河南
超潔凈流控部件以零顆粒污染、極低金屬離子析出、無(wú)液體殘留死角、非接觸式驅(qū)動(dòng)與傳感為核心技術(shù)特征，在材料、結(jié)構(gòu)、工藝等方面均需滿(mǎn)足超潔凈要求。超潔凈流控部件是專(zhuān)為半導(dǎo)體濕法制程、生物制藥等高端領(lǐng)域設(shè)計(jì)的流體控制零部件。
潔凈度是指對(duì)液體介質(zhì)環(huán)境中的金屬離子、非金屬離子、總有機(jī)碳及顆粒等參數(shù)的濃度或占比分?jǐn)?shù)。半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域?qū)崈舳鹊囊髽O高，金屬、離子、細(xì)菌等污染物均會(huì)導(dǎo)致相關(guān)產(chǎn)品性能缺陷或晶圓良品率下降。超潔凈流控部件能夠?qū)崿F(xiàn)工藝介質(zhì)（如超純水、高純藥液、強(qiáng)腐蝕性化學(xué)品等）的超潔凈輸送、調(diào)節(jié)與測(cè)量，是決定高端制造良率與穩(wěn)定性的關(guān)鍵基礎(chǔ)件。
超潔凈流控部件涵蓋多個(gè)細(xì)分品類(lèi)，包括輸送類(lèi)、調(diào)節(jié)類(lèi)、測(cè)量類(lèi)、系統(tǒng)集成類(lèi)等類(lèi)別，具體有磁懸浮泵、波紋管泵（風(fēng)囊泵）、隔膜閥、超聲波流量傳感器、流量控制器、液體純化系統(tǒng)、環(huán)控系統(tǒng)等。隔膜閥是以隔膜為截?cái)嚅y，通過(guò)驅(qū)動(dòng)部件帶動(dòng)活塞桿進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)，再由活塞桿帶動(dòng)隔膜實(shí)現(xiàn)閥口的啟閉。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2026-2030年超潔凈流控部件行業(yè)深度市場(chǎng)調(diào)研及投資策略建議報(bào)告》顯示，超潔凈流控部件技術(shù)壁壘高，全球市場(chǎng)長(zhǎng)期由美國(guó)、日本等國(guó)企業(yè)壟斷，我國(guó)在該領(lǐng)域的研究起步較晚，大量超潔凈流控部件仍依賴(lài)進(jìn)口。浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司、寧波眾杰來(lái)同科技有限公司、槃實(shí)科技（深圳）有限公司等企業(yè)是推動(dòng)我國(guó)超潔凈流控部件國(guó)產(chǎn)替代的重要力量。
浙江啟爾機(jī)電為國(guó)內(nèi)超潔凈流控零部件一站式供應(yīng)商，核心產(chǎn)品包括LP系列磁懸浮泵、BP系列波紋管泵、BD系列阻尼器、UFC系列液體超聲流量控制器、UF-CV系列外夾式流量傳感器、液體純化系統(tǒng)等，應(yīng)用覆蓋流體輸送、流量精準(zhǔn)測(cè)控、阻尼減震、超純水深度純化等場(chǎng)景。
新思界行業(yè)分析人士表示，半導(dǎo)體先進(jìn)制程向3納米及以下節(jié)點(diǎn)演進(jìn)，對(duì)各工藝環(huán)節(jié)的潔凈度要求將進(jìn)一步提升，超潔凈流控部件應(yīng)用前景廣闊。
在標(biāo)準(zhǔn)制定上，T/CHPSA YY003-2024《超潔凈磁懸浮泵》于2024年由中國(guó)液壓氣動(dòng)密封件工業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布，2026年中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)批準(zhǔn)《超潔凈液體超聲波流量傳感器》、《超潔凈液體流量控制器》、《超潔凈隔膜閥》三項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)，前兩項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)由浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司牽頭研制，《超潔凈隔膜閥》由氟微（上海）新材料有限公司牽頭研制。
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