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光刻機(jī)巨頭意識(shí)到,中國造不成光刻機(jī),但是要造一個(gè)光刻工廠!

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最近半導(dǎo)體圈子里傳開一句話,說話的人是ASML現(xiàn)任老板傅恪禮。原話不長,聽著卻讓人心里一緊。

他說真要把中國逼到?jīng)]退路,等中國人自己把東西搞出來,將來設(shè)備說不定要反過來賣給我們。這話從全球唯一能量產(chǎn)EUV光刻機(jī)的企業(yè)掌門人嘴里說出來,分量就不一樣了。

這不是客氣話,是真有點(diǎn)慌。先看一組數(shù)字,就知道阿斯麥為啥坐不住。



2026年一季度財(cái)報(bào)里,中國大陸市場在ASML總營收的占比,從上個(gè)季度的三成多直接掉到19%。韓國趁機(jī)跑上來,搶走了全球最大單一市場的位置,中國掉到第三。

一年前中國還是頭號(hào)大客戶,轉(zhuǎn)眼就被擠下去了。這種速度,擱誰身上都得心里打鼓。

同一天阿斯麥還宣布了兩件事。一是裁掉1700個(gè)崗位,二是未來三年拿120億歐元回購自家股票。一邊花大錢買回自家股份護(hù)盤,一邊砍掉一千七百號(hào)人的飯碗。



這種操作擺在哪兒,輿論都安靜不了。我們看到的不是繁榮,是底氣在松動(dòng)。

阿斯麥自己也算過賬。2025年全年中國市場貢獻(xiàn)了大約三分之一的營收,折合人民幣差不多七百億。2026年這個(gè)比例預(yù)計(jì)要從三分之一掉到五分之一。

蒸發(fā)掉的這塊體量,差不多夠公司花兩年研發(fā)預(yù)算。靠高研發(fā)撐著技術(shù)優(yōu)勢(shì)的企業(yè),碰上這種失血,真不是小事。



讓阿斯麥兩頭受氣的,遠(yuǎn)不止市場份額。2026年3月11日,荷蘭外交大臣在議會(huì)表態(tài),全面收緊對(duì)華半導(dǎo)體設(shè)備出口管制。

28納米和45納米成熟制程的DUV光刻機(jī)也被劃進(jìn)禁運(yùn)范圍。新規(guī)當(dāng)天就生效,連個(gè)緩沖期都沒留。

這一刀切下去,連過去合法賣的設(shè)備都沒法賣了。緊接著4月2日,美國國會(huì)推出MATCH法案。



這法案的目的就是把美國、荷蘭、日本三家的設(shè)備出口管控正式擰到一塊兒,速度還得加快,漏洞全堵死。光禁出口浸潤式DUV還不夠,連安裝、維修、軟件升級(jí)、技術(shù)支持都一刀切斷。

法案還要求盟友150天內(nèi)落實(shí)同等禁令。這是給整條產(chǎn)業(yè)鏈上鎖。

中國這邊也沒干等著,在稀土上動(dòng)了真格的。阿斯麥那些光刻機(jī)離不開稀土,精密光學(xué)元件、機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)里大量零部件都用得上中國稀土材料。2025年10月中國升級(jí)稀土出口管制,凡是含0.1%以上中國稀土的光刻機(jī)類產(chǎn)品,出口都得過中方審批。



這一條直接掐住了ASML供應(yīng)鏈的脖子。夾在中間的阿斯麥日子不好過。荷蘭政府砸了大約200億人民幣想穩(wěn)住它。

可2025年5月,ASML還是宣布要在法國建先進(jìn)光刻研發(fā)中心,首批數(shù)百名核心工程師已經(jīng)動(dòng)身去了法國。在荷蘭扎根四十年的招牌企業(yè)開始往外搬人。

這件事本身就夠說明問題。前任掌門人彼得·溫寧克在財(cái)報(bào)會(huì)上說得更直白,管制越嚴(yán),就越是給自己培養(yǎng)未來的對(duì)手。



既然短期內(nèi)很難把光刻機(jī)原樣復(fù)制一臺(tái),那就換個(gè)思路打。

阿斯麥那臺(tái)EUV光源功率大約250瓦,塞在一臺(tái)機(jī)器里,正好夠一臺(tái)設(shè)備用。



SSMB方案用同步輻射光源做EUV光源,理論上輸出功率能超過10千瓦。一個(gè)像水杯,一個(gè)像水庫,根本不在一個(gè)量級(jí)。

業(yè)內(nèi)人士的說法更形象。阿斯麥做的叫"制造",SSMB-EUV做的叫"建造"。

整套設(shè)施長200米、寬20米,可以同時(shí)給幾十臺(tái)光刻機(jī)供能。這玩意兒更像一座EUV光刻機(jī)工廠。



核心思路就是把EUV光源做成發(fā)電站那種基礎(chǔ)設(shè)施,集中給多個(gè)光刻工位供能。"光刻工廠",就是這個(gè)意思。

時(shí)間線上也能看出布局的章法。2022年12月6日,雄安新區(qū)跟清華大學(xué)簽了合作意向書。2023年1月項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)去雄安實(shí)地考察。

