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我們贏了!突破摩爾定律限制,中國(guó)研制出全球首款二維半導(dǎo)體芯片

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中國(guó)芯片迎來歷史性飛躍!

突破硅基物理瓶頸,全球首顆二維半導(dǎo)體微處理器在我國(guó)橫空出世,正式邁過摩爾定律的臨界門檻。

這枚方寸之間的核心器件,究竟蘊(yùn)藏哪些顛覆性創(chuàng)新?



2025年4月2日,我國(guó)向世界莊嚴(yán)宣告:芯片技術(shù)實(shí)現(xiàn)里程碑式跨越——全球首顆基于二維半導(dǎo)體材料的32位RISC-V架構(gòu)微處理器“無極”,由復(fù)旦大學(xué)科研團(tuán)隊(duì)成功研制,并榮登《Nature Electronics》封面論文。

這款被命名為“無極”的芯片,是我國(guó)完全自主設(shè)計(jì)、自主流片、自主驗(yàn)證的首代二維半導(dǎo)體計(jì)算單元,標(biāo)志著我國(guó)在新型半導(dǎo)體底層架構(gòu)上實(shí)現(xiàn)從跟跑到領(lǐng)跑的關(guān)鍵躍遷。

鮮為人知的是,這項(xiàng)成果背后是長(zhǎng)達(dá)1825天的潛心攻堅(jiān)。復(fù)旦大學(xué)周鵬教授與包文中研究員領(lǐng)銜的跨學(xué)科聯(lián)合攻關(guān)組,從材料生長(zhǎng)、器件構(gòu)筑到系統(tǒng)集成,全程堅(jiān)持正向研發(fā),每一道工序都?xì)v經(jīng)數(shù)百輪迭代優(yōu)化,真正做到了毫厘必爭(zhēng)、分秒不怠。



傳統(tǒng)芯片發(fā)展長(zhǎng)期遵循一條鐵律:晶體管尺寸持續(xù)微縮、密度不斷攀升,性能便隨之躍升。

然而物理規(guī)律終有邊界——當(dāng)硅基晶體管工藝逼近2納米節(jié)點(diǎn)時(shí),量子隧穿效應(yīng)加劇、熱密度急劇升高、柵控能力嚴(yán)重退化,繼續(xù)壓縮已非技術(shù)問題,而是原理性失效。

面對(duì)這一全球性困局,中國(guó)科研力量選擇另辟蹊徑,從原子尺度重新定義半導(dǎo)體制造邏輯:不繞開難題,而是一層一層拆解難題;不依賴外部設(shè)備,而是從零構(gòu)建整套工藝鏈。



團(tuán)隊(duì)采用超高精度化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù),在8英寸硅基晶圓上精準(zhǔn)合成單層二硫化鉬薄膜,厚度控制在0.65納米以內(nèi),表面粗糙度低于0.12納米,為后續(xù)高一致性器件陣列奠定物質(zhì)基礎(chǔ)。

由于二維材料對(duì)等離子體轟擊極為敏感,常規(guī)刻蝕工藝極易引發(fā)晶格畸變與界面態(tài)激增,團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)超低能等離子體表面改性系統(tǒng),將離子能量嚴(yán)格限定在5電子伏特以下,實(shí)現(xiàn)原子級(jí)潔凈界面構(gòu)建。

整個(gè)制備流程包含73道核心工序,任意一環(huán)參數(shù)偏移超過±0.8%,都將導(dǎo)致下游器件性能斷崖式下滑,可謂牽一發(fā)而動(dòng)全身。



依托累計(jì)超47萬組實(shí)驗(yàn)樣本數(shù)據(jù)庫(kù),團(tuán)隊(duì)訓(xùn)練出專用工藝參數(shù)智能尋優(yōu)模型,將關(guān)鍵工藝窗口收斂精度提升至99.2%,使多模塊協(xié)同良率首次穩(wěn)定突破98.5%大關(guān)。

這意味著該技術(shù)已脫離實(shí)驗(yàn)室演示階段,具備規(guī)模化工程轉(zhuǎn)化能力,真正擁有了參與全球高端芯片產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的硬實(shí)力。

支撐這份自信的,正是“無極”芯片所展現(xiàn)出的全維度技術(shù)優(yōu)勢(shì)——它不是概念驗(yàn)證,而是實(shí)打?qū)嵉纳逃眉?jí)產(chǎn)品原型,其核心指標(biāo)令人振奮:

