前沿導(dǎo)讀

臺(tái)積電副運(yùn)營(yíng)長(zhǎng)張曉強(qiáng)表示，為節(jié)省開(kāi)支，臺(tái)積電目前沒(méi)有采用第二代高數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)的計(jì)劃。臺(tái)積電的研發(fā)部門正在利用現(xiàn)有的第一代EUV設(shè)備制造先進(jìn)芯片，并且還因此制定了未來(lái)技術(shù)方向，整體進(jìn)度良好。第二代EUV的價(jià)格非常昂貴，臺(tái)積電因此正在積極探索不使用該設(shè)備繼續(xù)提升芯片性能的方法。

價(jià)格因素

據(jù)報(bào)道顯示，ASML制造的第二代高數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)的售價(jià)在3.5億至4億美元左右，相當(dāng)于兩臺(tái)第一代EUV的價(jià)格。

第一代EUV光刻機(jī)的數(shù)值孔徑（NA）為0.33，其單次曝光分辨率約為13.5nm，可以高效率制造7nm及以下工藝的芯片。并且當(dāng)下絕大部分的先進(jìn)邏輯芯片和ai算力芯片，都是基于該設(shè)備制造完成。

為了繼續(xù)制造更微小的晶體管，芯片廠商還會(huì)采用技術(shù)復(fù)雜的“多重圖案化”技術(shù)。該技術(shù)將會(huì)對(duì)同一層電路進(jìn)行多次的曝光、刻蝕及沉積工藝，這不僅大幅增加了工藝步驟、時(shí)間和成本，同時(shí)也會(huì)對(duì)制造效率產(chǎn)生影響。

而ASML制造的第二代EUV，將數(shù)值孔徑提升至0.55，其單次曝光分辨率可達(dá)到8nm級(jí)別。該設(shè)備可以制造18A（1.8nm）、14A（1.4nm）以及更先進(jìn)的制程工藝芯片，可以大幅度減少多重圖案化帶來(lái)的復(fù)雜步驟和較低的制造效率。

第二代EUV的優(yōu)點(diǎn)明顯，缺點(diǎn)也很明顯，那就是造價(jià)高昂，單臺(tái)售價(jià)相比第一代設(shè)備翻了一倍多。

如果將第二代EUV的價(jià)格以更加實(shí)體化的方式進(jìn)行表現(xiàn)，那么基本相當(dāng)于6架波音737或者4架殲-35的價(jià)格。較高的售價(jià)就注定這臺(tái)設(shè)備只是少數(shù)企業(yè)所能采購(gòu)的產(chǎn)品，目前有能力承擔(dān)的企業(yè)就是臺(tái)積電、三星、英特爾。

此前ASML的大客戶是中國(guó)大陸地區(qū)，但是受出口管制的影響，大陸地區(qū)無(wú)法獲得ASML先進(jìn)設(shè)備，這讓ASML損失了一個(gè)潛力巨大的用戶市場(chǎng)。

然后就是中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)的臺(tái)積電，臺(tái)積電一直都是先進(jìn)制程的領(lǐng)軍企業(yè)，也是ASML浸潤(rùn)式和EUV的核心客戶。

但是ASML對(duì)第二代EUV的態(tài)度很明顯，價(jià)格太高暫不采購(gòu)，而且現(xiàn)有的第一代EUV可以通過(guò)多重圖案化制造更先進(jìn)的芯片，臺(tái)積電的商業(yè)利潤(rùn)也可以在資金上撐得住這種技術(shù)，沒(méi)必要多花錢買更貴的產(chǎn)品。

三星則表示有購(gòu)買傾向，并且已經(jīng)在2025年訂購(gòu)了一臺(tái)第二代EUV用于邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片的制造。

最有購(gòu)買欲望的企業(yè)，就是英特爾。本身英特爾的制造技術(shù)在國(guó)際層面已經(jīng)落后了，而且還被臺(tái)積電搶走了大量客戶，急需要頂尖的設(shè)備來(lái)彌補(bǔ)這個(gè)技術(shù)差距。英特爾在政府的扶持下采購(gòu)了多臺(tái)第二代EUV，并且已經(jīng)率先實(shí)現(xiàn)了18A芯片的量產(chǎn)。

用戶市場(chǎng)

如今的全球芯片市場(chǎng)，90%的芯片并不需要EUV光刻機(jī)。

28nm及以上工藝的平面晶體管結(jié)構(gòu)的芯片，用干式或者浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)可以制造。而14nm至7nm的Fin FET立體晶體管結(jié)構(gòu)的芯片也可以通過(guò)浸潤(rùn)式光刻機(jī)完成制造，只有極少部分的先進(jìn)邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片和算力芯片需要EUV的技術(shù)支持。

而這些先進(jìn)芯片的最大制造商就是臺(tái)積電，其次是三星和英特爾占小部分市場(chǎng)。

臺(tái)積電對(duì)于第二代EUV沒(méi)有采購(gòu)欲望，三星和英特爾的客戶群體有限，并且三星此前用EUV制造的5nm和4nm芯片在消費(fèi)市場(chǎng)上差評(píng)如潮，導(dǎo)致很少有客戶愿意考慮三星工藝。而英特爾拿第二代EUV主要制造先進(jìn)工藝的CPU，產(chǎn)品覆蓋面很窄。

唯一一個(gè)有巨大發(fā)展?jié)摿Φ闹写箨憞?guó)市場(chǎng)還被美國(guó)實(shí)施出口管制，ASML在第二代EUV的銷售當(dāng)中并沒(méi)有重現(xiàn)DUV和第一代EUV的輝煌戰(zhàn)績(jī)。

ASML是設(shè)備制造商，其核心業(yè)務(wù)就是制造并且銷售、維護(hù)光刻機(jī)。如果其制造的新設(shè)備并沒(méi)有獲得客戶的青睞，那么ASML開(kāi)發(fā)新設(shè)備所投入的資金就相當(dāng)于打水漂了。

ASML CEO克里斯托弗·富凱在接受國(guó)際媒體采訪時(shí)指出，應(yīng)該適度向中國(guó)企業(yè)輸出西方的技術(shù)產(chǎn)品，以保持中國(guó)企業(yè)對(duì)于西方技術(shù)的依賴，防止其自主研發(fā)形成競(jìng)爭(zhēng)力。過(guò)于嚴(yán)格的制裁，將會(huì)迫使中國(guó)企業(yè)走上自立自強(qiáng)的道路。假以時(shí)日，中國(guó)企業(yè)還有可能將自主制造的設(shè)備銷往海外市場(chǎng)，與國(guó)際企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)。