最近有件特別離譜的事鬧得沸沸揚揚，美國商務(wù)部長一本正經(jīng)稱有人要偷偷把EUV光刻機運進中國，說的有鼻子有眼。結(jié)果全球光刻機霸主ASML急急忙忙出來辟謠，越著急撇清，反倒越讓大家覺得這事耐人尋味。這事發(fā)酵之后，知名通信觀察人士項立剛出來發(fā)聲，直接甩出一個讓外界相當(dāng)震驚的判斷。

他說美方折騰這事，其實就是給中國EUV光刻機即將到來的突破提前做輿論鋪墊，EUV說到底就是一臺高端設(shè)備，我們不僅能造出來，早晚還能把它做成白菜價。很多人聽到這話第一反應(yīng)就是吹牛皮吧，這么頂尖的玩意也能打成白菜價？可翻翻中國制造業(yè)的過往，這話真不是隨口放炮。之前有人嘲諷我們造不出圓珠筆芯鋼珠，也斷言我們十年搞不出DUV光刻機，結(jié)果呢？那些吹得神乎其神的不可能，最后不都成了笑話，EUV不過就是名單上的下一個而已。

給不太懂的朋友捋捋，EUV光刻機到底是個什么東西。它就是造高端芯片的核心設(shè)備，芯片上那些只有幾納米大小的電路，全靠它用極紫外光刻在硅片上。波長越短，能刻的線條就越細，芯片就能做得更小性能更強。目前最先進的EUV光刻機用13.5納米極紫外光，能做7納米、5納米甚至更先進的芯片。

全世界現(xiàn)在只有荷蘭ASML一家能量產(chǎn)，一臺售價超過十億元人民幣，就算你有錢，也不一定能拿到貨。這么多年來，光刻機一直被叫作工業(yè)皇冠上的明珠，一臺EUV有十萬多個零件，供應(yīng)商遍布全球幾十個國家，確實不是隨便哪個國家說造就造。美國卡了我們這么多年，不讓ASML賣高端光刻機給中國，目的就是把我們鎖在芯片產(chǎn)業(yè)低端，不讓我們往上突破。

那我們現(xiàn)在到底能不能造出EUV光刻機？實事求是說，目前還沒有量產(chǎn)的商用機型，但核心技術(shù)上的突破都是實打?qū)嵉?，真不是空喊口號。最難的光源部分，長春光機所已經(jīng)攻關(guān)多年，早就實現(xiàn)了13.5納米極紫外光的穩(wěn)定輸出，光源功率已經(jīng)提升到300瓦，這個水平和ASML目前在用的光源功率基本持平。

這可不是實驗室里偶然出的成果，是能夠穩(wěn)定持續(xù)工作的成熟狀態(tài)。而且我們走的技術(shù)路線和ASML還不一樣，ASML用的是激光轟擊錫滴的LPP技術(shù)，我們研發(fā)團隊走的是LDP激光誘導(dǎo)放電等離子體技術(shù)。這條路線的優(yōu)勢很明顯，設(shè)備結(jié)構(gòu)更簡單，體積更小，能量利用率更高，制造成本本來就更低。深圳的研發(fā)團隊已經(jīng)完成了EUV原型機的組裝和初步試驗，目前正在做核心參數(shù)驗證。

除了光源，另外兩個核心部件我們也拿到了突破。一個是超高精度反射鏡系統(tǒng)，極紫外光沒法用透鏡，只能靠反射鏡，鏡面平整度要求差一個原子都不行，這項技術(shù)已經(jīng)被長春光機所攻下來了。另一個是納米級雙工件臺，就是承載硅片高速移動的平臺，要求移動速度快還不能有半分偏差，華卓精科已經(jīng)掌握了這項技術(shù)，還是全球第二家能做出來的企業(yè)。

不少人會說，光有零散部件沒用，整機組裝才是最難的一關(guān)。這話確實有道理，但也不能小看這些單點突破的意義。光刻機不可能一步登天造出來，都是一個個零件、一個個子系統(tǒng)逐步攻克，最后再整合到一起?，F(xiàn)在三大核心部件都有了實質(zhì)性進展，整機哪里會是遙不可及的事。

成熟制程的光刻機我們早就造出來了，還一直在往更高制程沖。上海微電子的90納米光刻機早就商用，28納米浸沒式光刻機也完成了多輪工藝驗證，核心部件國產(chǎn)化率超過百分之八十五。從光源到鏡頭，從工件臺到光刻膠，整條國產(chǎn)化供應(yīng)鏈已經(jīng)在慢慢成型。科益虹源的準(zhǔn)分子激光器已經(jīng)量產(chǎn)供貨，國望光學(xué)的投影物鏡通過了驗證，南大光電的ArF光刻膠也能批量供應(yīng)。