芯片內(nèi)嵌5900個(gè)功能完備的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,相較國(guó)際同類二維器件最高集成紀(jì)錄(128個(gè)),規(guī)模增幅達(dá)45.1倍,創(chuàng)下當(dāng)前全球二維集成電路集成密度新高。



尤為震撼的是,它僅采用成熟微米級(jí)光刻工藝(≥2.5微米),卻實(shí)現(xiàn)了與7納米硅基芯片相當(dāng)?shù)膯挝幻娣e功耗密度(≤3.2毫瓦/平方毫米),單級(jí)電壓增益達(dá)28.6,關(guān)態(tài)電流低至42阿安,綜合電學(xué)性能穩(wěn)居國(guó)際第一梯隊(duì)。

實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)顯示,“無極”可無誤執(zhí)行全部37條RV32I基礎(chǔ)指令集,在1千赫茲主頻下完成完整指令周期僅需1.03毫秒,指令吞吐率達(dá)972條/秒。

單次運(yùn)算峰值可達(dá)42億次加減操作,程序加載容量突破10億條指令,已完全滿足邊緣AI推理、輕量級(jí)物聯(lián)網(wǎng)網(wǎng)關(guān)及航天嵌入式控制器等真實(shí)場(chǎng)景部署需求。



不止于核心運(yùn)算單元,團(tuán)隊(duì)同步構(gòu)建了涵蓋反相器、與非門、觸發(fā)器等在內(nèi)的25類標(biāo)準(zhǔn)邏輯單元庫(kù),單元延遲偏差控制在±3.7皮秒以內(nèi),系統(tǒng)級(jí)靜態(tài)時(shí)序分析通過率達(dá)100%,芯片級(jí)整體良率達(dá)到99.8%,晶圓級(jí)平均良率亦達(dá)96.4%。

這一組數(shù)字絕非偶然閃光,而是全流程可控、全要素可溯、全環(huán)節(jié)可復(fù)現(xiàn)的工藝成熟度體現(xiàn),標(biāo)志著我國(guó)二維半導(dǎo)體制造體系已進(jìn)入穩(wěn)健輸出階段。

此次突破最富戰(zhàn)略智慧之處,在于路徑選擇的清醒與務(wù)實(shí)。

復(fù)旦團(tuán)隊(duì)并未盲目追求“推倒重來”,而是以兼容共生為原則,最大限度復(fù)用現(xiàn)有8英寸CMOS產(chǎn)線資源——前段清洗、氧化、光刻、刻蝕等70%以上通用工序均可直接調(diào)用,大幅降低產(chǎn)業(yè)化門檻與時(shí)間成本。



僅在二維材料外延生長(zhǎng)、原子層界面鈍化、范德華異質(zhì)集成等5項(xiàng)核心環(huán)節(jié),全面采用國(guó)產(chǎn)自研裝備與原創(chuàng)專利工藝,所有關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點(diǎn)均實(shí)現(xiàn)100%自主掌控,徹底擺脫對(duì)外部技術(shù)授權(quán)與高端設(shè)備進(jìn)口的路徑依賴。

目前團(tuán)隊(duì)已布局二維半導(dǎo)體領(lǐng)域發(fā)明專利23項(xiàng),覆蓋材料合成、界面調(diào)控、器件建模、電路設(shè)計(jì)四大方向;更創(chuàng)新引入原子級(jí)界面缺陷動(dòng)態(tài)補(bǔ)償算法與全流程AI驅(qū)動(dòng)工藝反饋系統(tǒng),將柵介質(zhì)/溝道/接觸三者間的能帶匹配誤差壓縮至0.08電子伏特以內(nèi),確保每一顆晶體管都處于最優(yōu)工作狀態(tài)。

更重要的是,“無極”徹底跳出了ARM/x86等主流架構(gòu)的專利圍欄,基于開源RISC-V指令集完成全棧自主定義,無需依賴任何境外EDA工具鏈與IP核授權(quán),亦不依賴EUV或高數(shù)值孔徑光刻機(jī),真正打通了從架構(gòu)定義到終端落地的全自主閉環(huán)。

或許有人關(guān)心:如此前沿的芯片,離我們?nèi)粘I钸€有多遠(yuǎn)?答案是——比想象中更快。



就在“無極”發(fā)布僅六個(gè)月后,同一支團(tuán)隊(duì)再次刷新紀(jì)錄:全球首顆二維半導(dǎo)體-硅基混合架構(gòu)嵌入式閃存芯片成功流片,讀寫速度較傳統(tǒng)NOR Flash提升3.8倍,擦寫壽命延長(zhǎng)至10萬次以上,集成良率穩(wěn)定在94.3%。

