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替代LTPO!LG Display 6代線攻堅(jiān)HMO背板技術(shù)

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CINNOResearch 產(chǎn)業(yè)資訊,LG顯示正在研發(fā)高遷移率氧化物(HMO,High Mobility Oxide)薄膜晶體管(TFT)背板新技術(shù),計(jì)劃用于6代線中小尺寸OLED產(chǎn)品。繼低溫多晶氧化物(LTPO)TFT之后,蘋(píng)果將HMO視作下一代低功耗背板備選方案并展開(kāi)評(píng)估,LG顯示由此正式啟動(dòng)該項(xiàng)技術(shù)驗(yàn)證工作。


據(jù)業(yè)內(nèi)6月1日消息,獲悉LG顯示已在6代中小尺寸OLED產(chǎn)線推進(jìn)HMO技術(shù)的開(kāi)發(fā)與驗(yàn)證。一位業(yè)內(nèi)人士表示:“HMO相關(guān)技術(shù)與設(shè)備已進(jìn)駐6代產(chǎn)線,用于研發(fā)和試樣驗(yàn)證。”目前該技術(shù)具體立項(xiàng)研發(fā)時(shí)間尚未對(duì)外披露。不同于三星顯示在8.6代產(chǎn)線采用原子層沉積(ALD)工藝,LG顯示選擇依托濺射設(shè)備量產(chǎn)制備HMO。

業(yè)內(nèi)普遍預(yù)判,蘋(píng)果手表等智能穿戴OLED屏幕,或?qū)⒊蔀長(zhǎng)G顯示HMO技術(shù)的首個(gè)落地應(yīng)用場(chǎng)景。另一位行業(yè)人士透露:“據(jù)了解,LG顯示計(jì)劃自明年起率先向智能手表終端供貨。蘋(píng)果不傾向單一供應(yīng)商獨(dú)家供貨,偏好二供、三供的供應(yīng)鏈多元化策略,以此在議價(jià)中占據(jù)優(yōu)勢(shì)。”

HMO是用于顯示屏驅(qū)動(dòng)電路TFT的技術(shù)路線之一。TFT屬于半導(dǎo)體元器件,通過(guò)管控電流通斷實(shí)現(xiàn)開(kāi)關(guān)控制,現(xiàn)有技術(shù)主要分為非晶硅(a-Si)、低溫多晶硅(LTPS)、LTPO、氧化物四大類(lèi)。

其中氧化物技術(shù)無(wú)需像LTPS、LTPO那樣經(jīng)過(guò)激光晶化、離子注入等工序,具備天然低功耗優(yōu)勢(shì)。LTPO融合了LTPS與氧化物兩者優(yōu)勢(shì)并廣泛應(yīng)用在中小尺寸OLED面板,而HMO則在氧化物原有基礎(chǔ)上進(jìn)一步深挖低功耗、低成本的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。

傳統(tǒng)氧化物材料電子遷移率偏低,是其在高分辨率、高刷新率OLED產(chǎn)品中驅(qū)動(dòng)性能受限的短板;當(dāng)前量產(chǎn)級(jí)氧化物電子遷移率普遍低于10cm2/Vs,行業(yè)為下一代IT類(lèi)OLED用氧化物定下30~50cm2/Vs的遷移率目標(biāo),提升氧化物電子遷移率正是HMO技術(shù)的核心攻關(guān)方向。

LG顯示選用的濺射工藝是氧化物制程常用的成膜方式,優(yōu)勢(shì)在于易兼容現(xiàn)有成熟制程、可沿用存量量產(chǎn)設(shè)備,但難點(diǎn)在于HMO需要同時(shí)滿(mǎn)足高電子遷移率、大面積成膜均勻性與長(zhǎng)期可靠性三項(xiàng)指標(biāo)。

LG顯示發(fā)力HMO研發(fā),與蘋(píng)果下一代OLED產(chǎn)品技術(shù)迭代規(guī)劃深度綁定。行業(yè)慣例是:蘋(píng)果先聯(lián)合LG顯示在手表產(chǎn)品上完成新技術(shù)驗(yàn)證,待拓展至手機(jī)端時(shí),再同步要求三星顯示、LG顯示兩家面板廠商共同開(kāi)發(fā)落地。

業(yè)內(nèi)相關(guān)人士稱(chēng):“各大面板廠早已自主布局HMO研發(fā)。過(guò)往蘋(píng)果新背板技術(shù)均先和LG顯示在手表端驗(yàn)證,進(jìn)入手機(jī)量產(chǎn)階段后再擴(kuò)容至三星、LG雙供應(yīng)商。本次HMO項(xiàng)目與此相似,應(yīng)用范圍除手機(jī)外,還將延伸至IT類(lèi)OLED產(chǎn)品。”

不過(guò)HMO的落地機(jī)型與量產(chǎn)時(shí)點(diǎn)仍未敲定,最終能否商用取決于客戶(hù)產(chǎn)品規(guī)劃與設(shè)備驗(yàn)證結(jié)果。LG顯示仍需依托6代產(chǎn)線完成HMO量產(chǎn)可行性驗(yàn)證,電子遷移率、制程溫度、成膜均勻度、產(chǎn)品可靠性與良率是驗(yàn)證成敗的關(guān)鍵指標(biāo)。

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