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中國造的刻蝕機,臺積電買了800多臺,3-45nm都在用?

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聊到芯片制造,很多人第一反應就是光刻機。好像沒了ASML的EUV,啥都干不成。這話對,也不全對。

芯片制造需要幾百種設備,光刻機確實是核心之一,但還有一道工序跟它同樣關鍵——刻蝕。打個比方,光刻機像是在硅片上畫畫,把電路圖案印上去;刻蝕機則是按照這幅畫,把不需要的部分挖掉、刻掉。一畫一刻,缺一不可。



光刻機領域,咱們跟ASML的差距,說落后十年都不算夸張。但刻蝕機這一塊,情況完全反過來了——國內的技術,全球頂尖,不輸任何一家國際大廠。

憑什么?憑一家叫中微公司的企業。它的創始人叫尹志堯,業內人稱“中國刻蝕機之父”。

這個名號怎么來的?故事得從2004年說起。那一年,尹志堯60歲,本來已經準備退休了。但他看到國內半導體產業發展很快,可最關鍵的刻蝕、沉積設備,幾乎全被美國應用材料、泛林,日本東京電子這幾家壟斷。說白了,又是個卡脖子的環節。



60歲,退休金不愁,在美國也待得好好的。可他不甘心。于是,他從美國帶了15位硅谷的資深華人專家,這幫人之前在應用材料等頂級半導體設備公司干過,平均行業經驗超過20年,個個都是技術老手。16個人,從零開始,回國創業。

你猜他們用了多久打破壟斷?3年。

沒錯,2004年回國,2007年就研發出了中國人自己的刻蝕機,直接打破了國外幾十年的壟斷。后來美國應用材料等巨頭想打壓它,各種招數都使出來了,結果不但沒壓住,反而讓中微越做越強。

更厲害的是,中微還首創了一項技術——甚高頻去耦合反應離子刻蝕技術。這個技術現在已經成為全球所有CCP刻蝕機的標配。也就是說,別人都在用他們發明的路子。



那中微的刻蝕機到底有多牛?看客戶就知道了。

臺積電,全球最頂級的晶圓代工廠,它的生產線上,就擺著中微的刻蝕機。尹志堯博士自己說過,臺積電最先進的產線里,有中微800多個反應臺在運行,從45納米到3納米,都在用。3納米是什么概念?目前全球最先進的工藝之一。臺積電能放心用中微的設備,這本身就是一塊金字招牌。

國內的中芯國際也一樣,用了中微至少800多臺設備。



還有一點可能很多人都沒想到——中微已經實現了全供應鏈的100%自主化。什么意思?就是從原材料到零部件,全部可以國內自己搞定,不需要看任何人臉色。國外不賣?卡脖子?不好意思,用不著。

所以你看,不是說咱們造不出好的半導體設備。光刻機確實難,那是另一座山頭。但刻蝕機這座山頭,咱們已經爬上去了,而且站得很穩。像中微這樣的企業,再多幾家,像北方華創這樣的再多努力一把,那所謂的禁令、限制,遲早變成一張廢紙。

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