北京
韓國(guó) SK hynix 清州廠區(qū)再次發(fā)生安全事故。
《韓聯(lián)社》報(bào)道稱，6 月 10 日下午 3 點(diǎn) 58 分左右，SK hynix 清州第四園區(qū)有兩名工人在搬運(yùn)設(shè)備時(shí)，接觸到疑似有毒化學(xué)品的液體，隨后被送往醫(yī)院檢查。
事發(fā)地點(diǎn)為 SK hynix 清州 4 Campus，涉事物質(zhì)被認(rèn)為可能是四甲基氫氧化銨，即 TMAH。
兩名工人送醫(yī)時(shí)并未出現(xiàn)明顯異常癥狀。
韓國(guó)媒體援引 SK hynix 說(shuō)法稱，事故發(fā)生后，公司已投入內(nèi)部防災(zāi)人員并完成現(xiàn)場(chǎng)安全處置，目前初步判斷沒(méi)有進(jìn)一步風(fēng)險(xiǎn)；接觸液體的員工被送醫(yī)主要是出于預(yù)防性檢查。
TMAH 是半導(dǎo)體和顯示器制造中常見的強(qiáng)堿性化學(xué)品，常用于硅片清洗、顯影、蝕刻等環(huán)節(jié)。其危險(xiǎn)性不僅來(lái)自腐蝕性，還來(lái)自經(jīng)皮吸收后的系統(tǒng)性毒性；Stanford 的 TMAH 安全說(shuō)明指出，皮膚暴露后，氫氧根會(huì)損傷皮膚，使高毒性的四甲基銨離子迅速進(jìn)入血液，嚴(yán)重情況下可在短時(shí)間內(nèi)引發(fā)生命危險(xiǎn)。
不過(guò)，這起事故目前仍未被最終定性為 TMAH 泄漏。
《韓聯(lián)社》稱，相關(guān)部門起初懷疑液體來(lái)自工人正在運(yùn)輸?shù)脑O(shè)備，但初步成分分析中并未檢測(cè)出有毒物質(zhì)。
調(diào)查方向之一是設(shè)備清洗后未完全干燥，殘留的 TMAH 可能與水分混合，并在運(yùn)輸過(guò)程中滴落或脫落。
這已不是 SK hynix 清州廠區(qū)近期首次發(fā)生安全事故。
6 月 1 日，SK hynix 清州 4 Campus 內(nèi)連接 M15 與 M15X 工廠的 6 樓氣體室發(fā)生火災(zāi)，導(dǎo)致少量氟氣泄漏，7 人被送往廠內(nèi)附屬醫(yī)院，約 3600 名員工一度疏散。
韓國(guó)媒體還提到，清州廠區(qū)近期出現(xiàn)多起大小事故，除 6 月 1 日的火災(zāi)和氟氣泄漏外，5 月 27 日 M11 工廠半導(dǎo)體加工設(shè)備曾出現(xiàn)火花，員工疏散約 1 小時(shí)；今年 1 月 19 日，5 名管道作業(yè)人員還曾接觸從上方管道滴落的磷酸。
此次疑似 TMAH 接觸事故仍在進(jìn)一步調(diào)查中。
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