近日，在臺積電2026年北美技術論壇上，臺積電聯席副首席運營官Kevin Zhang（張曉強）明確表示，臺積電將暫緩采購High-NA EUV設備，直言現階段臺積電沒有任何部署這款全新高階光刻設備的相關計劃，最快要到2029年推進A13制程節點時，才會考慮導入這款下一代芯片制造核心設備。他表示：“我們仍然能夠從現有EUV設備中獲益。”

談及暫緩采購的核心緣由，張曉強表示，設備非常非常高昂的采購成本成為首要考量，據彭博社等多家外媒統計，ASML單臺High-NA EUV光刻設備造價高達約4.1億美元，換算成人民幣近28億元，價格約為當前量產在用標準數值孔徑EUV設備的兩倍，巨額采購投入疊加后續運維、調試、產線適配等附加成本，整體投入規模對晶圓廠盈利空間形成顯著擠壓。

相較于急于更換全新設備，臺積電對當前已規模化應用的標準數值孔徑EUV設備量產效能與技術適配度十分認可，內部研發團隊正全力深耕現有設備潛能，通過工藝優化、制程微調、配套技術自研等多元路徑，探索無需依賴全新高階光刻設備就能實現芯片制程持續微縮的可行方案，穩步推進先進工藝迭代升級。張曉強稱，臺積電正尋求在不使用High-NA EUV設備的情況下提升芯片效能的方法。

臺積電此番決策，本質上是在技術迭代與盈利穩定之間尋求精準平衡，摒棄盲目跟風激進設備升級的行業慣性，拒絕為超前設備投入透支長期經營利潤，依托自身成熟的工藝優化體系，最大化挖掘現有成熟設備的量產價值，以穩健節奏推進技術進階，規避高價新設備投產初期良率不穩、適配不足、投入回報周期過長等多重潛在風險。

對于臺積電推遲購買ASML的下一代High-NA EUV設備，Seeking Alpha 分析師Julia Ostian認為此舉可以提高利潤率。她表示：“這家公司每個季度都能取得如此可觀的業績和利潤率，源于其保持高效運營的意愿和能力。如果臺積電決定在部署新技術的同時，盡可能地從現有的 EUV 設備中榨取最大利潤，那么其利潤率將會更高。但另一方面，這也意味著需要進行多次曝光，也就是說，他們需要將晶圓多次送入光刻機進行曝光，如果需求旺盛，重復工序容易造成生產冗余，甚至導致生產瓶頸。”

而Seeking Alpha的另一位分析師Sandeep G. Rao則表示，臺積電推遲采購的決定可能與人工智能長期發展勢頭的不確定性有關。Rao表示：“目前臺積電產能接近滿負荷運轉，行業地位穩固，且大概率能持續獲得優厚的融資條件。因此，臺積電暫緩采購設備的決策，或許更多源于整體經營環境，而非設備成本問題。美國堪稱全球最大的人工智能市場。而在2026年，美國約45%的數據中心項目因民眾強烈反對以及對人工智能需求及實際應用規模的持續質疑而延期或取消。如果芯片需求徹底崩潰，供應合同也相應縮減，那么這些專門用于人工智能晶圓設計的全新設備帶來的現金流影響將成為公司的長期負擔。”

臺積電作為ASML核心核心客戶與重要營收來源，其暫緩采購High-NA EUV設備的決定，短期內對這家荷蘭半導體設備巨頭形成直接負面沖擊。消息正式對外公布當日，ASML股價承壓明顯，盤中一度重挫高達5.5%，后續隨著市場情緒逐步平復，跌幅有所收斂，但最終仍以微跌收官，且股價連續多個交易日持續走弱，創下階段性收盤新低。

不過在專業投資機構與行業分析師看來，此次股價波動僅為ASML業務發展過程中的短期逆風與階段性挫折，并不會對企業經營形成結構性、毀滅性負面影響。據臺媒TechNews報道，瑞銀分析師團隊研判，臺積電暫緩采購只是短期行業節奏調整，并非半導體先進制程技術發展出現結構性變局，ASML在全球高端光刻設備領域依舊坐擁無可替代的壟斷地位，晶圓廠設備市場占有率還在持續攀升，核心行業壁壘穩固。

花旗相關研報也提及，臺積電對High-NA EUV設備采購向來態度謹慎，多年來立場始終未發生明顯轉變，市場早已對相關延遲預期有所消化。疊加2029年設備導入節點距離當前時間跨度較短，且ASML深度綁定AI硬件發展核心產業鏈，在先進芯片制造環節的關鍵作用無可替代，長期發展基本面并未發生動搖。

雖缺席臺積電現階段采購清單，但ASML這款高階High-NA EUV設備并未陷入無人問津的困境，依舊獲得多家頭部晶圓制造廠商的采購，行業客戶采購布局呈現明顯分化態勢。其中，半導體行業巨頭英特爾布局節奏最為激進，早已完成該款全新機臺的采購簽約工作，且早在2024年4月就已將新機臺正式投入運營調試，提前卡位下一代先進制程技術研發與量產布局。

三星電子同樣對High-NA EUV設備的制程效能高度認可，采納態度積極主動，設備導入與工藝適配籌備工作穩步推進，與臺積電謹慎觀望的布局思路形成鮮明反差。行業業界普遍客觀評估，鑒于臺積電在全球晶圓代工領域的絕對龍頭話語權與行業示范效應，在其正式規模化導入High-NA EUV設備之前，ASML這款最先進光刻技術及相關配套產品，很難在全球晶圓制造行業實現全面普及與規模化商用，設備技術迭代紅利的全面釋放節奏也將隨之放緩。

縱觀全球半導體先進制程發展全局，臺積電暫緩采購High-NA EUV設備的決策，既是其自身成本管控、穩健經營的務實選擇，也是當前半導體行業技術迭代回歸理性的真實縮影。未來數年，全球先進芯片制造領域將呈現新舊設備并行應用、工藝優化與設備升級雙線并行的發展格局，ASML雖短期面臨設備出貨節奏放緩的壓力，但壟斷地位短期內仍難以撼動；而各大晶圓廠商基于自身經營策略、制程規劃差異化布局，也將讓全球先進半導體制造技術賽道的競爭格局更趨多元，行業技術升級與產能擴張也將告別激進冒進，邁入重實效、穩回報的全新發展階段。