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哈嘍,今天小李又來嘮點國際事。
站在湖北潛江的黃色燈光潔凈車間里,第一次看到了價值近 3 億元的 DUV 光刻機。
這家工廠占地 140 畝,建筑面積 1.2 萬平方米,今年 3 月 20 日正式投產,是國內第一條高端 ArF 浸沒式光刻膠原產線。
而今天我們不想聊光刻機,只聊聊藏在工業鏈更上游,被稱為 “芯片隱形心臟” 的光刻膠。
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潛江造國產高端光刻膠
光刻膠究竟是什么?簡單說,它就是工業領域的 “魔法藥水”。
在芯片制造流程中,它會被均勻涂在硅片上,經特定波長光線照射后發生化學反應,精準把電路圖案轉移到硅片上,沒有它,再先進的芯片設計都無法落地。
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依照使用場景,光刻膠分成三大類:PCB 光刻膠、顯示面板光刻膠和半導體光刻膠。前兩類門檻較低,早就實現了國產化。
唯獨半導體光刻膠,是不折不扣的技術高地。根據光源波長不同,它又分為 g 線、i 線、KrF、ArF 和 EUV 光刻膠,波長越小,生產要求越高。
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目前國內能買到的最先進光刻機是 DUV 機型,它用到的 ArF 浸沒式光刻膠,是當前最頂尖的半導體光刻膠之一,配合多重曝光技術最高可支持 7nm 制程芯片生產,也是這家潛江工廠的主打產品。
在過去很長一段時間里,全球高端光刻膠市場幾乎被日本企業瓜分:東京應化、JSR、住友化學等公司占據了 80% 以上的份額。
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哪怕是半導體工業發達的韓國,也曾被光刻膠卡到動彈不得。
2019 年日韓貿易戰爆發,日本限制光刻膠等半導體材料出口韓國,三星、SK 海力士的高端產線直接減產,韓國花了十幾年才建立的半導體產能一度陷入停滯。
落后就要受制于人,這句放在光刻膠領域同樣適用。直到 2025 年,這種局面才終于被打破。
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要造出頂尖的 ArF 浸沒式光刻膠,難度遠超想象。現場工程師告訴我,國產研發主要卡三個環節:
第一個是原材料,國內沒有成熟的配套體系,很多材料都需要定制化開發。
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第二個是純度,光刻膠生產流程長、工序多,對雜質控制要求嚴苛,金屬雜質含量必須控制在十億分之一級別,部分關鍵金屬顆粒甚至要達到萬億分之一,稍有不慎整批產品就會報廢。
第三個是下游客戶配合度,光刻膠在芯片生產里用量少、辨識度不高,像炒菜用的鹽,過去國產廠商很難獲得頭部晶圓廠的測試機會,畢竟買成熟的海外產品更穩妥。
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2018 年貿易戰徹底改變了行業生態。當 “卡脖子” 成為懸在所有科技企業頭上的利劍,哪怕是用量再小的材料,都不容有失。
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越來越多的晶圓廠主動找上國內廠商做配套,這給了鼎龍股份這樣的企業千載難逢的機會。
從摸索到量產,鼎龍股份用了數年時間。這條潛江產線不僅填補了國內空白,更讓中國終于有了能和國際巨頭同臺競技的光刻膠產品。
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有人說研發沒什么彎道超車,就是一關關闖過去。這話放在國產光刻膠身上再合適不過:你造一道壁壘,我們就打破一道;你卡一次脖子,我們就攢一次勁。從潛江這條產線開始,屬于中國半導體光刻膠的時代,已經拉開序幕。
至于大家關心的國產 DUV 光刻機,相關調研和對接已經在推進,估計最快一年、最晚兩年就能和大家見面。
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