電子級雙氧水屬于濕電子化學品 ,技術壁壘較高 。雙氧水的顆粒管控也顯得 尤 為 重 要 。 普 洛 帝 測 控 專 門 研 發 了 針 對 雙 氧 水 的 顆 粒 管 控 設 備PMT-2 。在雙氧水生產企業已經得 到廣泛應用。
雙氧水的顆粒管控重要手段
什么是雙氧水
雙氧水也 叫過氧化氫,過氧化氫是一種重要 的化工 原料,化學式為 H2 O2。純過氧化氫是淡藍色的黏稠液體 ,可任意比例與水混溶 ,是一種強氧化劑,水溶液俗稱雙氧水 ,為無色透明液體 。雙氧水的生產方法主要有電解法 、蒽醌法 、異丙醇法 、氧陰極還原法和氫氧直接化合法等 ,蒽醌法是生產雙氧水 的主要方法 , 國 內 99%以上 的雙氧水裝置采用該工 藝。
雙氧水的作用
雙氧水根據濃度及應用領域不同可分為電子級 、食品級 、工業級等 。 電子級雙氧水是生產電子集成電路不可或缺的化學試劑,在半導體制程前端硅片清洗和剝離蝕刻完成后的光刻膠。主要用于半導體硅晶片清洗劑,蝕刻劑和光刻膠去除劑 ,還可用于高級絕緣層制取 ,電鍍液無機雜質去除, 電子行業中銅 、銅合金和鎵 、鍺的處理 , 以及太陽能硅晶片的蝕刻和清洗 。 從行業產量來看 , 2021 年我 國 高純 電子級雙氧水產量 9.44 萬噸, 同 比增長 32.0%。
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