《科創板日報》6月17日訊（記者 吳旭光）6月17日，招商證券披露輔導驗收公告，北京華卓精科科技股份有限公司（下稱“華卓精科”）首次公開發行股票并上市輔導工作正式完成。華卓精科于今年2月13日提交輔導備案，計劃申報科創板IPO。

公告顯示，經過完整輔導周期規范整改，華卓精科已搭建符合上市標準的公司治理架構，完善會計核算體系與內部控制管理制度；公司董事、高管、持股5%以上股東及實控人全部系統學習資本市場發行上市法規，清晰掌握信息披露義務、上市承諾履約相關責任要求。

擬再度沖擊科創板上市

對于公司后續上市流程，今日（6月17日），保薦機構業務人士向《科創板日報》記者表示，輔導機構向北京證監局提交全套驗收材料后，監管部門法定20個工作日內出具《輔導工作完成函》，文件有效期12個月，企業需在有效期內遞交科創板申報材料。無歷史瑕疵的普通科創企業材料籌備周期約1至1.5個月；而華卓精科屬于二次申報硬科技企業，疊加歷史問詢遺留問題等多重審核關注點，常規需要2至3個月。

針對公司是否重啟科創板申報、有無明確上市時間規劃，《科創板日報》記者致電華卓精科上市輔導機構招商證券求證。其相關負責人回應稱，對于華卓精科所有上市相關安排均以企業官方對外披露公告為準，現階段各項籌備工作正急推進，暫無更多細節可以對外披露。《科創板日報》記者隨后致電華卓精科證券部核實相關事宜，截至發稿，未獲得公司相關回應。

證監會輔導備案公示信息顯示，華卓精科于2026年2月12日在北京證監局完成IPO輔導備案登記，目標登陸科創板。

《科創板日報》記者注意到，本次重啟輔導期間，華卓精科完成全套中介機構更換，輔導券商由此前東興證券替換為招商證券，申報會計師事務所同步更換，法律顧問機構更新為北京市邦盛律師事務所，全流程完成企業合規性、獨立性專項輔導培訓等。

需要注意的是，這并非華卓精科首次沖擊科創板資本市場。公開輔導資料顯示，華卓精科早在2020年6月遞交科創板IPO申報并獲上交所受理，2021年9月順利通過上市委審議；后續受行業市場環境、企業中長期資本規劃調整影響，公司于2024年6月主動撤回全部IPO申報材料，終止本次上市進程；華卓精科于今年2月13日提交輔導備案，計劃申報科創板IPO，輔導工作歷時四個月。

核心業務包括光刻機核心部件、先進封裝設備等

公開資料顯示，華卓精科成立于2012年5月，核心技術錨定超精密測控賽道，主營超精密測控設備零部件、高端整機及配套技術服務，是國內極少數具備光刻機核心零部件自主量產供貨能力的企業。

零部件板塊，公司產品覆蓋精密運動系統、靜電卡盤、精密隔振器；整機產品線包含晶圓熔融鍵合設備、激光退火設備、D2W芯粒混合鍵合設備，產品應用于集成電路制造、超精密加工多個領域。

其中靜電卡盤為真空工藝核心耗材，依靠靜電原理超薄晶圓均勻吸附夾持，是PVD、刻蝕、離子注入等半導體高端設備不可或缺的核心零部件。

產品進展方面，2026年6月10日，公司自主研發W2W晶圓熔融鍵合裝備完成客戶交付；這也是繼2026年2月D2W芯粒混合鍵合設備落地武漢客戶后，公司在Chiplet先進封裝賽道取得的又一產業突破。此外，目前該公司多款集成電路工藝專用靜電卡盤實現國產化批量交付，相關領域累計取得授權專利30余項。

2025年，中國半導體設備國產化率預計攀升至35%，北方華創、中微公司等企業表現亮眼。然而，將設備拆解至零部件層面，平均國產化率僅為7.1%。在這懸殊的落差背后，是半導體設備用先進陶瓷零部件，如靜電卡盤等高度依賴進口。

行業競爭情況來看，國內靜電卡盤行業形成國際巨頭壟斷、本土廠商加速突圍的分層競爭格局，市場劃分為三大梯隊。第一梯隊為美日頭部企業如，應用材料、泛林、細美士等，占據行業主導份額；第二梯隊是已經上市企業富創精密、珂瑪科技以及非上市企業華卓精科等本土公司，依托產業政策優勢等持續研發，已完成中低端產品進口替代，部分企業實現高端技術突破；第三梯隊為君原電子、安弧科技等大量中小廠商，整體體量與技術實力偏弱。

隨著靜電卡盤行業本土化替代進程持續提速，國內有不少企業紛紛布局研發、測試，切入靜電卡盤賽道，市場競爭進一步加劇。

對于靜電卡盤市場供給，今年5月21日，在珂瑪科技2025年業績說明會上，該公司董事長兼總經理劉先兵介紹，截至2025年靜電卡盤產品已有數百萬元金額的交貨，公司二期擴建正是以靜電卡盤為核心，預計今年訂單可達千萬元級別。

實控人為清華大學教授 手握多家半導體企業股權

股權融資方面，自2012年首輪戰略融資起，至2015年最后一次股權融資，華卓精科累計融資三輪，投資方包括北京水木長風股權投資、中海投資、水木創投等。

朱煜為華卓精科控股股東、實際控制人，直接持有公司37.81%股份，通過直接持股、間接持股、一致行動協議合計掌控公司51.89%表決權。

前次申報的招股書顯示，朱煜為公司董事、核心技術人員、首席科學家，1965年1月出生，2001年畢業于中國礦業大學，博士學歷，機械設計及理論專業。1983年至2004年，朱煜任教于中國礦業大學，先后任講師、副教授；2001年至2004年，其于清華大學從事博士后工作；2004年10月至今，其任清華大學精儀系制造所/機械系機電所長聘教授，博導，主攻超精密機械、集成電路裝備測控研究，主導研制國內首臺光刻機雙工件臺系統樣機。

2007年至2013年，朱煜任北京七星華創電子股份有限公司獨立董事；2016年至2019年，其任北方華創科技集團股份有限公司獨立董事；2012年至2015年，其任華卓有限董事長兼總經理；2015年至2015年，其任華卓精科董事長；2015年9月至今，其任華卓精科董事、首席科學家。

產業層面，天眼查信息顯示，目前朱煜名下存續關聯企業有6家，包含北京華卓精科、華海清科、江蘇越陽商業運營管理有限公司等。

根據華海清科2025年年報披露，朱煜通過招商證券資管-朱煜-招商資管臻享價值2023031號單一資產管理計劃持有華海清科股份，本期增持401216股，期末持股4152678股，對應持股比例1.17%，股東類型為境內非國有法人。

（科創板日報記者 吳旭光）