在半導體智能制造中，每一片晶圓的流轉都是精度與效率的雙重考驗。

作為工業(yè)具身智能領導者，優(yōu)艾智合首創(chuàng)新一代半導體具身智能移動操作機器人ATS6F，突破性實現晶圓轉運跨潔凈度運行，為半導體行業(yè)效率升級注入全新動能。

行業(yè)首創(chuàng) 跨潔凈度運行

作為行業(yè)首創(chuàng)的新一代產品，ATS6F機器人專為半導體晶圓轉運設計，可完成長距離、運輸要求高的作業(yè)任務。

針對晶圓環(huán)境潔凈度要求，ATS6F機器人搭載全新艙內潔凈系統(tǒng)、自動密封設計，搭配FFU高效過濾裝置，實現行業(yè)領先的潔凈控制能力，能夠在萬級車間內保障物料百級的潔凈度，避免污染風險，保障晶圓良率。

ATS6F機器人支持跨潔凈環(huán)境運行，最高滿足ISO CLASS 5環(huán)境需求，可高效通過跨車間、電梯、長連廊、風淋室等多種復雜場景；振動值控制在≤0.5g，兼具高效、小巧、高通過性等特點，解決跨區(qū)域作業(yè)痛點。尤其在連廊運輸環(huán)節(jié)，展現出極強的實用性與經濟性。

全程可追溯 物料智能管控

ATS6F機器人搭載全新倉位信息化管理系統(tǒng)，可實時查看物料生產信息，現物料從入庫、轉運到上下料的全程可視化管控，解決半導體生產中“數據孤島”問題，保障物料運輸全流程過程中的安全和可追溯。

ATS6F機器人支持全無人/人機協作上下料，與OW系列機器人組合可實現自動load unload功能；可選不同載具儲位，滿足多元物料轉運需求。

持續(xù)引領行業(yè)技術發(fā)展，優(yōu)艾智合聚焦半導體制造，實現多項技術突破，并打破國外壟斷，成功進入頭部半導體廠商制造體系。

從前端原材料處理、核心制程操作到后端封裝測試、倉儲物流等關鍵節(jié)點持續(xù)拓展，優(yōu)艾智合以全鏈條覆蓋，形成對單一行業(yè)的深度滲透與全流程賦能，實現規(guī)模化落地。