上海
《科創板日報》6月27日訊 半導體先進制程生產所需的高純度二氧化碳（CO2）供應趨緊，產業拉響短缺警報。
半導體先進制程生產所需的高純度二氧化碳供應趨緊
據The Elec消息，由于煉油及石化工廠開工率下降，導致二氧化碳產量大幅減少。通常情況下，半導體制造商與相關供應商各自都會儲備兩周二氧化碳用量，合計能維持一個月的庫存量，但近期庫存已經跌破一個月水平。
三星電子每月的高純度二氧化碳用量約1800至2000噸，SK海力士則需要600至700噸。知情人士透露，這兩家巨頭的生產尚未受到實際影響，但庫存余量持續減少，正全力加緊采購。不過即便提高單價，也難以確保額外供應量。
另有工業氣體行業人士表示，“由于缺乏原料，我們無法按需供應產品。目前從物理條件來看，短期內沒有辦法擴大產量。”
高純度二氧化碳主要用于半導體超臨界清洗工藝。所謂超臨界，是指物質超過臨界溫度和臨界壓力時所呈現的物理狀態。液態二氧化碳進入超臨界狀態后，液態與氣態的界限消失，可以同時具備兩者的特性：既擁有接近液體的密度，能有效溶解晶圓表面的殘留物和污染物；又兼具氣體的流動性，可以深入微細電路圖案內部清除雜質。由于先進制程芯片的線路間距極窄、結構高低落差較大，因此需要采用超臨界清洗工藝。
二氧化碳原料主要是煉油、石油化工以及制氫等生產過程中產生的副產品。業內分析認為，中東局勢導致原油供應不穩，進而使韓國國內石油化工企業開工率下降，是造成二氧化碳原料短缺的重要原因。
據悉，液態二氧化碳價格較年初已上漲約20%。業界普遍預計，供應緊張局面很可能持續到年底。
據《科創板日報》不完全統計，A股中：
金宏氣體超純氨、高純氧化亞氮、高純二氧化碳等優勢產品已經成功供應眾多頭部半導體企業；
至純科技為12英寸28納米及以下集成電路客戶提供大宗氣站服務，供應的大宗氣體主要包括高純氮氣、高純氧氣、高純氬氣、高純氫氣、高純氦氣、高純二氧化碳等；
凱美特氣主要產品有高純二氧化碳、氫氣、燃料類產品等，廣泛應用于電子、化工、飲料、食品、煙草、石油、農業等領域。
（科創板日報 鄭遠方）
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