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DUV光刻機再遭封堵!中國半導體裝備加速自立!

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全球半導體產業鏈競爭日趨激烈,深紫外(DUV)光刻機的對中國出口,已成為西方技術管制的關鍵領域。繼先進 EUV 光刻機遭全面禁售后,DUV 光刻機的對中國供應也接連受阻,而中國產半導體設備正加快技術突破,自主替代進程穩步推進。

2025 年 12 月,荷蘭以所謂 “涉軍” 為由,對 ASML DUV 光刻機對中國銷售進行阻撓。據荷蘭國家廣播公司報道,ASML 方面明確,對中國銷售的 DUV 光刻機屬于成熟制程設備,分辨率約 38nm,并不適用于先進芯片制造。但部分外媒仍刻意炒作風險,聲稱相關設備可能被用于軍事領域,甚至將相關科研采購項目與軍事情報風險關聯。ASML 回應稱,無法判定客戶是否受出口管制約束,相關國家安全監管責任歸屬各國政府。這一事件標志著,成熟制程所需的 DUV 光刻機,也開始面臨不合理的出口限制。


2026 年,美國進一步加碼對中國半導體設備管制,意圖全面封堵 DUV 光刻機供應。2026 年 4 月 7 日,美國國會兩黨參議員聯合提出《MATCH 法案》,計劃對中芯國際、長江存儲等 5 家中國核心半導體企業,實施近乎全面的先進晶圓制造設備出口禁令,DUV 光刻機、刻蝕機等關鍵設備均在限制范圍內。該法案雖未新增管制品類,卻改變了許可審批邏輯,由針對具體晶圓廠限制轉為針對企業主體限制,封堵中轉采購漏洞,覆蓋設備交易、使用、維護等全生命周期,試圖切斷中國晶圓廠關鍵設備的穩定供應。

外部封鎖不斷升級的同時,中國產半導體設備迎來快速發展。2026 年 2 月,日經新聞亞洲版援引 Global Net 發布的 2025 年全球半導體設備廠商報告顯示,全球市場長期由美、日、歐企業主導,ASML、應用材料等穩居前列,而中國產設備實現跨越式突破。北方華創躋身全球前五,業務覆蓋蝕刻、沉積、清洗等核心環節;中微公司、上海微電子分別位列全球第 13、20 位,其中中微刻蝕機可應用于 5nm 工藝,上海微電子是國內唯一可批量供應光刻機的企業。若擴大至全球前 30 名,盛美上海、華海清科也成功入圍,中國產設備上榜企業數量較三年前增長兩倍,自主替代成效顯著。


當前,全球半導體設備格局正發生深刻變化。西方對 DUV 光刻機的層層管制,短期內給中國芯片產業帶來一定壓力,但也推動國內加快核心技術攻關。從頭部企業躋身全球榜單,到關鍵設備逐步實現突破,中國產半導體設備正持續補齊產業鏈短板。未來,隨著自主研發不斷深入,中國半導體產業的自主可控能力將持續提升,推動全球半導體產業向更加均衡多元的方向發展。

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