儲(chǔ)存環(huán)全相干光源關(guān)鍵技術(shù)驗(yàn)證項(xiàng)目2024年10月啟動(dòng),周期到2026年10月。國產(chǎn)EUV-FEL技術(shù)路線也在同步推進(jìn),總投資約41億元,計(jì)劃2026年前驗(yàn)收。



幾條路一起走,這是中國工業(yè)體系最熟悉的打法。

丑話也得說在前頭。SSMB這條路在所有方案里失敗風(fēng)險(xiǎn)也是最高的。大量技術(shù)難題還沒解決,實(shí)用化的時(shí)間表更是沒法打包票。它是想象力最大的一條路,也是最難走的一條路。

但搞科研的邏輯往往就這樣,敢押注最難的方向,才有機(jī)會(huì)跳出別人畫好的圈子。光刻工廠奔的是十年遠(yuǎn)景,眼前的產(chǎn)能缺口還得靠成熟制程頂。



2025年5月,上海微電子裝備集團(tuán)交付了首臺(tái)28納米浸沒式光刻機(jī)。設(shè)備在中芯國際等頭部企業(yè)完成驗(yàn)證,良品率達(dá)到90%,滿足量產(chǎn)要求。

計(jì)劃是2025年交付10臺(tái)以上,2026年規(guī)模化量產(chǎn)。這不是PPT項(xiàng)目,是真的開機(jī)用了。有

人覺得28納米已經(jīng)過時(shí)。可事實(shí)是全球大約80%的芯片需求恰好集中在這一檔。汽車芯片、電源管理芯片、MCU,全是剛需里的硬通貨。



真正撐起一個(gè)國家工業(yè)運(yùn)轉(zhuǎn)的,往往就是這些看著不起眼的成熟制程芯片。手機(jī)最尖端的那點(diǎn)工藝,反而只是塔尖上的一小撮。

供應(yīng)鏈上的突破也值得拎出來說。科益虹源的高功率準(zhǔn)分子激光器已經(jīng)量產(chǎn)供貨,打破了美國Cymer的壟斷。

國望光學(xué)的沉浸式投影物鏡通過驗(yàn)證。華卓精科成了全球第二家掌握雙工件臺(tái)技術(shù)的企業(yè)。南大光電的ArF光刻膠實(shí)現(xiàn)批量供貨。



從光源到鏡頭,從工件臺(tái)到光刻膠,國產(chǎn)鏈條正在一截一截長出來。

數(shù)據(jù)也跟著說話。2025年上半年,中國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口額同比下降28%,國產(chǎn)設(shè)備市場份額突破40%。信號(hào)其實(shí)挺明確,不是不想買,是越來越多的環(huán)節(jié)用不著買了。

這種替代是慢慢滲的,可一旦滲到一定比例,整個(gè)市場結(jié)構(gòu)就要變。



ASML真正怕的,從來不是中國明天就能造出一臺(tái)2納米光刻機(jī)。那確實(shí)還遠(yuǎn)。它怕的是中國不再沿著它劃好的賽道跑。

無論是SSMB這種"大工程"思路,還是成熟制程的全鏈條替代,本質(zhì)上都在繞開西方幾十年壘起來的專利墻。這才是讓阿斯麥真正睡不著覺的地方。

傅恪禮那句"逼急了將來是中國賣給我們",不是嚇唬誰,是一個(gè)行業(yè)老板對(duì)著現(xiàn)實(shí)說的實(shí)在話。他的前任彼得·溫寧克也講過類似的意思,技術(shù)再強(qiáng),丟了中國市場,連家門口幾百家供應(yīng)商都養(yǎng)不起。



兩任CEO都看明白了,可禁令一道接一道還是簽了下來。這就是商業(yè)邏輯斗不過政治邏輯的尷尬。

過去這些年,西方卡過的航天,中國建了空間站。卡過的導(dǎo)航,中國搞出了北斗。卡過的超算芯片,中國做出了自主處理器。



每一次封鎖,到頭來都成了自主創(chuàng)新的催化劑。光刻機(jī)這一關(guān)不會(huì)例外。只是這一次中國的回答更大膽,不是造一臺(tái)機(jī)器,是建一整座工廠。

等這座工廠真正轉(zhuǎn)起來,全球半導(dǎo)體這盤棋,下法就得變了。

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