天津
走進(jìn)位于天津市津南區(qū)的華海清科股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“華海清科”），化學(xué)機(jī)械拋光、超精密減薄、離子注入等方面的集成電路關(guān)鍵裝備正在有序進(jìn)行模塊組裝、整機(jī)集成和性能測(cè)試。
“我們正在開(kāi)展化學(xué)機(jī)械拋光后清洗關(guān)鍵技術(shù)與機(jī)理研究，優(yōu)化清洗工藝參數(shù)，解決拋光后晶圓表面的顆粒殘留與缺陷難題，著力提升清洗效果的穩(wěn)定性和一致性。”華海清科博士后科研工作站負(fù)責(zé)人說(shuō)。
2013年落戶津南區(qū)以來(lái)，華海清科的產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)集成電路生產(chǎn)線，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)自主可控發(fā)展提供重要支撐。
一家企業(yè)的成長(zhǎng)，離不開(kāi)一個(gè)區(qū)域?qū)Ξa(chǎn)業(yè)鏈的深耕。“我們打造了海河集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)主題園區(qū)，出臺(tái)相關(guān)配套支持政策。”津南區(qū)工業(yè)和信息化局黨組書(shū)記、局長(zhǎng)詹珽介紹，近年來(lái)，興華清科、帝京半導(dǎo)體、銳潔機(jī)器人等鏈上企業(yè)加速集結(jié)，涵蓋裝備制造、材料研發(fā)、真空系統(tǒng)、半導(dǎo)體器件、自動(dòng)化設(shè)備及封測(cè)裝備等多個(gè)領(lǐng)域，形成了以華海清科為龍頭，上下游企業(yè)協(xié)同發(fā)展的集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)格局。2025年園區(qū)總產(chǎn)值達(dá)54.3億元，同比增長(zhǎng)16.14%。
“在園區(qū)內(nèi)就有機(jī)械手臂、復(fù)雜結(jié)構(gòu)機(jī)加件等關(guān)鍵部件的供應(yīng)方，完備的產(chǎn)業(yè)鏈條讓我們省去了‘東奔西跑’的麻煩，更增強(qiáng)了產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力與市場(chǎng)主動(dòng)權(quán)。”華海清科相關(guān)負(fù)責(zé)人說(shuō)。
近年來(lái)，津南區(qū)著力建設(shè)有引領(lǐng)作用的主題產(chǎn)業(yè)園區(qū)，打造特色產(chǎn)業(yè)集群，推進(jìn)重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)向重點(diǎn)園區(qū)聚集、重點(diǎn)園區(qū)向特色產(chǎn)業(yè)聚焦，鏈園結(jié)合，以園聚鏈，形成“乘法效應(yīng)”。2024年，海河教育園、天開(kāi)津南園與津南經(jīng)開(kāi)區(qū)“三園合一”，以制度創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)要素聚合，厚植智能產(chǎn)業(yè)發(fā)展沃土。
“我們將充分發(fā)揮制造業(yè)基礎(chǔ)優(yōu)勢(shì)，打造人工智能技術(shù)供給區(qū)和智能網(wǎng)聯(lián)產(chǎn)業(yè)集群，加快人工智能學(xué)科人才引育，培育優(yōu)質(zhì)企業(yè)和平臺(tái)載體，采取‘孵化+服務(wù)+引育+推薦’多元路徑推動(dòng)智能產(chǎn)業(yè)集聚。”詹珽說(shuō)。
來(lái)源：人民網(wǎng)
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