荷方有后手

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5月25日的上海國際電路與系統研討會上,華為半導體業務部總裁何庭波站上講臺,正式拋出一個名為"韜(τ)定律"的全新概念。這場演講只持續了幾十分鐘,卻在全球半導體圈子里炸開了鍋。僅僅一天之后,遠在首爾的荷蘭駐韓大使范德弗利特對著記者鏡頭給出回應——他承認知曉中國正在自研光刻機,但語氣輕描淡寫,稱這"不會對ASML造成影響"。一邊是中國企業繞開傳統路徑的技術突圍,一邊是設備霸主代言人云淡風輕的表態,背后的較量遠比表面看到的精彩。



何庭波這次拿出的東西,跟過去幾十年半導體行業奉為圭臬的摩爾定律完全是兩套思路。韜定律以"時間(τ)縮微"改寫傳統"幾何縮微"作為半導體產業全新演進核心邏輯,通過邏輯折疊等創新技術,持續壓縮信號傳播時延,不斷提升晶體管密度。

說得直白些,過去做芯片想要性能強,就得把線寬做得越來越細,從14納米到7納米再到3納米,越細越好。可這條路走到今天,光刻機被人卡著脖子,再細已經細不下去。華為的想法是另起爐灶——既然平面沒法繼續縮小,那就把電路像折紙一樣疊起來。

這套打法的核心叫"邏輯折疊",效果頗為驚人。在移動SoC中,LogicFolding通過把數字電路、模擬電路和存儲電路分配到垂直堆疊的有源層中,在固定器件節點下實現了55%的晶體管密度躍升,以及41%的功耗能效提升。不需要更先進的光刻機,不需要更精細的工藝,僅憑設計層面的創新就能榨出這么多性能。這放在以前簡直是天方夜譚。



更讓人在意的是華為給出的時間表。麒麟2026將引入邏輯折疊架構,CPU性能核心頻率提升至3.1GHz,并進入硅片驗證階段;2027年的麒麟2027將繼續采用邏輯折疊,頻率提升至3.39GHz;2028年的麒麟2028預計達到3.71GHz,進入硅前驗證階段;到2029年,麒麟2029的CPU性能核心頻率將突破4GHz。一份延續到2030年代的清晰路線圖,意味著華為不是在畫餅,而是有底氣把這條路走下去。

何庭波在演講中還透露了一組數據:過去六年,華為基于韜(τ)定律已成功設計和量產381款芯片,廣泛覆蓋千行百業數字化轉型需求。這不是實驗室里的概念,而是已經跑了多年的實戰成果。最關鍵的目標也被亮了出來——到2031年,基于韜定律的高端芯片,晶體管密度將達到1.4納米制程的同等水平。換句話說,即便手里只有相對落后的設備,通過設計創新也能造出與最先進制程性能相當的產品。這正是西方封鎖陣營最不愿看到的局面。



5月24日左右,范德弗利特在首爾接受日本媒體采訪。被問到中國光刻機自研進程時,這位大使的表態出乎不少人預料。他沒有像某些西方官員那樣擺出強硬姿態,反而顯得相當從容。范德弗利特表示,全球多地均在布局下一代光刻技術研發,技術角逐是行業發展常態,不存在單獨針對中國的情況。

這句話聽著客氣,細品卻另有滋味。"全球都在搞"的潛臺詞,是承認中國搞光刻機這事攔不住了;"不針對中國"的說辭,則是在為自家企業未來重返中國市場留余地。畢竟做生意的人都知道,把話說死了將來怎么收場。

范德弗利特真正的底氣其實藏在另一句話里。他強調,除阿斯麥外,荷蘭還有多家頂尖芯片前后道設備廠商,不少科研機構也與三星電子、SK海力士保持著良好合作關系。這話翻譯過來就是——就算中國搞出了自己的光刻機,荷蘭在亞洲半導體版圖上的位置依然穩固,雞蛋早就放進了好幾個籃子里。



更有意思的是他對下一代技術的展望。范德弗利特認為,兩國可攜手研發下一代芯片制造技術,并看好光子技術成為新合作方向。該技術以光信號替代電信號,實現芯片數據傳輸與運算處理。提光子技術其實暴露了一種焦慮——硅基這條路總有走到盡頭的一天,誰能率先在新賽道占住位置,誰才有未來話語權。所謂"留有后手",本質上就是不想被綁死在傳統光刻這一棵樹上。