這些成熟制程的突破看著不如EUV亮眼，實際意義卻非常大。一方面它養(yǎng)活了國內(nèi)的供應(yīng)鏈企業(yè)，讓大家有資金繼續(xù)投入研發(fā)。另一方面做光刻機的經(jīng)驗是可以向上遷移的，會做28納米，再攻更先進制程，本來就不是從零開始。中芯國際不用EUV光刻機，只用DUV設(shè)備通過多重曝光，已經(jīng)實現(xiàn)了7納米工藝穩(wěn)定量產(chǎn)，良率還不低。

這就說明哪怕暫時沒有最頂級的設(shè)備，我們也能通過工藝優(yōu)化摸到先進制程的門檻，根本不會被徹底卡住脖子。再說回白菜價這個話題，很多人第一反應(yīng)就是不可能，這么高端的設(shè)備怎么可能賣成白菜價。其實這里說的白菜價，不是說幾千塊錢一臺賣，而是對比現(xiàn)在十幾億一臺的天價，價格會大幅下降，讓更多企業(yè)用得起。

中國制造業(yè)有個大家都熟的傳統(tǒng)技能，只要是我們能自主生產(chǎn)的東西，最后價格都會比國外低很多。這不是靠偷工減料降成本，靠的是完整的產(chǎn)業(yè)鏈、龐大的市場規(guī)模和強大的成本控制能力。之前盾構(gòu)機國外賣幾個億一臺，我們自己能造之后，價格直接降到原來的幾分之一。液晶面板、手機攝像頭、動力電池，全都是這個路子，不是東西變差了，是去掉了壟斷溢價，回歸了合理價格。

光刻機肯定也會走這條路?，F(xiàn)在ASML賣這么貴，很大程度就是因為獨家壟斷，人家想賣多少錢就賣多少錢。一旦中國有了自己的EUV光刻機，打破壟斷，價格肯定會往下走。再加上我們的LDP技術(shù)路線本身成本就更低，結(jié)構(gòu)更簡單，量產(chǎn)后成本優(yōu)勢會更明顯。我們還有舉國體制統(tǒng)籌資源，光刻機這種級別的攻關(guān)，單靠一家企業(yè)根本做不下來。

ASML當(dāng)年也是靠全球供應(yīng)鏈，靠美日德的頂尖企業(yè)一起供貨才做出來。我們現(xiàn)在把科研院所和企業(yè)整合到一起，國家真金白銀投入，集中力量辦大事的優(yōu)勢可不是說說而已。當(dāng)然咱也不能把話說得太滿，EUV畢竟是人類工業(yè)史上最復(fù)雜的設(shè)備之一，就算核心技術(shù)都突破了，要做到穩(wěn)定量產(chǎn)、良率達標(biāo)、可靠性過關(guān)，還需要很長時間打磨。

ASML做了幾十年才有今天的水平，我們不可能三五年就全面超越。從原型機到量產(chǎn)機，從實驗室到工廠生產(chǎn)線，中間還有很多問題要解決，很多坑要踩。現(xiàn)在網(wǎng)上不少自媒體瞎吹，說什么今年就全面量產(chǎn)良率九成五，這些都是瞎編的，上海微電子官方從來沒說過這種話。真正的進展都是穩(wěn)步推進的，沒有那么多一夜逆襲的爽文，都是科研人員一天天熬出來的。

業(yè)內(nèi)比較普遍的看法是，五年左右能看到量產(chǎn)機型，七八年左右能達到比較成熟的水平。這個速度放在全球來看已經(jīng)很快了，但也不可能明天就實現(xiàn)，大家得有點耐心。至于白菜價，那是更后面的事情，剛量產(chǎn)的時候產(chǎn)量有限，還要收回研發(fā)成本，價格肯定不會太低。等產(chǎn)量上去，供應(yīng)鏈成熟了，價格才會逐步降下來，這個過程可能需要十年甚至更久，但大方向是確定的。

只要中國能自主生產(chǎn)，價格就一定會比現(xiàn)在低得多。項立剛觀察通信半導(dǎo)體行業(yè)這么多年，之前很多判斷都應(yīng)驗了，這話真不是隨口亂說。當(dāng)然不同的人有不同看法，有樂觀有保守都很正常，但有一點是確定的，中國在光刻機上的投入不會停，突破也不會停。做成白菜價不是目的，只是水到渠成的結(jié)果，我們真正的目標(biāo)是把核心技術(shù)握在自己手里，讓中國半導(dǎo)體不再受制于人。

參考資料：環(huán)球網(wǎng) 項立剛談中國EUV光刻機發(fā)展