前沿導讀

中國半導體設備廠商邑文微電子首席科學家葉國光在訪談中指出，在如今全球半導體設備廠商的規模排名中，荷蘭ASML、美國應用材料、美國泛林集團分別包攬前三名。此前的第一名是應用材料，但是隨著中國企業在前幾年大量購買ASML的設備，所以現在ASML的規模變成了第一。

中國企業從ASML手中采購的設備至少有1000臺，其中包含了光刻機和其他配套設備，這些設備有一部分是拿來造芯片的，還有一部分是拿來給相關企業做研究用的。

千臺設備

ASML中國區總裁沈波此前在接受《中國日報》采訪時指出，2024年第一季度中國大陸地區為ASML貢獻了49%的份額，是ASML全球最大的客戶市場。ASML從1988年將首臺設備運到中國之后，截止到2023年年底，ASML在中國的光刻機加上測量機臺，其裝機數量接近1400臺。

這1400多臺設備，是光刻機與測量機臺的總裝機量，至于這里面到底有多少臺光刻機，沈波沒有透露。

參考資料：
荷蘭光刻機巨頭阿斯麥發布最新財報 來自中國大陸的凈系統銷售額占比高達49% - 中國日報網

美國對于光刻機的管控是循序漸進的，并沒有像EUV那樣一開始就全面封鎖。

EUV設備是持續封鎖的，哪怕是海外企業在中國大陸地區建設的合資工廠也不被允許獲得該設備。而上一代的浸潤式光刻機，美國分兩個階段實施封鎖，先封鎖NXT:2000i及以上設備，隨后又在2024年封鎖了NXT:1970i及以上設備，只要是新制造的浸潤式光刻機，均不允許運送至中國大陸地區。

而再差一些的干式DUV光刻機，美國沒有對其實施出口管制。

根據ASML官方發布的聲明顯示，從發布禁令到正式實施，中間有幾個月的緩沖時間。ASML可以在這個緩沖時間內繼續向中國企業交付曾經下單但是未交付的產品，不允許在此期間建立新訂單。

這個緩沖期，讓中國企業獲得了一定數量的光刻機以及其他配套設備。這些設備是中國企業在合法合規的情況下所獲得的產品，并且沒有違反美國“長臂管轄”所制定的出口管制。

參考資料：

• Statement regarding export control regulations Dutch government | ASML
• ASML Q4 2023 - Financial results | ASML

這些設備有一部分是拿來制造芯片創造經濟的，還有一部分是拿來進行技術研究的。

采購競爭對手的產品進行技術研究，這本身就是科技行業內非常普遍的情況。早年間的日韓半導體企業，很大程度上都是采用了這種“逆向工程”的方法才實現了技術進步。

技術研究

在日本尼康剛剛涉足光刻機產業時，背靠日本通產省推動的VLSI計劃（超大規模集成電路），讓日本NEC公司當做中間商，從美國GCA手里面采購了一臺光刻機設備，隨后尼康團隊對其進行了技術拆解，采用“逆向工程”的方法掌握了光刻機設備的制造技術。

然后尼康便推出了自家的第一臺光刻機SR-1，SR-1的技術標準與美國GCA的光刻機高度相似，但是尼康還在銷售光刻機的同時提供一定程度的技術服務，這讓尼康的光刻機開始在市場上獲得青睞。

據《人民日報》多年前發布的專欄報告指出，“逆向工程”之后的階段是“正向工程”，這個階段則是相關企業依托逆向工程所獲的技術去開發自家的自主設備。

從1950年開始，日本生產的絕大部分工業品都存在模仿美國產品的情況。1970年前后日本進入逆向工程階段，隨后在1980年過渡到正向工程，這才實現了半導體產業和工業化的大爆發。

同樣采用逆向工程提升技術的，還有韓國三星。

三星的逆向工程與日本存在差異，三星會將同行的產品拆解之后，分析其功能特性，這個功能為什么這么設計，那個功能為什么這么設計，這樣設計有什么用。

在三星搞懂功能之后，便開始對同行的產品進行不同程度的“加減”。通過組合多種現有的技術，三星制造出了大量暢銷全球的產品。先通過逆向工程拆解對手的產品，搞懂對手的設計理念，然后在此之上進行自主化的創新設計，這是三星產品可以占領全球市場的核心因素。

參考資料：
【三星研究】（六）在逆向工程中追求“興奮”的感覺--財經--人民網

現在光刻機設備的復雜程度和設計難度，已經遠遠超出了曾經步進光刻機和投影光刻機的技術水平。

如果想用逆向工程的方法去復制一臺ASML的先進光刻機，這非常不現實。ASML光刻機的子系統零件數量多，并且每一個子系統都有相關的技術專利，而且目前只有ASML公司擁有將所有子系統整合成整體并讓其持續運行的軟件技術。

哪怕是通過逆向工程掌握了其所有子系統的制造技術，還有軟件運行系統這個難題。運行軟件當中涉及到晶圓工廠和設備制造商常年累計的大量數據指標，這些數據是支撐光刻機持續運行的核心技術。

中國企業手中的ASML光刻機，就如同三星當年的方法一樣。先研究其技術設計，搞懂技術邏輯之后，用自己的技術方法以及供應鏈體系制造一臺國產的光刻機，在根源上杜絕被卡脖子的風險。