值得一提的是,大使的表態并非孤立事件。就在他發聲前幾天,ASML CEO富凱在比利時安特衛普的一場科技活動上也開了腔。富凱呼吁針對芯片制造設備輸華的出口制定更為一致的規則,他表示,阿斯麥目前向中國出售的DUV設備,本身就是基于2015年的技術,為八代之前的芯片技術。

"八代之前"這個說法太微妙了。一家市值萬億的設備巨頭,CEO公開承認賣給中國的是十年前的老貨色,這與其說是抱怨美國管制太嚴,不如說是在敲打華盛頓——再這么搞下去,中國客戶就真的留不住了。富凱還警告,如果進一步收緊限制,只會加速中國自主研發替代設備的步伐。從CEO到駐外大使口徑如此統一,足見ASML夾在中美博弈中間日子并不好過。



嘴上說著不針對,身體卻很誠實。荷蘭這幾年在韓國砸下的真金白銀,比任何外交辭令都更能說明問題。

三星電子在2025年10月扔出一筆1.1萬億韓元的大單,從ASML手里買了兩臺第二代High-NA EUV光刻機。要知道三星京畿道園區此前已經擺了一臺同款設備,但只用來搞研發。這次新進的兩臺直接奔著量產去——這意味著三星在最尖端制程上要動真格了。

對于一家橫跨內存、閃存、邏輯芯片三條戰線的企業來說,最先進的光刻機就是命脈。AI時代HBM內存被英偉達們搶著要,三星要保住產能優勢,沒有這兩臺機器寸步難行。



一個月后,ASML華城園區正式開張。這個園區里裝著DUV、EUV光刻機的零部件制造中心和先進技術培訓中心,相當于把自家的售后服務、技術支持、備件供應整套搬到了客戶家門口。SK海力士的胃口也不小。受益于人工智能產業的爆發式增長,全球高端存儲芯片需求持續走高,SK海力士今年股價大幅上漲,今年3月,SK海力士敲定一筆價值69億歐元的設備采購大單。SK海力士在2025年9月率先打通了HBM4的量產體系,第四季度開始向客戶交貨,背后也是第二代EUV在撐腰。

荷蘭另一家半導體設備巨頭ASMI同樣在韓國扎了根。這家公司主營原子層沉積、化學氣相沉積這些前道關鍵設備,在京畿道華城地區建了研發與生產基地,累計投資1362億韓元。從光刻到沉積,荷蘭幾乎把整條前道設備鏈都搬到了韓國。



更值得玩味的是國家層面的協調。自去年起,荷韓兩國啟用半導體供應鏈聯合預警機制,可實時監測供應鏈潛在風險并協同應對,監測范圍涵蓋出口管制政策以及電池負極等關鍵原材料。上周韓國總統李在明還專門跟荷蘭首相耶滕通了首次電話,話題就是繼續深化半導體合作。這種從企業綁定到國家協同的全方位布局,正是范德弗利特口中"留有后手"的真實含義。

放眼整個客戶名單,目前明確表態要買第二代High-NA EUV的,只剩英特爾、三星、SK海力士這三家。臺積電倚仗自身技術積累,加上新機價格實在太貴,選擇繼續用第一代EUV磨先進制程,暫時按兵不動。而中國大陸這邊,在現行EUV對華全面禁售的基礎上,新推動的法案將浸沒式DUV等設備也納入全面限制,幾乎被排除在ASML先進設備的客戶圈之外。

把這些線索拼到一起,畫面就清晰了。荷蘭一邊通過大使的嘴對中國釋放"我們沒針對你"的信號,一邊把最核心的合作伙伴關系牢牢綁定在韓國身上,再通過光子技術等新方向給自己找出路。這就是范德弗利特說的"不會對ASML造成影響"的真實底牌。



但話又說回來,封鎖這把雙刃劍割傷的從來不只是被封鎖的一方。當華為用韜定律證明設計創新可以部分彌補設備代差,當上海微電子的28納米光刻機良率爬到90%、SMEE的EUV相關技術專利不斷推進,西方設備廠商引以為傲的護城河正在一點點被填平。何庭波在演講尾聲說了一句話挺有分量——半導體的未來路徑上沒有任何一家企業能獨自給出全部答案。這話聽起來謙遜,骨子里卻是自信。被逼出來的另一條路,往往會讓封鎖者發現,自己手里的牌沒想象中那么大。

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