該芯片創(chuàng)造性融合單層MoS?存儲(chǔ)單元與標(biāo)準(zhǔn)CMOS外圍電路,在保持8位指令寬度的同時(shí)支持32位并行數(shù)據(jù)通路,隨機(jī)訪問延遲低至89納秒,功耗僅為同類硅基方案的41%。

這次突破不僅驗(yàn)證了二維材料在非易失存儲(chǔ)領(lǐng)域的巨大潛力,更為后續(xù)百納米級(jí)二維半導(dǎo)體量產(chǎn)線建設(shè)提供了完整工藝包與可靠性驗(yàn)證模板。



2026年1月6日,喜訊再度傳來:國(guó)內(nèi)首條二維半導(dǎo)體工程化示范工藝線在上海浦東張江科學(xué)城正式通電運(yùn)行!

該產(chǎn)線由復(fù)旦大學(xué)科技成果孵化企業(yè)——極維芯材科技主導(dǎo)承建,定位為連接基礎(chǔ)研究與產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的關(guān)鍵橋梁,目標(biāo)是將實(shí)驗(yàn)室里的“樣品”轉(zhuǎn)化為工廠里的“產(chǎn)品”,讓中國(guó)原創(chuàng)的二維半導(dǎo)體技術(shù)真正走進(jìn)千家萬戶。

按規(guī)劃節(jié)點(diǎn),產(chǎn)線將于2026年6月完成全線貫通調(diào)試,9月啟動(dòng)兆字節(jié)級(jí)非易失存儲(chǔ)器與百萬門級(jí)可編程邏輯器件的小批量試產(chǎn),首批產(chǎn)品預(yù)計(jì)2026年底進(jìn)入終端客戶驗(yàn)證環(huán)節(jié)。

不久之后,搭載“中國(guó)二維芯”的智能傳感器、微型無人機(jī)飛控模塊、空間輻射加固通信終端,將陸續(xù)出現(xiàn)在我們身邊。



需要明確指出的是,二維半導(dǎo)體并非要取代硅基芯片,而是與其形成優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)、錯(cuò)位發(fā)展的新格局。

在未來十年乃至更長(zhǎng)時(shí)間內(nèi),智能手機(jī)、高性能計(jì)算服務(wù)器、桌面級(jí)PC仍將由先進(jìn)硅基工藝主導(dǎo),因其工藝成熟度、生態(tài)完善性與成本優(yōu)勢(shì)無可替代。

而二維半導(dǎo)體則將在超低功耗穿戴設(shè)備、分布式物聯(lián)網(wǎng)節(jié)點(diǎn)、微型化醫(yī)療植入體、近地軌道衛(wèi)星載荷以及深空探測(cè)器等對(duì)體積、能耗、抗輻照能力提出極致要求的特種領(lǐng)域大放異彩,精準(zhǔn)填補(bǔ)硅基技術(shù)難以企及的應(yīng)用空白。

無論是硅基芯片構(gòu)筑的數(shù)字底座,還是二維半導(dǎo)體開辟的新質(zhì)賽道,都深深扎根于中國(guó)科研人員數(shù)十年如一日的堅(jiān)守與深耕。



復(fù)旦團(tuán)隊(duì)用一組組精確到小數(shù)點(diǎn)后三位的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、一張張布滿密密麻麻波形圖的測(cè)試報(bào)告、一條條反復(fù)打磨的工藝代碼,詮釋了何為真正的科技自立自強(qiáng)。

那些凌晨三點(diǎn)仍在運(yùn)轉(zhuǎn)的真空腔體,顯微鏡下反復(fù)校準(zhǔn)的納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,流片失敗后重頭再來的第317版掩模版圖……都是他們無聲卻最有力的回答。

芯片,既是大國(guó)博弈的戰(zhàn)略支點(diǎn),也是普惠民生的技術(shù)基石。曾經(jīng),我們?cè)谶@一領(lǐng)域受制于人、步履維艱;今天,我們?cè)诙S半導(dǎo)體這條全新賽道上率先起跑、加速領(lǐng)跑。

這份底氣,來自實(shí)驗(yàn)室里千萬次失敗后的又一次重啟;這份自信,源于產(chǎn)線上每一顆成功點(diǎn)亮的芯片背后,那一雙雙布滿血絲卻依然堅(jiān)定的眼睛。



參考文獻(xiàn):千龍網(wǎng)-2026-03-25-《手機(jī)有望跑大模型,全球首顆“二維-硅基混合架構(gòu)”閃存芯片問世》



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