參考來(lái)源：央視財(cái)經(jīng)報(bào)道

所有人都在盯著光刻機(jī)，卻很少有人知道，在刻蝕機(jī)這個(gè)同樣決定芯片生死的核心領(lǐng)域，其實(shí)我們不僅徹底打破了海外壟斷，還首創(chuàng)了全球通用的核心技術(shù)，讓泛林、應(yīng)用材料、東京電子這些曾經(jīng)不可一世的行業(yè)霸主，全都乖乖抄起了我們的作業(yè)。

5月17日在《央視財(cái)經(jīng)》播出的“對(duì)話”中，中國(guó)刻蝕機(jī)之父尹志堯表示：中微公司首創(chuàng)的甚高頻去耦合反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)，三年后被國(guó)際三大設(shè)備公司全部效仿，現(xiàn)在全球100%的CCP（電容耦合等離子體設(shè)備）刻蝕機(jī)都采用這一技術(shù)。

而創(chuàng)造這個(gè)奇跡的，就是今年82歲的尹志堯。

誰(shuí)能想到，如今市值突破2714億元、設(shè)備打進(jìn)臺(tái)積電3nm先進(jìn)制程的中微公司，是尹志堯在60歲那年，放棄美國(guó)百萬(wàn)年薪，帶著一群工程師用空白電腦從零開始建起來(lái)的。

當(dāng)年他從美國(guó)回國(guó)，所有員工不許帶任何技術(shù)文件，連電腦都是空的，真正是白手起家。那時(shí)候全球刻蝕機(jī)市場(chǎng)被三家海外廠商牢牢把控，沒(méi)人相信中國(guó)人能造出頂尖的刻蝕機(jī)，更別說(shuō)首創(chuàng)什么核心技術(shù)。

尹志堯先生憑借資深的專業(yè)能力，帶著團(tuán)隊(duì)死磕了三年，搞出了甚高頻去耦合反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)。

這項(xiàng)技術(shù)有多厲害？它直接解決了傳統(tǒng)刻蝕機(jī)精度不夠、效率低下的難題，讓芯片刻蝕的精度和良率都上了一個(gè)大臺(tái)階。

三年之后，國(guó)際三大設(shè)備廠商全都開始效仿這項(xiàng)技術(shù)，到今天，全球100%的電容耦合等離子體刻蝕機(jī)，用的都是中國(guó)人首創(chuàng)的這套技術(shù)。

除此之外，中微首創(chuàng)的雙臺(tái)機(jī)設(shè)計(jì)，能同時(shí)刻蝕兩片硅片，直接節(jié)省大量的材料成本，性能還比進(jìn)口設(shè)備更好，價(jià)格卻便宜一大截。

中微的第一臺(tái)設(shè)備，是張汝京博士帶頭在中芯國(guó)際試產(chǎn)的。那時(shí)候沒(méi)人敢用國(guó)產(chǎn)設(shè)備，張汝京頂著巨大的壓力做了第一個(gè)吃螃蟹的人，結(jié)果一試就成了。

正是這次成功，給了中微走出國(guó)門的信心，一步步打進(jìn)了臺(tái)積電的供應(yīng)鏈，從28nm到7nm，再到現(xiàn)在的5nm、3nm，中微的刻蝕機(jī)已經(jīng)成了臺(tái)積電先進(jìn)制程產(chǎn)線上不可或缺的核心設(shè)備。

更厲害的還在后面。

中微決定進(jìn)軍大平板設(shè)備領(lǐng)域，這個(gè)領(lǐng)域此前有17種工藝設(shè)備全部依賴進(jìn)口，一臺(tái)設(shè)備重達(dá)150噸，有兩層半樓高，業(yè)內(nèi)普遍認(rèn)為開發(fā)這樣的設(shè)備至少需要3到7年?？芍形⒌膱F(tuán)隊(duì)只用了12個(gè)月就做出了可運(yùn)轉(zhuǎn)的樣機(jī)，不到4個(gè)月就達(dá)到了客戶下一代產(chǎn)品的要求，18個(gè)月就把設(shè)備運(yùn)到了生產(chǎn)線上并通過(guò)核準(zhǔn)，再次創(chuàng)造了中國(guó)速度。

很多人總覺得中國(guó)半導(dǎo)體只能跟在別人后面跑，可尹志堯和中微的歷程說(shuō)明，中國(guó)人不僅能追上，還能領(lǐng)先，還能讓別人抄我們的作業(yè)。

刻蝕機(jī)不是個(gè)例，在刻蝕、沉積、清洗等多個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備環(huán)節(jié)，我們都已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵突破，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的整體自給率正在以每年10個(gè)百分點(diǎn)的速度提升。

尹志堯今年已經(jīng)82歲了，他用22年的時(shí)間，把一個(gè)從零開始的小公司，做成了全球頂尖的半導(dǎo)體設(shè)備巨頭，還恢復(fù)了中國(guó)國(guó)籍。沒(méi)有什么技術(shù)是中國(guó)人搞不出來(lái)的總有一天，我們會(huì)把所有卡脖子的環(huán)節(jié)，一個(gè)個(gè)變成我們的長(zhǎng)板。