多種電子氣體供應緊張。

韓國科技媒體5月28日報道，韓國化工材料企業PKC，正將其半導體級高純氯氣產能擴大50%，并且在近期已啟動擴產工程，年產能將從約1400—1500噸提升至2100—2200噸，投資規模預計達數百億韓元。

消息稱，此次擴產是與三星電子預先商議后敲定，擴產主要原因是隨著更高層數NAND閃存量產，刻蝕氣體需求激增，同時三星電子對高純氯化氫的供應需求也在提升。業內人士表示，氯氣擴產必須提速，以匹配三星下半年擴大氯化氫采購的計劃。

一方面，氯氣是半導體刻蝕工藝的關鍵特種氣體，主要用于鋁、銅等金屬互聯層刻蝕，要求純度達到5N（99.999%）以上的超高純等級。當前NAND閃存廠商已突破200層，并向300層以上競爭。NAND通道孔刻蝕對氯氣的消耗量，顯著高于DRAM；在GAA環繞柵極、FinFET等先進代工工藝中，氯氣用量同樣巨大。

另一方面，氯化氫需求快速增長。氯化氫由氯與氫合成，以氯氣為原料，擴產氯化氫必須先提升氯氣產能。氯化氫用于晶圓清洗、刻蝕及外延層沉積，可將晶圓表面殘留金屬離子與氧化物轉化為揮發性氯化物去除，邏輯代工需求高于存儲器。行業消息稱，三星近期要求PKC增加氯化氫供應，并將其應用范圍從僅DRAM擴大至全部NAND與代工工藝。

多種電子氣體供應緊張

電子氣體是半導體產業制造用的超高純特種氣體，被譽為芯片的“血液”，其純度要求高，生產難度大，一般電子級的氣體要求5N（99.999%）起步，先進制程需6N（99.9999%）甚至更高，一條12寸晶圓線約用50種電子氣體，包括氟基、硅基、摻雜類氣體等，是半導體制造核心材料。

隨著全球半導體產業快速復蘇、AI芯片與先進制程需求集中爆發，疊加中東地緣局勢持續緊張，今年以來電子級氣體供應緊張的消息不斷。其中，高純氦氣、六氟化鎢、高純氯化氫、氖氣、三氟化氮等關鍵電子特氣供需矛盾尤為突出，價格大幅上漲，部分品種甚至出現現貨斷供風險，已成為制約先進制程產能釋放的重要瓶頸。

以高純氦氣為例，今年3月，卡塔爾拉斯拉凡工業城遭襲，全球30%—35%氦氣產能癱瘓，此外，俄羅斯在今年4月又對氦氣出口實施管制，導致全球半導體制造所需氦氣供應緊張。

近期，六氟化鎢和電子級氟化氫兩種氣體出現供應缺口。其中，六氟化鎢價格出現暴漲，海關總署披露的數據顯示，2026年4月半導體核心電子氣體六氟化鎢出口均價達149.79美元/公斤，同比上漲28.33%，環比暴漲203.83%，漲價幅度超預期。

氟化氫方面，由于中東局勢緊張，導致硫磺供應中斷，直接推高硫磺、硫酸以及無水氟化氫的價格，無水氟化氫作為半導體級氫氟酸的核心原料，年內價格漲幅已達約40%。媒體報道稱，韓國半導體氫氟酸供應鏈承壓，已開始為進口自中國的無水氟化氫支付大幅上漲的采購價格。

這些公司布局電子級氯氣

華泰證券研報表示，電子氣體是芯片制造的關鍵原料，存儲等新需求有望推動行業景氣。據SEMI，2020年電子特氣占晶圓制造成本的13%，僅次于硅片。隨著芯片向3D NAND及HBM的多層結構、先進制程以及先進封裝方向發展，電子氣體需求未來有望持續增長。

電子級氯氣方面，數據寶根據公開資料梳理，多家上市公司已布局相關業務。

濱化股份5月18日的調研紀要顯示，公司電子級氯氣中試項目通過專家驗收，將加快6N級電子級氯氣、電子級鹽酸和電子級氟化氫研發落地及商業化。

聯泓新科2025年年報顯示，公司電子級高純特氣裝置主要產品超高純電子級氯化氫、 電子級氯氣質量優異，供應臺積電、上海新升等行業領先企業。

湖北宜化在5月18日的調研紀要中表示，在電子化學品方面，公司重點發展電子級氫氟酸、磷酸、硫酸、雙氧水等濕電子化學品和電子級氯氣、氯化氫、硅烷等電子特氣。

和遠氣體2025年年報顯示，公司潛江電子特氣產業園的“電子級超純氨、高純氫、電子級氯化氫、電子級氯氣、電子級甲烷、電子級一氧化碳、高純羰基硫等電子特氣及電子化學品”等產品已經全部投產。

此外，中巨芯、金宏氣體、華特氣體均是電子級氯氣相關生產企業。

從工業氣體概念股表現來看，受供應緊張影響，相關概念股年內大幅上漲。其中，中船特氣年內股價漲幅超330%，公司是國內六氟化鎢龍頭；華特氣體、三孚股份、廣鋼氣體等年內股價翻番，其中華特氣體是國內電子特氣國產龍頭，截至2025年底，公司實現進口替代的產品已增至57款。

今年以來，有10家工業氣體上市公司獲得機構調研，華特氣體、金宏氣體、廣鋼氣體、中船特氣參與調研的機構數均超100家，蜀道裝備、杭氧股份、福斯達、正帆科技參與調研的機構均在20家以上。

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責編：周莎

校對：盤達