江蘇
據投融灣獲悉，近日，合肥恒芯半導體科技有限公司（下文簡稱：恒芯半導體）拿到了天使＋輪融資，華睿投資領投。本輪融資資金主要用于核心產品半導體級臭氧發生器的交付和新產品的研發。
恒芯半導體成立于2024年12月，這是一家主要研發、生產半導體制程核心設備零部件的科技企業。
公司核心團隊成員來自應用材料、東京電子、Lam Research等頂尖國際半導體設備企業，在半導體制程設備、零部件領域擁有20年以上的研發、量產和全球供應鏈管理經驗。
公司主要技術包括：臭氧發生技術、等離子體源技術、精密流體/管路技術、自動化與質控技術等。其中，臭氧發生技術采用了高濃度、大流量、長壽命的放電管設計，這是全球獨家采用這種設計的企業。實現了高精度溫控、濃度實時監測以及流量閉環，形成了半導體級超純臭氧的發生、分解、安全控制一體化。
公司的主要產品包括：半導體級臭氧發生系統、遠程等離子體源和半導體制程媒介產品等。其中，半導體級臭氧發生系統是公司的核心產品，單臺價值最高超1000萬元，主要應用在了半導體先進制程晶圓清洗、氧化、光刻膠去除等場景。這也是全球首創的超高濃度和流量機型。目前已經與日本頭部半導體設備廠商進行試點合作。
半導體級臭氧發生系統的很多性能指標達到了國際一流水平。其中，流量為200 SLM，濃度為200g/m3，純度達到了半導體級，核心部件壽命≥8000小時。在安全設計上，采用了全流程臭氧分解、泄漏監測、防爆、緊急停機的設計，確保了運行的安全性。
公司的行業定位是半導體先進制程核心設備關鍵零部件的國產替代商。在國內填補了高端臭氧、RPS設備的國產空白，對AWS、東京電子、日立等進口產品形成了國產替代。
從市場空間來看，2025年全球半導體清洗設備市場規模約為120億美元，年增8%-10%。臭氧設備細分領域市場空間約為18-24億美元。公司的目標是3年內成為國內臭氧設備的第一名，全球前五名。
特別聲明：以上內容(如有圖片或視頻亦包括在內)為自媒體平臺“網易號”用戶上傳并發布，本平臺僅提供信息存儲服務。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
